公开(公告)号：WO2008136666A2

公开(公告)日：2008-11-13

申请号：PCT/NL2008/050264

申请日：2008-04-29

Applicant: ASML Netherlands B.V. ,  STAALS, Frank ,  LOF, Joeri ,  LOOPSTRA, Erik, Roelof ,  TEL, Wim, Tjibbo ,  MOEST, Bearrach

Inventor： STAALS, Frank ,  LOF, Joeri ,  LOOPSTRA, Erik, Roelof ,  TEL, Wim, Tjibbo ,  MOEST, Bearrach

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

CPC classification number: G03F7/7085 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70483 ,  G03F9/7088

Abstract: The invention relates to an image for detection of an aerial pattern comprising spatial differences in radiation intensity in a cross section of a beam of radiation in a lithographic apparatus for exposing a substrate. The image sensor comprises a lens arranged to form a detection image of the aerial pattern and an image detector arranged to measure radiation intensities in a plurality of positions in the detection image.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于检测天线图案的图像，其包括用于曝光基板的光刻设备中的辐射束的横截面中的辐射强度的空间差异。 图像传感器包括布置成形成天线图案的检测图像的透镜和布置成测量检测图像中的多个位置中的辐射强度的图像检测器。

公开(公告)号：WO2008136666A3

公开(公告)日：2009-01-15

申请号：PCT/NL2008050264

申请日：2008-04-29

Applicant: ASML NETHERLANDS BV ,  STAALS FRANK ,  LOF JOERI ,  LOOPSTRA ERIK ROELOF ,  TEL WIM TJIBBO ,  MOEST BEARRACH

Inventor： STAALS FRANK ,  LOF JOERI ,  LOOPSTRA ERIK ROELOF ,  TEL WIM TJIBBO ,  MOEST BEARRACH

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

CPC classification number: G03F7/7085 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70483 ,  G03F9/7088

Abstract: The invention relates to an image for detection of an aerial pattern comprising spatial differences in radiation intensity in a cross section of a beam of radiation in a lithographic apparatus for exposing a substrate. The image sensor comprises a lens (5) arranged to form a detection image of the aerial pattern and an image detector (6) arranged to measure radiation intensities in- a plurality, of positions in the detection image.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于检测天线图案的图像，其包括用于曝光基板的光刻设备中的辐射束的横截面中的辐射强度的空间差异。 图像传感器包括布置成形成天线图案的检测图像的透镜（5）和布置成测量检测图像中的多个位置中的辐射强度的图像检测器（6）。