公开(公告)号：JP2021524023A

公开(公告)日：2021-09-09

申请号：JP2020560171

申请日：2019-04-29

Applicant: アンシディス ,  INSIDIX

Inventor： ピエール、ベルネス ,  シリル、ジャケ ,  レジス、ブレザーズ ,  ピエール−ルイ、トゥーサン

IPC: G01B11/25

Abstract: 試料の表面トポグラフィーを測定するための装置(1)は、構造化画像を試料の表面に投影するプロジェクタ(3)を備える。カメラ(4)は、試料の表面に投影された画像を観察する。加熱デバイス(6)は、試料に温度勾配を印加する。プロジェクタ(3)の光軸上に配置された第1の光学デバイス(8a)は、プロジェクタ(3)によって照射された画像を変更し、それを試料上に適用する。第1の光学デバイス(8a)は、異なる倍率を定義するいくつかの異なるレンズを備える。レンズは、互いに移動可能に取り付けられている。第2の光学デバイス(8b)は、カメラ(4)の光学軸上に配置され、試料の表面の観察領域の大きさを変更する。第2の光学デバイスは、異なる倍率を提供するいくつかの異なるレンズを備える。レンズは、異なる大きさのいくつかの観察領域を定義するように移動可能に取り付けられている。

公开(公告)号：JP2008500524A

公开(公告)日：2008-01-10

申请号：JP2007514004

申请日：2005-05-23

Applicant: アンシディスInsidix

Inventor： ジャン‐クロード、ルコムト ,  ロマン、ファイヨール

IPC: G01B11/25 ,  G01B11/16

CPC classification number: G01B11/162

Abstract: この装置は、試料（２）の少なくとも１つの表面（１）の歪みが温度に対して測定されることを可能とする。 所定の平面、例えば表面（１）の平面に垂直な方向の歪みが、合成像によって測定される。 前記平面における歪みが、画像相関によって測定される。 画像相関と合成像とによる測定は、共通の可視光検出カメラ（３）を使用する。 試料（２）は、可視光（Ｌ）を少なくとも局所的に通す透明格納容器（６）内に配置される。 少なくとも１つの赤外線発光器（９）が、大部分がカメラ（３）によって検出されないスペクトル帯の赤外光が発生されることを可能とする。

公开(公告)号：JP4739330B2

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：JP2007514004

申请日：2005-05-23

Applicant: アンシディスInsidix

Inventor： ジャン‐クロード、ルコムト ,  ロマン、ファイヨール

IPC: G01B11/25 ,  G01B11/16

CPC classification number: G01B11/162

公开(公告)号：US20230326176A1

公开(公告)日：2023-10-12

申请号：US18132526

申请日：2023-04-10

Applicant: INSIDIX

Inventor： Régis BRAISAZ ,  Pierre VERNHES

IPC: G06V10/60 ,  G06V10/145 ,  G06V10/46 ,  G06V10/74 ,  G01B11/25

CPC classification number: G06V10/60 ,  G06V10/145 ,  G06V10/462 ,  G06V10/761 ,  G01B11/25

Abstract: A topographic measurement method includes provision of a sample including first surface provided with plurality of salient patterns. The first surface of the sample is illuminated by means of structured light that defines several repetitive patterns. The structured light is emitted at first angle with respect to first surface. A first image of first surface of sample illuminated by structured light is acquired. The first image is acquired at second angle with respect to first surface. A second image of illuminated sample is acquired. The second image differs from first image by value of exposure time. The first image is compared with second image to determine presence of at least one artefact on the first image. A reference image is formed from the first image and the second image. The reference image is devoid of any artefact. A quantity representative of the first surface is calculated from the reference image.

公开(公告)号：US20210123722A1

公开(公告)日：2021-04-29

申请号：US17044012

申请日：2019-04-29

Applicant: INSIDIX

Inventor： Pierre VERNHES ,  Cyrille JACQUET ,  Régis BRAISAZ ,  Pierre-Louis TOUSSAINT

IPC: G01B11/25

Abstract: A device for measuring the surface topography of a sample includes a projector which projects a structured image onto the surface of the sample. A camera observes the image projected onto the surface of the sample. A heating device applies a temperature ramp on the sample. A first optic device located on the optic axis of the projector modifies the image emitted by the projector and applies it on the sample. The first optic device includes several distinct lenses defining different magnifications. The lenses are fitted movable with respect to one another. A second optic device is located on the optic axis of the camera to modify the size of the observation area on the surface of the sample. The second optic device includes several distinct lenses presenting different magnifications. The lenses are fitted movable to define several observation areas of different sizes.

公开(公告)号：US11365965B2

公开(公告)日：2022-06-21

申请号：US17044012

申请日：2019-04-29

Applicant: INSIDIX

Inventor： Pierre Vernhes ,  Cyrille Jacquet ,  Régis Braisaz ,  Pierre-Louis Toussaint

IPC: G01B11/25

Abstract: A device for measuring the surface topography of a sample includes a projector which projects a structured image onto the surface of the sample. A camera observes the image projected onto the surface of the sample. A heating device applies a temperature ramp on the sample. A first optic device located on the optic axis of the projector modifies the image emitted by the projector and applies it on the sample. The first optic device includes several distinct lenses defining different magnifications. The lenses are fitted movable with respect to one another. A second optic device is located on the optic axis of the camera to modify the size of the observation area on the surface of the sample. The second optic device includes several distinct lenses presenting different magnifications. The lenses are fitted movable to define several observation areas of different sizes.

公开(公告)号：FR3038058B1

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：FR1555780

申请日：2015-06-23

Applicant: INSIDIX

Inventor： BRAISAZ REGIS ,  VERNHES PIERRE

IPC: G01N25/00 ,  G01B11/00

Abstract: Ce dispositif (1) comporte une enceinte, des moyens de chauffage infrarouge (8), des moyens de projection agencés pour projeter une lumière structurée à la surface de chaque système, des moyens de capture d'image agencés pour capturer la lumière structurée réfléchie par la surface de chaque système, le dispositif étant remarquable en ce qu'il comporte un tiroir (3) de chargement, des moyens de guidage agencés pour guider le tiroir (3) dans un plan de guidage (X, Y) entre une première position dans laquelle le tiroir (3) est situé hors de l'enceinte, et une deuxième position dans laquelle le tiroir (3) est situé à l'intérieur de l'enceinte, des moyens de déplacement motorisés (M1, M2) configurés pour déplacer une mire d'étalonnage des moyens de capture d'image suivant une direction perpendiculaire au plan de guidage (X, Y).

公开(公告)号：FR3038058A1

公开(公告)日：2016-12-30

申请号：FR1555780

申请日：2015-06-23

Applicant: INSIDIX

Inventor： BRAISAZ REGIS ,  VERNHES PIERRE

IPC: G01N25/00 ,  G01B11/00

Abstract: Ce dispositif (1) comporte une enceinte, des moyens de chauffage infrarouge (8), des moyens de projection agencés pour projeter une lumière structurée à la surface de chaque système, des moyens de capture d'image agencés pour capturer la lumière structurée réfléchie par la surface de chaque système, le dispositif étant remarquable en ce qu'il comporte un tiroir (3) de chargement, des moyens de guidage agencés pour guider le tiroir (3) dans un plan de guidage (X, Y) entre une première position dans laquelle le tiroir (3) est situé hors de l'enceinte, et une deuxième position dans laquelle le tiroir (3) est situé à l'intérieur de l'enceinte, des moyens de déplacement motorisés (M1, M2) configurés pour déplacer une mire d'étalonnage des moyens de capture d'image suivant une direction perpendiculaire au plan de guidage (X, Y).

公开(公告)号：FR3038057A1

公开(公告)日：2016-12-30

申请号：FR1555779

申请日：2015-06-23

Applicant: INSIDIX

Inventor： BRAISAZ REGIS ,  VERNHES PIERRE

IPC: G01N25/00 ,  G01B11/00

Abstract: Ce dispositif comporte une enceinte (2) adaptée pour recevoir le système, des moyens de chauffage agencés dans l'enceinte (2) pour chauffer le système, des moyens de projection (3) agencés hors de l'enceinte (2) pour projeter une lumière structurée dans le domaine visible à la surface du système, des moyens de capture d'image (4) agencés hors de l'enceinte (2) pour capturer la lumière structurée réfléchie par la surface du système, le dispositif étant remarquable en ce que l'enceinte (2) comporte une paroi interne, et une paroi externe (22), un milieu de séparation agencé pour séparer la paroi interne et la paroi externe (22), le milieu de séparation (23) présentant une effusivité thermique inférieure à 5000 J. K-1. m-2. s-1/2

公开(公告)号：WO2019207267A1

公开(公告)日：2019-10-31

申请号：PCT/FR2019/050999

申请日：2019-04-29

Applicant: INSIDIX

Inventor： VERNHES, Pierre ,  JACQUET, Cyrille ,  BRAISAZ, Régis ,  TOUSSAINT, Pierre-Louis

IPC: G01B11/25 ,  G01B11/24

Abstract: Le dispositif de mesure (1) de topographie de la surface d'un échantillon comporte un projecteur (3) qui projette une image structurée sur la surface de l'échantillon. Une caméra (4) observe l'image projetée à la surface de l'échantillon. Un dispositif de chauffage (6) applique une rampe de température sur l'échantillon. Un premier dispositif optique (8a) disposé selon l'axe optique du projecteur (3) vient modifier l'image émise par le projecteur (3) et l'appliquer sur l'échantillon. Le premier dispositif optique (8a) comportant plusieurs lentilles distinctes définissant des grossissements différents. Les lentilles sont montées mobiles entre elles. Un deuxième dispositif optique (8b) est disposé selon l'axe optique de la caméra (4) pour modifier la dimension de la zone d'observation sur la surface de l'échantillon. Le deuxième dispositif optique comporte plusieurs lentilles distinctes qui présentent des grossissements différents. Les lentilles sont montées mobiles pour définir plusieurs zones d'observation de tailles différentes.