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公开(公告)号：WO2020138809A1
公开(公告)日：2020-07-02
申请号：PCT/KR2019/017850
申请日：2019-12-17
Applicant: (주)미래컴퍼니
IPC: G01N21/3581 , G01N21/27
Abstract: 본 발명은 테라헤르츠파를 이용한 검사장치에 관한 것으로서, 적어도 하나의 검사대상물이 안착되는 안착부를 가지며, 상기 검사대상물이 이송되는 이송 경로를 형성하는 이송 테이블; 상기 이송 경로의 상방에 마련되어, 상기 이송 경로를 따라 이송되는 상기 검사대상물에 테라헤르츠파를 조사하는 테라헤르츠 광원; 및 상기 테라헤르츠 광원으로부터 조사되어 상기 검사대상물을 투과한 테라헤르츠파를 수신하는 테라헤르츠 카메라를 포함하며, 상기 안착부의 전체 또는 일부 영역은 테라헤르츠파가 투과되는 재질로 이루어진 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：WO2020138810A1
公开(公告)日：2020-07-02
申请号：PCT/KR2019/017851
申请日：2019-12-17
Applicant: (주)미래컴퍼니
IPC: G01N21/3581 , G01N21/27 , G01N21/89 , G01N21/17 , G01N21/88
Abstract: 본 발명은 테라헤르츠파를 이용한 검사장치에 관한 것으로서, 검사대상물이 안착되는 이송 테이블; 상기 검사대상물의 표면을 촬영하는 비전 카메라와, 상기 검사대상물에 조명용 광을 조사하는 조명부를 갖는 비전 카메라유닛; 상기 테이블의 상방에 마련되어, 상기 검사대상물에 테라헤르츠파를 조사하는 테라헤르츠 광원; 및 상기 검사대상물로부터 반사된 테라헤르츠파를 수신하는 테라헤르츠 카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：WO2020138808A1
公开(公告)日：2020-07-02
申请号：PCT/KR2019/017849
申请日：2019-12-17
Applicant: (주)미래컴퍼니
IPC: G01N21/3581 , G01N21/27 , G01N21/88 , G01N21/89
Abstract: 본 발명은 테라헤르츠파를 이용한 검사장치에 관한 것으로서, 검사대상물이 안착되는 테이블; 상기 테이블에 안착된 상기 검사대상물에 테라헤르츠파를 조사하는 제1테라헤르츠 광원; 상기 제1테라헤르츠 광원과 광축을 이루며 상기 검사대상물을 투과한 테라헤르츠파를 수신하는 제1테라헤르츠 카메라; 상기 제1테라헤르츠의 광축에 대해 경사지게 상기 검사대상물의 상기 제1테라헤르츠 광원의 광축상에 테라헤르츠파를 조사하는 제2테라헤르츠 광원; 및 상기 제2테라헤르츠 광원에 의해 상기 검사대상물을 투과한 테라헤르츠파 또는 상기 검사대상물로부터 반사된 테라헤르츠파를 수신하는 제2테라헤르츠 카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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