公开(公告)号：JP2005502480A

公开(公告)日：2005-01-27

申请号：JP2003516946

申请日：2002-02-18

Applicant: エヌシーエスアール“デモクリトス”−インスティテュート オブ マイクロエレクトロニクスNcsr“Demokritos”−Institute Of Microelectronics ,  ツァミス、クリストスTSAMIS,Christos ,  ツェレピ、アンジェリキTSEREPI,Angeliki ,  ナシオプールー、アンドロウラ ジー.NASSIOPOULOU,Androula,G.

Inventor： ツァミス、クリストス ,  ツェレピ、アンジェリキ ,  ジー． ナシオプールー、アンドロウラ

IPC: G01N27/16 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01F1/684 ,  G01N27/12 ,  G01N27/18 ,  H01L37/00 ,  H05B3/26

CPC classification number: H05B3/265 ,  B81B2201/0278 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0118 ,  B81C1/00682 ,  B81C1/0069 ,  B81C2201/0115 ,  G01F1/6845 ,  G01N27/12 ,  G01N27/16 ,  G01N27/18

Abstract: 本発明は、橋又はカンチレバーの形状により掛架した多孔質シリコン薄膜、及びその薄膜を採用した熱センサ装置の製造のための前面シリコンマイクロマシニングの方法を提供する。 掛架した多孔質シリコン薄膜の製造方法は、以下の工程からなる。 （ａ）少なくとも一つの、シリコン基板（１）の所定領域に多孔質シリコンを形成する工程と、（ｂ）標準的なフォトリソグラフィーを使用して、該多孔質シリコン層の周囲又は内部にエッチング開口窓（５）を画定する工程と、（ｃ）ドライエッチング技術の使用により、多孔質シリコン層（２）の下のシリコン基板（１）に、選択的なエッチングをすることにより、多孔質シリコン薄膜の分離と、該多孔質シリコン層の下に空間（６）形成する。 更に、提供した方法が、多孔質シリコンの低い熱伝導性から生じる利点と、掛架した薄膜の使用とを組み合わせるため、本発明は熱損失が最小限の多孔質シリコン薄膜に基づく、熱センサの製造方法を提供する。 さらに、本発明で提供された前面のマイクロマシニングの方法は、製造の方法を容易にする。 提供した方法を利用する、熱定量的型のガスセンサ、伝導性測定型のガスセンサ、及び熱伝導センサ等、様々な型の熱センサ装置が記載された。

公开(公告)号：JP2005515081A

公开(公告)日：2005-05-26

申请号：JP2003562022

申请日：2003-01-16

Applicant: エヌシーエスアール“デモクリトス”−インスティテュート オブ マイクロエレクトロニクスNcsr“Demokritos”−Institute Of Microelectronics ,  ナシオプールー、アンドロウラ ジー.NASSIOPOULOU,Androula,G.

Inventor： カルツァス、グリゴリス ,  ジー． ナシオプールー、アンドロウラ ,  ニコラオス パゴニス、ディミトリオス

IPC: G01K13/02 ,  B81B1/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01F1/684 ,  G01K7/01 ,  G01K7/02

CPC classification number: B81C1/00071 ,  B81B2201/058 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0315 ,  B81C2201/0114 ,  B81C2201/0115 ,  G01F1/6845 ,  G01K7/028

Abstract: 本発明は、特性の改良された微細化シリコン熱フローセンサを、基本的にヒータ（４）の各側の２つの集積化された一連の熱電対列（６，７）を使用することによって提供するものであり、これらの熱電対列は全て、空洞（３）の最上部の多孔質シリコン膜（２）の上に集積化される。 空洞（３）を下に配する多孔質シリコン（２）はセンサ素子にとっての非常に良好な熱絶縁となって、ヒータ（４）を所定温度に維持するために必要な電力が非常に小さくなる。 空洞（３）を下に配する多孔質シリコン膜（２）の形成プロセスは２工程の単一電気化学プロセスである。 このプロセスは、陽極電流が比較的低いときに多孔質シリコン形成局面にあり、それに対してこの電流が所定値を超えるときに電気研磨局面に移る、という現象を基本に行われる。 このプロセスは低電流で始まって多孔質シリコン（２）が形成され、そして次に電気研磨状態に遷移して下に空洞（３）が形成される。 フローセンサ、ガスセンサ、ＩＲ検出器、湿度センサ及び熱電式発電機のような種々のタイプの熱センサ素子を、本発明が提案する方法を使用して記載する。 さらに本発明は、マイクロ流体チャネル（１６）を多孔質シリコン（１７）及び空洞（１６）を形成する方法と同じ技術を使用して形成する方法を提供する。

公开(公告)号：JP2005510111A

公开(公告)日：2005-04-14

申请号：JP2003544913

申请日：2002-11-13

Applicant: インスティチュート・オブ・マイクロエレクトロニクスInstitute Of Microelectronics ,  ナショナル ユニバーシティ オブ シンガポール

Inventor： シーン、イアン、サクソン、リウ ,  ジェ、ワン ,  シャオフェン、ワン ,  ヨン、ピン、シュ ,  ワイ、フーン、サン

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/46 ,  H03H9/54 ,  H03H9/64 ,  H03M3/02

CPC classification number: H03M3/404 ,  H03H7/01 ,  H03M3/344 ,  H03M3/348

Abstract: 本発明によると、音響共振器或いはマイクロメカニカル共振器を用いる帯域通過シグマ・デルタ変調器が開示される。 高周波領域において解像度を改善するために、シグマ・デルタ変調器内に、電子共振器の代りに、音響共振器或いはマイクロメカニカル共振器が用いられる。 量子化された出力が対のD/A変換器を用いて入力総和デバイスに帰還される。 四次のデバイスにおいては、帰還は、直列に接続された２つの総和デバイスに対して行なわれる。 このタイプのシグマ・デルタ変調器は、高い周波数と高い解像度のA/D変換を要求される、ソフトウェアにて定義される無線セルラ電話システム及び他の用途において有益である。 一つの実施例においては、相殺回路を用いて反共振信号が共振器から除去される。 反共振相殺回路は、共振器の出力から減算されるべき信号を提供することで、共振器の出力から反共振成分を除去する。 この相殺回路は、共振器の静的容量にマッチングされたキャパシタを含む。 共振器の負荷と相殺網の負荷もマッチングされる。

公开(公告)号：WO2003043198A3

公开(公告)日：2003-05-22

申请号：PCT/SG2002/000266

申请日：2002-11-13

Applicant: NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE ,  INSTITUTE OF MICROELECTRONICS ,  XU, Yong, Ping ,  SUN, Wai, Hoong ,  WANG, Xiaofeng ,  WANG, Zhe ,  LIW, Sean, Ian, Saxon

Inventor： XU, Yong, Ping ,  SUN, Wai, Hoong ,  WANG, Xiaofeng ,  WANG, Zhe ,  LIW, Sean, Ian, Saxon

IPC: H03H7/12

Abstract: A bandpass sigma-delta modulator using acoustic resonators or micro-mechanical resonators. In order to improve resolution at high frequencies, acoustic resonators. In order to improve resolution at high frequencies, acoustic resonators or micro-mechanical resonators are utilized in a sigma-delta modulator instead of electronic resonators. The quantized output is fed back using a pair of D/A converters to an input summation device. In fourth order devices, the feed back is to two summation devices in series. Such a sigma-delta modulator is usable in a software defined radio cellular telephone system and in other applications where high-frequency and high-resolution A/D conversion is required. A cancellation circuit may remove the anti-resonance signal from a resonator. An anti-resonance cancellation circuit removes the anti-resonance from the output of the resonators by providing a signal which is subtracted from the output of the resonator. The cancellation circuit includes a capacitor which is matched to the static capacitance of the resonator. The loads of the resonator and cancellation network are also matched.

公开(公告)号：WO2003043198A2

公开(公告)日：2003-05-22

申请号：PCT/SG2002/000266

申请日：2002-11-13

Applicant: NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE ,  INSTITUTE OF MICROELECTRONICS ,  XU, Yong, Ping ,  SUN, Wai, Hoong ,  WANG, Xiaofeng ,  WANG, Zhe ,  LIW, Sean, Ian, Saxon

Inventor： XU, Yong, Ping ,  SUN, Wai, Hoong ,  WANG, Xiaofeng ,  WANG, Zhe ,  LIW, Sean, Ian, Saxon

IPC: H03M3/00

CPC classification number: H03M3/404 ,  H03H7/01 ,  H03M3/344 ,  H03M3/348

Abstract: A bandpass sigma-delta modulator using acoustic resonators or micro-mechanical resonators. In order to improve resolution at high frequencies, acoustic resonators. In order to improve resolution at high frequencies, acoustic resonators or micro-mechanical resonators are utilized in a sigma-delta modulator instead of electronic resonators. The quantized output is fed back using a pair of D/A converters to an input summation device. In fourth order devices, the feed back is to two summation devices in series. Such a sigma-delta modulator is usable in a software defined radio cellular telephone system and in other applications where high-frequency and high-resolution A/D conversion is required. A cancellation circuit may remove the anti-resonance signal from a resonator. An anti-resonance cancellation circuit removes the anti-resonance from the output of the resonators by providing a signal which is subtracted from the output of the resonator. The cancellation circuit includes a capacitor which is matched to the static capacitance of the resonator. The loads of the resonator and cancellation network are also matched.

Abstract translation: 使用声谐振器或微机械谐振器的带通Σ-Δ调制器。 为了提高高频分辨率，声谐振器。 为了提高高频分辨率，在Σ-Δ调制器中代替电子谐振器使用声谐振器或微机械谐振器。 量化输出使用一对D / A转换器反馈到输入求和装置。 在四阶装置中，反馈是串联的两个求和装置。 这种Σ-Δ调制器可用于软件定义的无线电蜂窝电话系统以及需要高频和高分辨率A / D转换的其它应用中。 消除电路可以从谐振器去除反谐振信号。 反共振消除电路通过提供从谐振器的输出中减去的信号来消除谐振器的输出的反谐振。 消除电路包括与谐振器的静态电容相匹配的电容器。 谐振器和取消网络的负载也匹配。

公开(公告)号：WO2012121672A1

公开(公告)日：2012-09-13

申请号：PCT/SG2012/000073

申请日：2012-03-07

Applicant: AGENCY FOR SCIENCE, TECHNOLOGY AND RESEARCH ,  INSTITUTE OF MICROELECTRONICS OF CHINESE ACADEMY OF SCIENCES ,  WONG, David ,  PENG, Xiaoming ,  CHIN, Po Shin Francois ,  PNG, Khiam Boon ,  ZHANG, Haiying

Inventor： WONG, David ,  PENG, Xiaoming ,  CHIN, Po Shin Francois ,  PNG, Khiam Boon ,  ZHANG, Haiying

IPC: H04W16/10 ,  H04W48/10 ,  H04W72/04 ,  H04L5/00

CPC classification number: H04W28/20 ,  H04L5/001 ,  H04L5/0064 ,  H04L5/0087 ,  H04L5/0096

Abstract: The present invention is directed to a network component of a communication network, the network component comprising a determiner configured to determine a required number of logical channels and to determine whether a bandwidth of a communication channel used by the communication network should be changed based on the required number of logical channels; a controller configured to change the bandwidth of the communication channel if it has been determined that the bandwidth of the communication channel used by the communication network should be changed based on the required number of logical channels; and a transceiver configured to send to a communication device a signal indicating to the communication device to operate in the communication channel with the changed bandwidth if the bandwidth of the communication channel has been changed. A method of performing an operation of a communication network in a communication channel is also disclosed.

Abstract translation: 本发明涉及一种通信网络的网络部件，该网络部件包括确定器，该确定器被配置为确定所需数量的逻辑信道，并且确定通信网络使用的通信信道的带宽是否应当基于 所需数量的逻辑通道; 如果已经确定通信网络使用的通信信道的带宽应当根据所需数量的逻辑信道而改变，则控制器被配置为改变通信信道的带宽; 以及收发器，被配置为如果通信信道的带宽已经改变，则向通信设备发送指示通信设备在具有改变的带宽的通信信道中操作的信号。 还公开了在通信信道中执行通信网络的操作的方法。

公开(公告)号：WO2009139724A1

公开(公告)日：2009-11-19

申请号：PCT/SG2009/000101

申请日：2009-03-20

Applicant: AGENCY FOR SCIENCE, TECHNOLOGY AND RESEARCH ,  INSTITUTE OF MICROELECTRONICS OF CHINESE ACADEMY OF SCIENCES ,  PENG, Xiaoming ,  SUBRAMANIAN, Ananth ,  CHIN, Po Shin Francois ,  ZHANG, Hai Ying

Inventor： PENG, Xiaoming ,  SUBRAMANIAN, Ananth ,  CHIN, Po Shin Francois ,  ZHANG, Hai Ying

IPC: H04W72/02 ,  H04B1/713 ,  H04J11/00 ,  H04L27/26

CPC classification number: H04L5/0037 ,  H04B1/713 ,  H04L5/0007 ,  H04L5/0062

Abstract: A method for transmitting OFDM symbols by a plurality of ad-hoc radio communication devices in an ad-hoc radio communication devices' group is provided, the method comprising: a first ad-hoc radio communication device of the ad-hoc radio communication devices' group transmitting a first plurality of two OFDM symbols in a first plurality of two frequency sub-ranges of a frequency range selected for transmission in accordance with a frequency hopping pattern, the frequency range comprising a plurality of frequency sub-ranges; in the same transmission time period, a second ad-hoc radio communication device of the ad-hoc radio communication devices' group transmitting a second plurality of two OFDM symbols in a second plurality of two frequency sub-ranges of the frequency range, wherein the second plurality of frequency sub-ranges has no overlap with the first plurality of frequency sub-ranges.

Abstract translation: 提供了一种在自组织无线电通信设备组中由多个自组织无线电通信设备发送OFDM符号的方法，所述方法包括：所述自组织无线电通信设备的第一自组织无线电通信设备， 所述频率范围包括多个频率子范围;所述频率范围包括多个频率子范围，所述频率范围包括多个频率子范围，所述频率范围包括多个频率子范围; 在相同的传输时间段内，所述自组织无线电通信设备组的第二个自组织无线电通信设备在所述频率范围的第二多个两个频率子范围内发送第二多个两个OFDM符号，其中， 第二多个频率子范围与第一多个频率子范围没有重叠。

公开(公告)号：ZA202102862B

公开(公告)日：2021-05-26

申请号：ZA202102862

申请日：2021-04-28

Applicant: ETHETA COMMUNICATION TECH SHENZHEN CO LTD ,  EAST CHINA RES INSTITUTE OF MICROELECTRONICS

Inventor： HUANG HUAN-CHU ,  LU JIAGUO ,  LIN HONG ,  LIU JUNYONG ,  QI ZHIXING ,  ZENG MINHUI ,  ZHOU YANCHAO ,  LI JINGWEI ,  MA TAO

Abstract: The present invention relates to an integration module system of millimeter-wave and non-millimeter-wave antennas and an electronic apparatus, the system comprising a millimeter-wave antenna module and a non-millimeter-wave environment, the millimeter-wave antenna module forming a communication connection with the non-millimeter-wave environment for realizing reusing of the millimeter-wave antenna module to achieve a function of non-millimeter-wave antenna(s). The present invention proposes directly reusing a millimeter-wave antenna module, which is designed so that this module also has an antenna function of a non-millimeter-wave module, while an individual module's own volume does not need to be increased, and the module itself does not need to have additionally-added antenna traces, that is, with the same volume, a function of non-millimeter-wave antenna(s) may be further added. Therefore, it obviously helps to avoid an increase of the device's volume and improve compactness of the system and system design.

公开(公告)号：ES2916091T3

公开(公告)日：2022-06-28

申请号：ES21162442

申请日：2021-03-12

Applicant: ETHETA COMMUNICATION TECH SHENZHEN CO LTD ,  EAST CHINA RES INSTITUTE OF MICROELECTRONICS

Inventor： HUANG HUAN-CHU ,  LIU JUNYONG ,  LIN HONG ,  SUN HAO ,  QI ZHIXING ,  ZENG MINHUI ,  ZHOU YANCHAO ,  LI JINGWEI ,  MA TAO

IPC: H01Q1/24 ,  H01Q1/22 ,  H01Q1/38 ,  H01Q5/371 ,  H01Q5/40 ,  H01Q9/40 ,  H01Q9/42 ,  H01Q21/28

Abstract: Un módulo de integración de antenas de ondas milimétricas y no milimétricas, que comprende: un portador de módulos (1a), una o más antenas de ondas milimétricas (2a) dispuestas sobre una superficie del portador de módulos (1a), una o más antenas de ondas no milimétricas (3a), y un circuito integrado de radiofrecuencia (4a); en el que el circuito integrado de radiofrecuencia (4a) está conectado eléctricamente a la(s) antena(s) de ondas milimétricas (2a), y en el que el circuito integrado de radiofrecuencia (4a) y la(s) antena(s) de ondas no milimétricas (3a) están colocados en diferentes planos del portador de módulos (1a); el módulo de integración caracterizándose porque los planos donde se dispone la o las antenas de ondas no milimétricas (3a) no son paralelos al plano donde se dispone el circuito integrado de radiofrecuencia (4a).

公开(公告)号：ZA202102055B

公开(公告)日：2021-06-30

申请号：ZA202102055

申请日：2021-03-26

Applicant: ETHETA COMMUNICATION TECH SHENZHEN CO LTD ,  EAST CHINA RES INSTITUTE OF MICROELECTRONICS

Inventor： HUANG HUAN-CHU ,  LIU JUNYONG ,  LIN HONG ,  SUN HAO ,  QI ZHIXING ,  ZENG MINHUI ,  ZHOU YANCHAO ,  LI JINGWEI ,  MA TAO

Abstract: The present invention discloses an integration module of millimeter-wave and non-millimeter-wave antennas, comprising a module carrier, one or more millimeter-wave antennas, one or more non-millimeter-wave antennas, and a radio frequency integrated circuit; the radio frequency integrated circuit is electrically connected to the millimeter-wave antenna(s); the radio frequency integrated circuit and the non-millimeter-wave antenna(s) are set in the same plane as or a space non-parallel with that of the module carrier. With the present invention, the height space on the side of a mobile communication device can be fully used, so that it is not necessary to occupy a large amount of horizontal area, thereby reducing the requirements of the antenna module for the overall size of the mobile communication device, and thus reducing cost and enhancing product competitiveness.