公开(公告)号：KR1020160078758A

公开(公告)日：2016-07-05

申请号：KR1020140188893

申请日：2014-12-24

Applicant: (주)아이엠

Inventor： 송호섭 ,  김의중 ,  유지남 ,  박지훈 ,  정연욱 ,  이승우 ,  민경도 ,  안정찬

IPC: B32B15/08 ,  B32B15/20 ,  C23C16/00 ,  C23C18/16 ,  C25D5/00

CPC classification number: B32B15/08 ,  B32B15/20 ,  C23C16/00 ,  C23C18/16 ,  C25D5/00

Abstract: 본발명은 2층구조의연성동박적층판을제공한다. 구체적으로는본 발명에따른연성동박적층판은리니어방식자기공명플라즈마전처리로표면개질된절연필름, 상기절연필름상에상온화학증착법으로형성된구리시드층, 및구리시드층상에형성된구리도금층을포함하고, 리니어방식자기공명플라즈마전처리를통하여고분자필름의균일성및 폴리이미드고분자필름과구리시드층의계면결합력향상을위한전처리공정이간소화되어작업분위기에따른공정변수를체계화함으로써기계적, 물리적특성의저하없이낮은저항대및 고효율을갖게된다.

Abstract translation: 本发明提供一种具有双层结构的柔性覆铜层压板。 更具体地，根据本发明，柔性覆铜层压板包括：通过线性磁共振等离子体预处理改善表面的绝缘膜; 用室温化学气相沉积法形成在绝缘膜上的铜籽晶层; 以及形成在铜籽晶层上的镀铜层。 通过线性方式磁共振等离子体预处理，简化了预处理工艺，提高了高分子聚合物膜的均匀性和聚酰亚胺高分子聚合物膜与铜籽晶层之间的界面耦合力，以根据工作气氛对工艺变量进行系统化， 从而具有低电阻和高效率，而不会降低机械和物理特性。