公开(公告)号：WO2021194041A1

公开(公告)日：2021-09-30

申请号：PCT/KR2020/016452

申请日：2020-11-20

Applicant: (주)선재하이테크

Inventor： 이동훈 ,  이병준 ,  이수영 ,  손민석 ,  장호경 ,  임지형

IPC: H05F3/00 ,  H01J61/12 ,  H01J61/30

Abstract: 본 발명에 따른 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템은 내부가 불활성가스로 충진되고, 일측에 피대전체가 진입하는 입구가 형성된 진공 챔버, 상기 진공 챔버 내부에 설치되며, 감지 범위 내에 들어오는 피대전체를 감지하는 센서모듈, 상기 진공 챔버 외부에 배치되며, 상기 센서모듈로부터 피대전체에 대한 감지 신호를 전달받아 정전기제거장치를 온오프 제어가 가능하고, 정전기제거장치의 조사 시간을 조절할 수 있는 제어모듈 및 상기 진공 챔버 내부에 배치되어 상기 제어모듈에 의해 온오프 제어되며, 피대전체의 상부에 진공자외선 광을 조사하여 피대전체의 정전기를 중화시키는 정전기제거장치를 포함한다.