웨이퍼 가공용 기재
    3.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2010147356A3

    公开(公告)日:2010-12-23

    申请号:PCT/KR2010/003827

    申请日:2010-06-15

    Abstract: 본 발명은 웨이퍼 가공용 기재에 관한 것이다. 본 발명에서는, 우수한 내열성 및 치수 안정성을 나타내는 기재를 제공할 수 있다. 또한, 본 발명은, 응력 완화성이 탁월하여 잔류 응력에 의한 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있고, 웨이퍼 가공 과정에서의 불균일한 압력의 인가에 의한 웨이퍼의 손상이나 비산 등을 억제할 수 있으며, 탁월한 절단성을 보이는 기재를 제공한다. 이에 따라 본 발명의 기재는, 다이싱, 백그라인딩 또는 픽업 등을 포함한 각종 웨이퍼 가공 공정에서의 가공용 시트로서 효과적으로 사용될 수 있다.

    무용제형 조성물 및 그의 제조방법

    公开(公告)号:WO2012111964A3

    公开(公告)日:2012-08-23

    申请号:PCT/KR2012/001112

    申请日:2012-02-14

    Abstract: 본 발명은, 무용제형 조성물 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에서는, 필름 제조 과정에서 우수한 공정 효율을 나타내고, 두께의 편차가 실질적으로 존재하지 않는 균일한 필름, 두께가 두꺼우면서도 균일한 필름 또는 내열성 등의 물성이 우수한 필름을 효과적으로 제조할 수 있는 무용제형 조성물을 제공할 수 있다. 또한, 본 발명의 조성물은 필름 제조 과정에서 오염을 유발하지 않는다. 추가로, 본 발명에서는, 조성물의 성분들의 겔화 또는 상분리를 방지하여, 광학적 투명성 등의 물성이 탁월하고, 우수한 내열성 및 치수 안정성을 나타내는 기재 필름을 제조할 수 있는 조성물을 제공할 수 있다.

    기재 필름 및 그의 제조방법
    6.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2012111963A3

    公开(公告)日:2012-08-23

    申请号:PCT/KR2012/001111

    申请日:2012-02-14

    Abstract: 본 발명은, 기재 필름 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에서는, 우수한 내열성 및 치수 안정성을 나타내는 기재 필름을 제공할 수 있으며, 상기 기재 필름은 응력 완화성이 탁월하여 잔류 응력에 의한 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있고, 웨이퍼 가공 과정에서의 불균일한 압력의 인가에 의한 웨이퍼의 손상이나 비산 등을 억제할 수 있으며, 탁월한 절단성을 나타낸다. 이에 따라 본 발명의 기재 필름은, 다이싱, 백그라인딩 또는 픽업 등을 포함한 각종 웨이퍼 가공 공정에서의 가공용 시트로서 효과적으로 사용될 수 있다.

    웨이퍼 가공용 시트
    9.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2010147363A3

    公开(公告)日:2010-12-23

    申请号:PCT/KR2010/003836

    申请日:2010-06-15

    Abstract: 본 발명은 웨이퍼 가공용 시트에 관한 것이다. 본 발명에서는, 내열성 및 치수 안정성이 우수하며, 응력 완화성이 뛰어나 잔류 응력 또는 불균일한 압력의 인가에 의한 웨이퍼의 손상 또는 비산 등을 억제할 수 있고, 탁월한 절단성을 보이는 웨이퍼 가공용 시트를 제공할 수 있다. 또한, 본 발명에서는 웨이퍼 가공 과정 등에서 발생하는 블로킹 현상을 효과적으로 억제할 수 있는 시트를 제공할 수 있다. 이에 따라 본 발명의 기재는, 다이싱, 백그라인딩 또는 픽업 등을 포함한 각종 웨이퍼 가공 공정에서의 가공용 시트로서 효과적으로 사용될 수 있다.

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