角度分散を補償する装置及び方法

    公开(公告)号:JP2015507766A

    公开(公告)日:2015-03-12

    申请号:JP2014549539

    申请日:2012-01-05

    Abstract: 光学系の少なくとも1つの音響光学偏向器によって偏向した電磁ビームの角度分散を補償するように適応し、各偏向ビームの前記角度分散が前記音響光学偏向器の偏向音響周波数によって得られた偏向角に依存する補償装置であって、ビームを実質的に焦平面に集束させることで、偏向角及び角度分散の異なる偏向ビームを空間的に分離するための第1のレンズ群と、第1の面及び第2の面を有する補償部材であって、補償部材の第1の面が実質的に第1のレンズ群の焦平面にあるように配置され、及び補償部材の第1の面及び第2の面が公称半径R1及びR2を有し、該両半径が、傾斜角&bgr;及びプリズム開口角αpが光軸からの距離に応じて変化するプリズムとして共に機能して、空間的に分離した偏向ビームの角度分散を補償する補償部材と、補償部材から出射する各偏向ビームの様々な波長成分を実質的に平行にするとともに、異なる音響周波数で偏向したビームの角度変化を維持するように配置された第2のレンズ群とを備える補償装置である。また、光学系の少なくとも1つの音響光学偏向器によって偏向した電磁ビームの角度分散を補償する方法で、各偏向ビームの角度分散が偏向音響周波数によって得られた偏向角に依存する方法であって、第1のレンズ群を介して実質的に第1のレンズ群の焦平面にビームを集束させることで、角度分散の異なる偏向ビームを空間的に分離することと、空間的に分離した偏向ビームの角度分散を、所与のビームの角度分散に応じて補償することと、各偏向ビームのスペクトル成分を実質的に平行にするとともに、異なる音響周波数で偏向したビームの角度変化を維持することとを特徴とする方法である。【選択図】図2

    レーザ走査顕微鏡を備えた測定システムによる試料の3次元測定方法及びシステム
    2.
    发明专利
    レーザ走査顕微鏡を備えた測定システムによる試料の3次元測定方法及びシステム 有权
    三维测量方法和样品的系统通过用激光扫描显微镜的测量系统

    公开(公告)号:JP2015513065A

    公开(公告)日:2015-04-30

    申请号:JP2014549538

    申请日:2012-01-05

    CPC classification number: G01B11/24 G01B9/04 G06F3/01 G06F3/011

    Abstract: 3次元測定空間を有するとともにレーザ走査顕微鏡を備えた測定システムによる試料の3次元測定方法に関し、本方法は、3次元仮想現実装置を測定システムに設けることと、3次元仮想現実装置を用いて測定空間の3次元仮想空間を作成することと、仮想空間でオペレーションを選択することを許可することと、仮想空間で選択されたオペレーションが測定空間で実行されて、測定空間で測定されたデータが仮想空間で表示されるように、測定空間と仮想空間との間に単方向または双方向のリアルタイム接続を提供することとを有する。また、試料の3次元測定のための測定システムであって、3次元測定空間を有するとともにレーザ走査顕微鏡を備えた測定システムに関し、測定システムは、測定空間の3次元仮想空間を表示するための3次元仮想現実装置を備え、レーザ走査顕微鏡と3次元仮想現実装置との間に単方向または双方向のリアルタイム接続が提供される。【選択図】図1

    Abstract translation: 本发明涉及具有三维测量空间中的样品通过用激光扫描显微镜测量系统的三维测量方法,该方法包括:提供一个三维虚拟现实设备到测量系统,测量使用三维虚拟现实设备 和创建的空间中的三维虚拟空间中,并且被允许在虚拟空间中选择的操作时,在虚拟空间上所选择的操作测量空间进行的,在测量空间中的测量数据的虚拟 如显示在空间中,和a。提供实时连接的测量空间和虚拟空间之间的单向或双向的。 此外,对于样品的三维测量的测量系统涉及将测量系统与激光扫描显微镜,其具有三维测量空间中,用于显示所述测量空间的三维虚拟空间中的测量系统3 用维虚拟现实设备,实时连接的单向或双向的激光扫描显微镜和三维虚拟现实设备之间。 点域1

    ACOUSTO-OPTIC DEFLECTOR WITH LAYERED STRUCTURE AND METHOD FOR DEFLECTING AN OPTICAL BEAM WITH SUCH DEFLECTOR

    公开(公告)号:US20180157147A1

    公开(公告)日:2018-06-07

    申请号:US15578590

    申请日:2016-05-31

    Applicant: Femtonics Kft.

    Abstract: The subject of the invention relates to an acousto-optic deflector with a layered structure (10), the essence of which is it comprises at least two acousto-optic crystals (12), to each of which at least one electro-acoustic transducer (14) is connected, and the adjacent crystals (12) are separated by an acoustic isolator (16). The subject of the invention also relates to a method for deflecting an optical beam using an acousto-optic deflector (10), characterised by that the acousto-optic deflector (10) comprises at least two acousto-optic crystals (12′, 12″), among which a first acoustic wave (15′) is created in a first acousto-optic crystal (12′) using a first electro-acoustic transducer (14′) connected to the first acousto-optic crystal (12′), and a second acoustic wave (15″) is created in a second acousto-optic crystal (12″) using a second electro-acoustic transducer (14″) connected to the second acousto-optic crystal (12″) and arranged between the first acousto-optic crystal (12′) and the second crystal (12″).

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