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公开(公告)号：KR101729937B1
公开(公告)日：2017-05-04
申请号：KR1020160026418
申请日：2016-03-04
Applicant: 에프에스엠테크(주) , 전북대학교산학협력단
IPC: G01N27/414 , H01L21/02 , H01L29/06
Abstract: 본발명은반도체식염화수소가스센서에관한것으로, 반도체박막이형성된기판; 상기기판상에형성되는나노선패턴; 상기반도체박막및 나노선패턴상에형성되는보호층으로이루어지되, 상기보호층이형성된나노선패턴상에가스반응성물질이도포되는것을특징으로한다. 또한, 본발명에따른반도체식염화수소가스센서의제조방법은 a) 반도체박막및 상기반도체박막상에형성된나노선패턴의표면에염화수소가스에의한부식을방지하기위한보호층을형성하는단계; b) 염화수소가스에반응하는가스반응성물질을상기보호층위에도포하는기능화단계;를포함하는것을특징으로한다.
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