公开(公告)号：KR101582081B1

公开(公告)日：2015-12-31

申请号：KR1020130137567

申请日：2013-11-13

Applicant: (주)우리정도

Inventor： 장태순 ,  박민규 ,  류정한

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/52

Abstract: 본발명은초기기동이가능한예열온도를유지할수 있도록제어하여연속적인증착작업을도모함은물론작업소요시간을효율적으로줄임을제공하도록, 피착제표면에화학증착원료를중합하여방수나절연또는변색방지를위한코팅피막을형성하도록기화로및 분해로, 진공증착챔버, 칠러트랩, 진공펌프를포함하여구성되는상온화학증착장치에있어서, 상기기화로및 상기분해로에각각설치되고내부에수용된화학증착원료를가열가능하게승온시키는제1가열기및 제2가열기와; 상기제1가열기및 상기제2가열기에따른상기기화로및 상기분해로의온도를각각구분하여측정가능하도록구비되고상기기화로및 상기분해로에각각설치되는온도측정부와; 상기진공증착챔버에설치되고상기진공펌프로부터생성되는진공값을측정가능하게형성되는진공측정부와; 상기온도측정부와상기진공측정부에서측정된온도및 진공값을표시하는디스플레이창과, 상기제1가열기및 상기제2가열기의작동은물론상기진공펌프에예비전원및 주전원을인가하는복수개의전원버튼으로구성되는컨트롤박스와; 상기컨트롤박스내에장착되고상기온도측정부와상기진공측정부로부터입력되는신호에따라상기제1가열기및 상기제2가열기와상기진공펌프에제어신호를인가하는제어부;를포함하고, 상기제어부는상기컨트롤박스로부터예비전원이인가되면상기제1가열기및 상기제2가열기를각각설정온도까지예비가열하되예열상태를유지가능하게제어하는고속증착이가능한상온화학증착장치를제공한다.

公开(公告)号：KR1020150055343A

公开(公告)日：2015-05-21

申请号：KR1020130137567

申请日：2013-11-13

Applicant: (주)우리정도

Inventor： 장태순 ,  박민규 ,  류정한

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/52

CPC classification number: C23C16/44 ,  C23C16/52

Abstract: 본발명은초기기동이가능한예열온도를유지할수 있도록제어하여연속적인증착작업을도모함은물론작업소요시간을효율적으로줄임을제공하도록, 피착제표면에화학증착원료를중합하여방수나절연또는변색방지를위한코팅피막을형성하도록기화로및 분해로, 진공증착챔버, 칠러트랩, 진공펌프를포함하여구성되는상온화학증착장치에있어서, 상기기화로및 상기분해로에각각설치되고내부에수용된화학증착원료를가열가능하게승온시키는제1가열기및 제2가열기와; 상기제1가열기및 상기제2가열기에따른상기기화로및 상기분해로의온도를각각구분하여측정가능하도록구비되고상기기화로및 상기분해로에각각설치되는온도측정부와; 상기진공증착챔버에설치되고상기진공펌프로부터생성되는진공값을측정가능하게형성되는진공측정부와; 상기온도측정부와상기진공측정부에서측정된온도및 진공값을표시하는디스플레이창과, 상기제1가열기및 상기제2가열기의작동은물론상기진공펌프에예비전원및 주전원을인가하는복수개의전원버튼으로구성되는컨트롤박스와; 상기컨트롤박스내에장착되고상기온도측정부와상기진공측정부로부터입력되는신호에따라상기제1가열기및 상기제2가열기와상기진공펌프에제어신호를인가하는제어부;를포함하고, 상기제어부는상기컨트롤박스로부터예비전원이인가되면상기제1가열기및 상기제2가열기를각각설정온도까지예비가열하되예열상태를유지가능하게제어하는고속증착이가능한상온화학증착장치를제공한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种室温化学气相沉积系统，其能够连续沉积并且通过对早期启动的预热温度的维持进行控制来有效地减少工作时间。 室温化学气相沉积系统包括：分别安装在蒸发和分解炉中的第一和第二加热器; 分别安装在蒸发和分解炉中的温度测量部件; 安装在真空沉积室上以测量由真空泵引起的真空值的真空测量部件; 控制箱，其操作第一和第二加热器，并且具有多个电源按钮以将备用电力和主电力施加到真空泵; 以及控制部，其根据从所述温度测量部和所述真空测量部输入的信号将控制信号施加到所述第一和第二加热器和所述真空泵。