公开(公告)号：WO2003025678A2

公开(公告)日：2003-03-27

申请号：PCT/DE2002/003196

申请日：2002-08-28

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG ,  ALBRECHT, Thomas ,  HAASE, Norbert ,  HAFFNER, Henning ,  JÄHNERT, Carmen ,  KRONEFELD, Olaf ,  STIEGLER, Manfred

Inventor： ALBRECHT, Thomas ,  HAASE, Norbert ,  HAFFNER, Henning ,  JÄHNERT, Carmen ,  KRONEFELD, Olaf ,  STIEGLER, Manfred

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F1/84 ,  G03F7/70525 ,  G03F7/70541 ,  G03F7/70741

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Steuerung des Datenflusses beim Einsatz von Retikeln in einer Halbleiter-Bauelement Produktion, dadurch gekennzeichnet, dass den Retikeln jeweils eindeutig ein strukturierter Retikeldatensatz zugeordnet ist, wobei der Inhalt des Retikeldatensatzes in Abhängigkeit vom Herstellungsprozess eines Halbleiter-Bauelementes automatisch geändert und / oder ergänzt wird. Damit kann die Verwendung von Retikeln in einer Halbleiter-Bauelement Fertigung effizient gesteuert werden.

Abstract translation:

本发明涉及一种方法，以及用于控制在在半导体器件生产中使用的标线的数据的流动的设备，其特征在于，唯一地与每个结构化掩模版相关联的标线片，标线片，其中所述内容 根据半导体器件的制造工艺自动改变和/或补充。 因此，可以有效地控制在半导体器件制造中使用掩模版。

公开(公告)号：WO03025678A3

公开(公告)日：2003-10-09

申请号：PCT/DE0203196

申请日：2002-08-28

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG ,  ALBRECHT THOMAS ,  HAASE NORBERT ,  HAFFNER HENNING ,  JAEHNERT CARMEN ,  KRONEFELD OLAF ,  STIEGLER MANFRED

Inventor： ALBRECHT THOMAS ,  HAASE NORBERT ,  HAFFNER HENNING ,  JAEHNERT CARMEN ,  KRONEFELD OLAF ,  STIEGLER MANFRED

IPC: G03F1/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F1/84 ,  G03F7/70525 ,  G03F7/70541 ,  G03F7/70741

Abstract: The invention relates to a method and a device for control of the data flow on application of reticles in a semiconductor component production, characterised in that the reticles each have a unique structured reticle data set, whereby the content of the reticle data set can be automatically altered and/or completed, depending on the production process for a semiconductor component. The application of reticles in a semiconductor component production can thus be efficiently controlled.

Abstract translation: 本发明涉及一种方法，以及用于控制在在半导体器件生产中使用的标线的数据的流动的设备，其特征在于，所述标线清楚地结构化的标线片被分配，其中，所述掩模版的响应的内容的半导体器件的制造工序中 自动改变和/或补充。 因此，使用分划板可以有效地控制在一个半导体器件的制造。