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    KOMPAKTER MULTIPLEXER/DEMULTIPLEXER
    2.
    发明申请
    KOMPAKTER MULTIPLEXER/DEMULTIPLEXER 审中-公开
    COMPACT多路复用器/多路分用器

    公开(公告)号：WO2010040698A1

    公开(公告)日：2010-04-15

    申请号：PCT/EP2009/062853

    申请日：2009-10-02

    Applicant: CUBE OPTICS AG ,  SMAGLINSKI, Ingo ,  PETIGK, Thomas ,  POPP, Martin ,  BRANTZEN, Samuel ,  PAATZSCH, Thomas

    Inventor： SMAGLINSKI, Ingo ,  PETIGK, Thomas ,  POPP, Martin ,  BRANTZEN, Samuel ,  PAATZSCH, Thomas

    IPC: G02B6/34 ,  G02B6/42 ,  G02B6/32

    CPC classification number: G02B6/4215 ,  G02B6/29365 ,  G02B6/4214 ,  G02B6/4225

    Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft einen Multiplexer/Demultiplexer mit einem Anschluss für das Einkoppeln und/oder Auskoppeln eines optischen Signals, das Signalkomponenten verschiedener Wellenlängen aufweist, einer Trägerplatte (8) mit mindestens einem wellenlängensensitivem Element (11), einem Fokussierglied (13) mit mindestens zwei fokussierenden Elementen (14, 14') sowie einer Detektor- oder Signalerzeugerplatte (1), auf der mindestens zwei Detektoren (4) oder Signalerzeuger angeordnet sind. Sowohl Trägerplatte (8) als auch Fokussierglied (13) sind mit der Detektor- oder Signalerzeugerplatte (1) verbunden.

    Abstract translation: 本发明涉及一种信号多路复用器/多路分离器与用于具有不同波长的，一个支撑板中的信号分量的光信号的耦合和/或去耦的连接（8），具有至少两个的至少一个wellenlängensensitivem元件（11），一个聚焦元件（13） 聚焦元件（14，14“）和一个检测器或信号生成器板（1），被布置在所述至少两个检测器（4）或信号发生器。 无论是载体板（8）和聚焦元件（13）到检测器或信号生成器板（1）。

    SEMICONDUCTOR MEMORY WITH MEMORY CELLS COMPRISING A VERTICAL SELECTION TRANSISTOR AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
    4.
    发明申请
    SEMICONDUCTOR MEMORY WITH MEMORY CELLS COMPRISING A VERTICAL SELECTION TRANSISTOR AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF 审中-公开
    包含垂直选择晶体管的具有存储器单元的半导体存储器及其制造方法

    公开(公告)号：WO03028104A3

    公开(公告)日：2003-08-14

    申请号：PCT/DE0202980

    申请日：2002-08-14

    Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG ,  LUETZEN JOERN ,  GOEBEL BERND ,  SCHUMANN DIRK ,  GUTSCHE MARTIN ,  SEIDL HARALD ,  POPP MARTIN ,  KERSCH ALFRED ,  STEINHOEGL WERNER

    Inventor： LUETZEN JOERN ,  GOEBEL BERND ,  SCHUMANN DIRK ,  GUTSCHE MARTIN ,  SEIDL HARALD ,  POPP MARTIN ,  KERSCH ALFRED ,  STEINHOEGL WERNER

    IPC: H01L21/8242 ,  H01L27/108

    CPC classification number: H01L27/10864 ,  H01L27/10841 ,  H01L27/10867 ,  H01L27/10891

    Abstract: A trench capacitor (30) is arranged in a first trench (25) for production of a semiconductor memory (5). A first longitudinal trench (55) is arranged in the substrate (15) next to the first trench (25) and parallel thereto on the other side of the first trench (25), a second longitudinal trench (60) is arranged therein. A first spacer word line (70) is arranged in the first longitudinal trench (55) and a second spacer word line (75) is arranged in the second longitudinal trench (60). Connecting webs (80) are arranged in the first trench (25) between the first spacer word line (70) and the second spacer word line (75) with a thickness (110), which is smaller in the direction of the first spacer word line (70) than half the width of the first trench (25) in the direction of the first spacer word line (70).

    Abstract translation: 为了制造半导体存储器（5），沟槽电容器（30）被布置在第一沟槽（25）中。 除了所述第一沟槽（25），第一纵向沟槽（55）和上第一沟槽并行（25），在所述基板的第二纵向沟槽（60）的另一侧（15）被布置。 在第一纵向沟槽（55）中设置第一间隔字线（70），在第二纵向沟槽（60）中设置第二间隔字线（75）。 在所述第一沟槽（25）的连接板（80）设置在所述第一间隔物的字线（70）和具有厚度（110）所述第二间隔的字线（75）（在第一间隔的字线70的方向之间 ）小于第一沟槽（25）朝向第一间隔字线（70）的宽度的一半。

    TRÄGERKOMPONENTE FÜR EIN OPTISCHES MODUL, UND EIN OPTISCHES MODUL
    5.
    发明申请
    TRÄGERKOMPONENTE FÜR EIN OPTISCHES MODUL, UND EIN OPTISCHES MODUL 审中-公开
    支持组件的光学模块和光模块

    公开(公告)号：WO2003005065A2

    公开(公告)日：2003-01-16

    申请号：PCT/EP2002/007443

    申请日：2002-07-04

    Applicant: INSTITUT FÜR MIKROTECHNIK MAINZ GMBH ,  PAATZSCH, Thomas ,  POPP, Martin ,  HAASE, Jens

    Inventor： PAATZSCH, Thomas ,  POPP, Martin ,  HAASE, Jens

    IPC: G02B

    CPC classification number: G02B6/29365

    Abstract: Ein Trägerkomponente (1, 1') für ein Modul (30, 30') zum Zerlegen eines Licht-Eingangsstrahls (9) in mehrere, jeweils aus Licht eines bestimmten Wellenlängenbereichs und/oder aus Licht einer bestimmten Intensität bestehende Licht-Ausgangsstrahlen (10 1 -10 4 ) und/oder zum Zusammenführen mehrerer, jeweils aus Licht eines bestimmten Wellenlängenbereichs und/oder aus Licht einer bestimmten Intensität bestehender Licht-Eingangsstrahlen zu einem gemeinsamen Licht-Ausgangsstrahl ist einstückig und zur Aufnahme von Linsenelementen (6 1 -6 5 ) und Filterelementen (7 1 -7 4 ) ausgebildet. Bei Einlagerung von Linsenelementen (6 1 -6 5 ) und Filterelementen (7 1 -7 4 ) in die Trägerkomponente (1, 1') entsteht somit eine kompakte, mit einem Licht-Eingangskanal zum Einführen des Licht-Eingangsstrahls und mit wenigstens einem Licht-Ausgangskanal zum Ausführen der Licht-Ausgangsstrahlen verbundene Lichtstrahl-Zerlegungseinrichtung. Die als Formteil ausgebildete Trägerkomponente (1, 1') ermöglicht die kostengünstige Herstellung des Moduls (30, 30').

    Abstract translation: “为一个模块（30，30（9）分成多个每个特定波长范围的光的和/或从一定强度现有光输出光束的光分解的输入光束）的支撑部件（1,1）”（101- 104）和/或合并多个，每个由一个特定的波长范围的光的和/或从现有的光输入光束为共同的光学输出光束是在一块一定强度的光，并用于接收透镜元件（61-65）和过滤器元件（71- 74）形成。 期间，在支撑部件（1,1“）的透镜元件（61-65）和过滤器元件（71-74）的存储，从而形成具有光输入端口的紧凑用于引入光输入光束和至少一个光输出通道，用于载运 光输出光束相关联的光束分解器。 该形成为模制支撑部件（1,1“）允许经济地生产模块（30，30”）。

    HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE MEHRZAHL VON UNGEFÄHR GLEICH HOHEN UND GLEICH BEABSTANDETEN GATESTAPELN AUF EINEM HALBLEITERSUBSTRAT
    6.
    发明申请
    HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE MEHRZAHL VON UNGEFÄHR GLEICH HOHEN UND GLEICH BEABSTANDETEN GATESTAPELN AUF EINEM HALBLEITERSUBSTRAT 审中-公开
    PROCESS FOR近似相等且HIGH等距GATE持多数堆叠在半导体衬底

    公开(公告)号：WO2003083931A1

    公开(公告)日：2003-10-09

    申请号：PCT/EP2003/002832

    申请日：2003-03-18

    Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG ,  POPP, Martin ,  WICH-GLASEN, Andreas

    Inventor： POPP, Martin ,  WICH-GLASEN, Andreas

    IPC: H01L21/60

    CPC classification number: H01L21/76897 ,  H01L21/26506 ,  H01L21/26586 ,  H01L21/28247 ,  H01L21/76888

    Abstract: Die vorliegende Erfindung schafft ein Herstellungsverfahren für eine Mehrzahl von ungefähr gleich hohen und gleich beabstandeten Gatestapeln (GS1, GS2, GS3) auf einem Halbleitersubstrat (1) mit den Schritten: Vorsehen eines Gatedielektrikums (5) auf dem Halbleitersubstrat (1); Aufbringen und Strukturieren mindestens einer ersten und einer darüberliegenden zweiten Schicht (10, 20) auf dem Gatedielektrikum (5) zum Erstellen der Gatestapel (GS1, GS2, GS3); Durchführen einer schrägen oxidationshemmenden Implantation (I1, I2) in zwei gegenüberliegende freiliegende Seitenflächen der zweiten (20) der Gatestapel (GS1, GS2, GS3), wobei jeweils benachbarte Gatestapel zur Abschattung der freiliegenden Seitenflächen der ersten Schicht (10) der Gatestapel (GS1, GS2, GS3) dienen; und Durchführen einer Oxidation zum gleichzeitigen Ausbilden einer ersten Oxidschicht (O1) auf freiliegenden Seitenflächen der ersten Schicht (10) der Gatestapel (GS1, GS2, GS3) und einer zweiten Oxidschicht (O2) auf freiliegenden Seitenflächen der zweiten Schicht (20) der Gatestapel (GS1, GS2, GS3), wobei die Dicke der ersten Oxidschicht (O1) größer als die Dicke der zweiten Oxidschicht (O2) ist.

    Abstract translation: 本发明提供了一种制造方法（1），包括以下步骤在半导体衬底上的多个大致同样高的和等间距的栅叠层（GS1，GS2，GS3）：提供一个栅极电介质（5）的半导体衬底（1）上; 应用和至少在所述栅极电介质的第一和第二覆盖层（10，20）（5）以产生栅极堆叠（GS1，GS2，GS3）的图案化; 在第二个（20）的栅极堆叠的两个相对的暴露的侧表面（GS1，GS2，GS3）执行斜向的抗氧化剂注入（I1，I2），其中，用于遮蔽所述栅极堆叠的第一层（10）的暴露的侧表面（GS1分别相邻的栅极堆叠， 服务GS2，GS3）; 和（在栅叠层的第二层（20）的暴露的侧表面进行的栅极堆叠（GS1，GS2，GS3），和第二氧化物层（O2）的第一层（10）的暴露的侧表面上同时形成第一氧化物层（01）的氧化 GS1，GS2，GS3），其特征在于，所述第一氧化物层（01）的厚度比所述第二氧化物层的厚度大（O2）是。

    TEMPERATURE COMPENSATION METHOD OF AN OPTICAL WDM COMPONENT AND TEMPERATURE-COMPENSATED OPTICAL WDM COMPONENT
    7.
    发明申请
    TEMPERATURE COMPENSATION METHOD OF AN OPTICAL WDM COMPONENT AND TEMPERATURE-COMPENSATED OPTICAL WDM COMPONENT 审中-公开
    用于温度补偿的光学波分复用元件和光学波分复用元件的温度补偿方法

    公开(公告)号：WO03027721A2

    公开(公告)日：2003-04-03

    申请号：PCT/DE0202891

    申请日：2002-08-07

    Applicant: CUBE OPTICS AG ,  PAATZSCH THOMAS ,  POPP MARTIN ,  SMAGLINSKI INGO

    Inventor： PAATZSCH THOMAS ,  POPP MARTIN ,  SMAGLINSKI INGO

    IPC: G02B6/34 ,  G02B

    CPC classification number: G02B6/29365 ,  G02B6/29395 ,  G02B6/29398

    Abstract: The invention relates to a temperature compensation method of an optical component using at least one cut-off or band-pass filter (2) and beam-guiding optics. The problem of the invention is to provide a method with which an optical component can be operated with a temperature-dependent band-pass filter (or cut-off filter) across a wide range of temperatures, and to provide a corresponding optical component that can be reliably operated across a wide range of temperatures. This problem is solved by the inventive method which is characterized in that the orientation of the beam (3) relative the cut-off or band-pass filter (2) is changed subject to the temperature of the component.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于利用至少一个边缘或带通滤波器（2）和光束引导光学器件对光学部件进行温度补偿的方法。 为了使可用的一种方法，它（或截止滤光器）在较大的温度范围内允许的光学组件的操作与温度相关的带通滤波器，并提供相应的光学元件是可用的，其可以可靠地在宽的温度范围内操作， 根据本发明提出，根据部件的温度，梁（3）的取向相对于边缘或带通滤波器（2）改变。

    SEMICONDUCTOR MEMORY CELL ARRANGEMENT AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
    8.
    发明申请
    SEMICONDUCTOR MEMORY CELL ARRANGEMENT AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME 审中-公开
    半导体存储器单元装置和方法及其

    公开(公告)号：WO0211200A8

    公开(公告)日：2002-04-11

    申请号：PCT/DE0102798

    申请日：2001-07-23

    Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG ,  GOEBEL BERND ,  LUETZEN JOERN ,  POPP MARTIN ,  SEIDL HARALD

    Inventor： GOEBEL BERND ,  LUETZEN JOERN ,  POPP MARTIN ,  SEIDL HARALD

    IPC: H01L21/8242 ,  H01L27/108

    CPC classification number: H01L27/10864

    Abstract: The invention relates to a semiconductor memory cell arrangement comprising dynamic memory cells (10) which each have a trench capacitor (1) and a vertical selection transistor (2). Said vertical selection transistor (2) is situated essentially above the trench capacitor (1) and has a series of layers which is offset from the inner electrode of the trench capacitor (1) and which is connected to said inner electrode (11) of the trench capacitor (1). An active intermediate layer (22) is completely surrounded by an insulator layer (24) and a gate electrode layer (25) which is connected to a word line (7). The dynamic memory cells (10) are arranged in the form of a matrix, the trench capacitors (1) and the corresponding vertical selection transistors (2) of the dynamic memory cells (10) succeeding each other in a line and/or column sequence, respectively.

    Abstract translation: 具有动态存储单元的半导体存储器单元阵列（10），每一个都具有严重的电容器（1）和一个verikalen选择晶体管（2），其特征在于，垂直选择晶体管（2）基本上高于WOM严重电容器（1）被布置和相对的内部电极 被严重电容器（1）与一个布置成与严重电容器（1），其特征在于，有源中间层（22）被封闭具有完全的绝缘体层（24）和栅电极层（25）的内电极（11）偏移的层序列 Worleitung（7）连接，其中，所述动态存储单元（10）被布置成矩阵，和坟墓电容器（1）和相关联的垂直选择Transistore（2）的动态存储器单元（10），每行和/或列状连续的。

    OPTICAL STRUCTURE COMPRISING AN ELASTIC SUSPENSION SYSTEM AND METHOD FOR PRODUCING SAID STRUCTURE
    9.
    发明申请
    OPTICAL STRUCTURE COMPRISING AN ELASTIC SUSPENSION SYSTEM AND METHOD FOR PRODUCING SAID STRUCTURE 审中-公开
    与生产该柔性悬挂和方法光学组件

    公开(公告)号：WO2007042385A3

    公开(公告)日：2007-06-14

    申请号：PCT/EP2006066609

    申请日：2006-09-21

    Applicant: CUBE OPTICS AG ,  SMAGLINSKI INGO ,  POPP MARTIN ,  PETIGK THOMAS ,  PAATZSCH THOMAS

    Inventor： SMAGLINSKI INGO ,  POPP MARTIN ,  PETIGK THOMAS ,  PAATZSCH THOMAS

    IPC: G02B7/00

    CPC classification number: G02B7/008 ,  G02B6/4226 ,  Y10T403/217

    Abstract: The invention relates to a structure consisting of a first and second component and a connecting element, which joins the two components together and comprises at least two spring elements. The aim of the invention is to provide a structure, in particular an optical structure of the aforementioned type, in which the two components have an extremely high positional and angular degree of accuracy in relation to one another. To achieve this, each spring element has a spring constant that is at least double the value, (in two perpendicular spatial directions), of the third spatial direction, or direction of elasticity, running perpendicular to the first two spatial directions. The two spring elements have elasticity directions that do not run parallel to each other.

    Abstract translation: 本发明涉及一种由一个第一（1）和第二（2）成分的结构和连接这两个部件的连接元件（3），其具有至少两个弹簧元件（4,5,6,7）。 为了提供一种结构，在开始所提到的类型，其中包括两种组分的特定的光学结构，即使在较大的温度波动非常高的位置和角度精度彼此，本发明提出的是，每个弹簧元件是垂直于两个相互空间方向分别 的至少两倍大的弹簧常数如在第三至垂直的空间方向上的第一两个空间方向，即所谓的弹性方向，所述两个弹簧元件具有弹性的方向不平行于彼此。

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