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公开(公告)号：KR101124487B1
公开(公告)日：2012-03-16
申请号：KR1020110016180
申请日：2011-02-23
Applicant: (유)에스엔티
Abstract: PURPOSE: A method for forming a selective emitter of a solar cell is provided to improve photoelectric conversion efficiency of the solar cell by forming a first emitter layer and a second emitter layer with the diffusion of n type impurities. CONSTITUTION: A first emitter layer formed by diffusing n type impurities is located on the upper side of a substrate(S100). A mask with an patterned opening is arranged on the upper side of the first emitter layer(S200). A second emitter layer is formed by supplying thermal energy to the first emitter layer exposed by the mask(S300).
Abstract translation: 目的：提供一种用于形成太阳能电池的选择性发射极的方法，通过形成具有n型杂质扩散的第一发射极层和第二发射极层来提高太阳能电池的光电转换效率。 构成：通过扩散n型杂质形成的第一发射极层位于衬底的上侧（S100）。 具有图案化开口的掩模布置在第一发射极层的上侧（S200）。 通过向由掩模曝光的第一发射极层提供热能形成第二发射极层（S300）。
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公开(公告)号：KR1020110068167A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：KR1020090125015
申请日：2009-12-15
Applicant: (유)에스엔티
IPC: H01L31/054
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/054
Abstract: PURPOSE: A solar cell and a manufacturing method of the same are provided to minimize the reflection of sunlight by using grown quantum line and metal particles. CONSTITUTION: In a solar cell and a manufacturing method of the same, a substrate is processed by surface treatment to minimize reflectivity of sunlight. An optical crystal layer(14) is comprised of metal particles and quantum lines and reflects incident sunlight from inside. An n- junction layer(16) is formed on the top of the optical crystal layer. An anti-reflection layer(18) is formed on the top of the n- junction layer and prevents the reflection of the sunlight. A surface treatment includes a text process through which a surface structural layer is formed on the surface of the substrate. The quantum lines of the optical crystal layer are grown up in a needle-shaped by depositing silicon on the bottom of the metal particles.
Abstract translation: 目的：提供太阳能电池及其制造方法，以通过使用生长的量子线和金属颗粒来最小化阳光的反射。 构成：在太阳能电池及其制造方法中，通过表面处理对基板进行处理，以使阳光的反射率最小化。 光学晶体层（14）由金属颗粒和量子线构成，并从内部反射入射的阳光。 在光学晶体层的顶部上形成n结结层（16）。 在n结层的顶部形成防反射层（18），防止阳光的反射。 表面处理包括在基板的表面上形成表面结构层的文本处理。 光学晶体层的量子线通过在金属颗粒的底部沉积硅而以针状生长。
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3.发明公开
公开(公告)号：KR1020110023026A
公开(公告)日：2011-03-08
申请号：KR1020090080604
申请日：2009-08-28
Applicant: (유)에스엔티
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B65G49/07
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L21/6773 , B25J9/162 , B65G1/0414 , H01L21/67769 , Y02E10/50
Abstract: PURPOSE: A device for transferring a cassette of a wafer for a solar cell and a device for processing a texture of the wafer for the solar cell using the same are provided to prevent a wafer from being damaged in a transfer process by automatically loading and unloading the cassette which receives the wafer. CONSTITUTION: A loader(100) transfers a cassette(50) with a wafer and supplies the cassette to a texture processing device. The loader includes a texture processing device and a frame(120) which is continuously arranged. A transfer robot(130) which transfers the cassette is installed in the frame. An unloader transfers the cassette to a wafer separating position. A returning unit returns the cassette from the unloader to the loader.
Abstract translation: 目的：提供一种用于传送用于太阳能电池的晶片盒的装置和用于处理太阳能电池晶片的纹理的装置，以防止在转印过程中晶片被自动装载和卸载而损坏 接收晶片的盒式磁带。 构成：装载机（100）将带盒（50）与晶片传送并将盒子提供给纹理处理装置。 装载机包括纹理处理装置和连续布置的框架（120）。 传送盒式磁带的传送机器人（130）安装在框架中。 卸载机将盒子传送到晶片分离位置。 返回单元将磁带从卸载机返回到装载机。
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公开(公告)号：KR101011493B1
公开(公告)日：2011-01-31
申请号：KR1020090050906
申请日：2009-06-09
Applicant: (유)에스엔티
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 태양전지 제조 공정 시스템에 관한 것으로서, 태양전지 제조 공정을 연속 처리할 수 있도록 텍스처링유닛, 확산유닛, 산화막 제거유닛, 반사 방지막 코팅유닛, 전극 인쇄유닛, 및 PN접합 분리유닛을 순차적으로 연결 설치하되, 상기 텍스처링유닛과 확산유닛에는 다결정 실리콘 웨이퍼와 단결정 실리콘 웨이퍼를 병행하여 동시에 처리할 수 있는 복수의 텍스처링부 및 확산부를 각각 병렬 설치하여 다결정 실리콘 태양전지와 단결정 실리콘 태양전지를 하나의 공정 라인에서 선택적으로 제조할 수 있게 함으로써, 공장 자동화에 따른 양산성 제고 및 설비 비용의 절감을 얻을 수 있을 뿐 아니라, 태양전지 제조단가를 현저히 감소시킬 수 있으며, 또한 각각의 공정 품질을 검사할 수 있는 모니터링부를 구비함으로써, 공정 효율의 향상은 물론 고품질의 태양전지 제조가 가능한 태양전지 제조 공정 시스템에 관한 것이다.
기판, 태양전지, 웨이퍼-
公开(公告)号：KR100994182B1
公开(公告)日：2010-11-12
申请号：KR1020090015568
申请日：2009-02-25
Applicant: (유)에스엔티
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 태양전지의 선택적 에미터 형성 방법 및 이를 위한 확산 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 태양전지의 선택적 에미터 형성 방법은 실리콘 기판을 에칭하여 실리콘 기판의 표면을 조직화하는 단계; 실리콘 기판의 표면에 불순물 용액을 코팅하는 단계; 불순물 용액이 코팅된 실리콘 기판의 표면 전체에 제1 열에너지를 주입하는 단계; 및 실리콘 기판의 표면 전체에 제1 열에너지가 주입되는 동안, 불순물 용액이 코팅된 실리콘 기판의 표면 중 일부 영역에 레이저(laser) 광을 조사함으로써 제2 열에너지를 주입하는 단계를 포함한다. 제2 열에너지에 의한 온도는 제1 열에너지와 레이저 광에 의한 온도이고, 제1 열에너지에 의해, 불순물 이온이 실리콘 기판 내부에 확산되어 에미터 층을 형성하고, 제2 열에너지에 의해, 불순물 이온이 에미터층의 일부 영역 내에 더 확산되어 선택적 에미터층을 형성한다. 본 발명에 따르면, 대량 생산시 높은 생산성과 태양전지의 높은 광전변환 효율이 얻어질 수 있다.
태양전지, 에미터층, 실리콘, 확산-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020100096434A
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：KR1020090015312
申请日：2009-02-24
Applicant: (유)에스엔티
IPC: B65G49/06 , B65G49/07 , B65G13/02 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67706 , B65G13/02 , B65G49/061 , B65G49/063 , H01L21/67736
Abstract: PURPOSE: A substrate transferring apparatus is provided to transfer substrates of different thicknesses by adjusting a gap between a lower rolling member wiper and a rolling member. CONSTITUTION: A substrate transferring apparatus comprises a base(1), a driving source(3), a lower shaft(5), an upper shaft(7), a lower rolling member(9), and an upper rolling member(11). The driving source generates driving force. The lower shaft is arranged in a base. The lower shaft rotates by a drive source. The upper shaft is placed on the top of the lower shaft. The upper shaft rotates with the lower shaft. The lower rolling member is coupled with the lower shaft.
Abstract translation: 目的：提供一种基板传送装置，用于通过调节下滚动部件擦拭器和滚动部件之间的间隙来传送不同厚度的基板。 构成：基板传送装置包括基座（1），驱动源（3），下轴（5），上轴（7），下滚动构件（9）和上滚动构件（11） 。 驱动源产生驱动力。 下轴布置在基座中。 下轴由驱动源旋转。 上轴放置在下轴的顶部。 上轴与下轴一起旋转。 下滚动构件与下轴联接。
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公开(公告)号：KR1020120025905A
公开(公告)日：2012-03-16
申请号：KR1020100088085
申请日：2010-09-08
Applicant: (유)에스엔티
IPC: H01L21/3063 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L21/3063 , H01L31/18
Abstract: PURPOSE: A substrate backside etching device is provided to efficiently eliminate a spontaneous oxidation layer only by securing enough the time and area which can contact the spontaneous oxidation layer to etching solution. CONSTITUTION: Etching solution is accepted in a bath(100). A part of a plurality of driving rollers(200) is arranged in order to be flooded in the etching solution. A belt(300) is wound on the plurality of driving rollers and is driven. The belt is transferred while supporting the rear side of a substrate. The belt supplies the etching solution to the rear side of the substrate. A plurality of grooves is formed on the surface of the belt. The plurality of grooves passes through the belt.
Abstract translation: 目的：提供一种基板背面蚀刻装置，只要确保足够的接触自发氧化层的时间和面积才能有效地消除自发氧化层。 构成：在浴缸中接受蚀刻溶液（100）。 多个驱动辊（200）的一部分被布置以便被浸入到蚀刻溶液中。 带（300）缠绕在多个驱动辊上并被驱动。 传送带，同时支撑基板的后侧。 带将蚀刻溶液提供到基板的后侧。 在带的表面上形成多个槽。 多个槽通过带。
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公开(公告)号：KR101124490B1
公开(公告)日：2012-03-16
申请号：KR1020090124969
申请日：2009-12-15
Applicant: (유)에스엔티
IPC: H01L31/054 , H01L31/0236
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 태양전지 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 태양전지는 태양광선의 반사율을 최소화하기 위한 표면처리가 이루어진 기판과, 기판을 식각하여 주기적으로 배열되는 격자구조를 갖는 광결정층과, 기판의 상부에 형성된 n-접합층과, 상기 n-접합층의 상부에 형성되어 태양광선의 반사를 막는 반사 방지막을 포함하며, 판의 표면에 형성된 광결정층에 의해 태양광선의 반사를 최소화할 수 있으며, 기판으로 입사된 태양광선 중 밴드갭 에너지에 해당되는 태양광선의 흡수율을 높일 수 있고, 입사된 태양광선이 광결정층에 의해 반사, 산란, 회절 과정이 일어나도록 하여 입사광선의 세기를 증가시킬 수 있으며, 이에 따라 고효율의 태양전지의 제조가 가능해진다.
태양전지, 광결정, 기판, 밴드갭, 태양광선, 발전, 전기, 식각, 에칭-
公开(公告)号：KR101124485B1
公开(公告)日：2012-03-16
申请号：KR1020100032945
申请日：2010-04-09
Applicant: (유)에스엔티
IPC: H01L21/02
Abstract: 기판 처리 시스템이 개시된다. 상기 기판 처리 시스템은, 기판이 안착된 트레이가 공급되는 로딩부; 상기 로딩부와 이격되는 언로딩부; 직선운동 및 회전운동을 통해 상기 트레이를 전달하는 제1 암 유닛을 포함하고, 상기 로딩부와 상기 언로딩부 사이에 개재되는 이송부; - 이 때, 상기 로딩부와 이송부 및 언로딩부는 제1 경로를 형성함 - 상기 이송부로부터 상기 트레이를 공급받는 제2 암 유닛을 포함하고, 상기 제1 경로와 교차하는 제2 경로 상에 배치되는 로드락 챔버; 및 상기 제2 경로와 교차하는 제3 경로 상에 배치되며, 상기 로드락 챔버로부터 상기 트레이를 공급받아 상기 기판을 처리하는 복수의 공정챔버를 포함한다. 이 때, 상기 공정챔버에서 처리 공정을 거친 트레이는 상기 로드락 챔버와 상기 이송부를 통해 상기 언로딩부로 전달된다.
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公开(公告)号：KR101009422B1
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：KR1020090032156
申请日：2009-04-14
Applicant: (유)에스엔티
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 태양전지의 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 태양전지의 제조 방법은 실리콘 기판의 표면을 조직화하는 단계; 상기 실리콘 기판 내부에 에미터 층을 형성하는 단계; 상기 실리콘 기판의 상부면에 반사 방지막을 형성하는 단계; 상기 반사 방지막의 상부면에 제1 금속 페이스트층을 형성하는 단계; 상기 제1 금속 페이스트층을 건조하는 단계; 상기 제1 금속 페이스트층의 상부면에 제2 금속 페이스트층을 형성하는 단계; 상기 제2 금속 페이스트층을 건조하는 단계; 상기 실리콘 기판의 하부면에 미리 설정된 제3 금속 페이스트층을 형성하는 단계; 상기 제3 금속 페이스트층을 건조하는 단계; 상기 실리콘 기판의 하부면에 제4 금속 페이스트층을 형성하는 단계; 상기 제4 금속 페이스트층을 건조하는 단계; 및 상기 실리콘 기판을 소성 처리하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따른 태양전지의 제조방법은 전면 전극의 점유 면적을 줄여 광흡수율을 높이고, 면저항을 줄여 캐리어의 수집 손실을 줄일 수 있다.
버스바 전극, 핑거 전극, 금속 페이스트층
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