公开(公告)号：TW200925317A

公开(公告)日：2009-06-16

申请号：TW097132391

申请日：2008-08-25

Applicant: ASM美洲公司 ASM AMERICA, INC.

Inventor： 邁克 賀賓 HALPIN, MIKE ,  麥特 古德曼 GOODMAN, MATT

IPC: C23C ,  G05D ,  G01K

CPC classification number: G01K7/04 ,  G05D23/1931 ,  G05D23/22

Abstract: 本發明提供一種量測於化學氣相沉積反應器中被處理之基板鄰近位置的溫度之熱偶器。熱偶器包含具有量測尖端之護套。熱偶器亦包含置於護套中之支撐管。熱偶器更包含由支撐管所支撐之第一及第二接線。第一及第二接線由不同金屬形成。接面形成於第一及第二接線之間,其中接面位於鄰近支撐管之遠端。彈簧置於支撐管之部分附近。彈簧受壓縮以施加彈簧力於支撐管,以使接面偏向量測尖端,而使接面連續接觸量測尖端。彈簧力夠小到使接面避免顯著變形,以及降低熱偶器彼此間的彈簧力或接面位置的變異。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种量测于化学气相沉积反应器中被处理之基板邻近位置的温度之热偶器。热偶器包含具有量测尖端之护套。热偶器亦包含置于护套中之支撑管。热偶器更包含由支撑管所支撑之第一及第二接线。第一及第二接线由不同金属形成。接面形成于第一及第二接线之间,其中接面位于邻近支撑管之远程。弹簧置于支撑管之部分附近。弹簧受压缩以施加弹簧力于支撑管,以使接面偏矢量测尖端,而使接面连续接触量测尖端。弹簧力够小到使接面避免显着变形,以及降低热偶器彼此间的弹簧力或接面位置的变异。