公开(公告)号：WO2011068263A1

公开(公告)日：2011-06-09

申请号：PCT/KR2009/007204

申请日：2009-12-03

Applicant: (주)에스엔텍 ,  안경준 ,  정성훈 ,  박강일 ,  염정훈

Inventor： 안경준 ,  정성훈 ,  박강일 ,  염정훈

IPC: H01L21/203

CPC classification number: C23C14/3407 ,  H01J37/3405 ,  H01J37/3482

Abstract: 본 발명은 마그네트 사이의 거리 또는 타겟과 마그네트 사이의 거리를 조절할 수 있는 원통형 스퍼터링 캐소드에 관한 것이다. 본 발명의 원통형 스퍼터링 캐소드에 의하면, 자기장 및 플라즈마의 균일성을 향상시켜 타겟의 균일 침식을 유도하여 박막을 균일하게 증착할 수 있으며, 타겟의 수명을 향상시킬 수 있는 장점이 있다. 또한, 본 발명의 원통형 스퍼터링 캐소드는 타겟과 마그네트 사이의 거리 또는 마그네트 간의 거리를 조절함으로써 표면자기장의 세기를 조절하여 박막의 특성이 변하지 않도록 균일하게 유지할 수 있는 장점이 있다.

Abstract translation: 本发明涉及能够控制磁体之间的距离或靶与磁体之间的距离的圆形溅射阴极。 根据本发明的圆形溅射阴极的优点在于它可以改善磁场的均匀性以及等离子体均匀性，从而导致目标的均匀腐蚀，使得薄膜可以均匀地沉积，并且寿命 目标可以增加。 使用本发明的圆柱形溅射阴极来控制靶和磁体之间的距离或者磁体之间的距离，薄膜的性质保持不变，但是通过调节表面磁场的强度来保持同样的状态。

公开(公告)号：KR2020090005846U

公开(公告)日：2009-06-16

申请号：KR2020070019854

申请日：2007-12-11

Applicant: 천승일 ,  염정훈

Inventor： 천승일 ,  염정훈

IPC: A47B23/06

Abstract: 본 고안은 독서대에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 책을 펼쳐 펼쳐진 면을 고정되게 하여 책을 읽는 사용자가 손으로 책을 파지하지 않고도 안정적이고 용이하게 책을 볼 수 있게 하고, 특히, 두께가 두꺼운 책을 보는 상황에서 상기 두꺼운 책이 안정적으로 고정 되도록 하는 독서대에 관한 것이다.
본 고안에 따른 독서대는,
책고정구는, 상기 제1통공 내부에 수용된 채로 전후로 유동되고 하부 외경에 나사산이 구비된 볼트핀과, 상기 제1통공 외부에 위치한 채로 전후로 유동되며 상기 볼트핀의 상부에 연이어 형성된 볼트머리로 된 유동볼트와 상기 볼트핀에 결합 및 회동 되도록 선단이 구비되고 말단이 상기 책을 고정하는 바 형태로 된 탄성핀과 상기 탄성핀의 선단 하면에 위치하고, 상기 수평지지부의 전면에 볼트로 고정되고 중앙에 상기 볼트핀이 관통되는 제2통공이 형성된 판형의 고정편과 상기 나사산에 체결되어 상기 볼트핀의 하부가 지지 되고, 상기 볼트핀의 하부가 상기 고정편에 의해 상기 제1통공 외부로 위치되지 않도록 상기 제2통공 보다 크게 형성된 박스형태의 지지구와 상기 지지구에 선단이 지지되고, 상기 고정편에 말단이 지지되는 스프링을 포함하� � 구성된다.
책고정구, 수직지지부, 수평지지부, 유동볼트, 스프링, 지지구

公开(公告)号：KR3020110001098S

公开(公告)日：2011-07-29

申请号：KR3020110029080

申请日：2011-07-13

Applicant: 염정훈

Designer： 염정훈