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1.发明专利
公开(公告)号：KR20210031033A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：KR1020190112274A
申请日：2019-09-10
Applicant: (주)지오엘리먼트
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67017 , H01L21/67098 , H01L21/6715 , H01L21/67207
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따르면, 반도체 제조공정에 사용되는 케미컬을 회수하기 위한 케미컬 회수용 응축모듈로서, 제1 내부공간을 가지며, 케미컬을 주입받는 주입구를 상부에 구비하고 케미컬을 배출하는 배출구를 하단부에 구비한 통형상의 케이스; 상기 케이스의 외측면의 적어도 일부를 감싸는 자켓; 상기 제1 내부공간을 상하 방향으로 통과하며 내부에 냉각유체가 흐르는 냉각유체 배관;을 포함하고, 상기 자켓의 내측면과 이 자켓이 둘러싸는 케이스의 외측면 사이에 제2 내부공간이 형성되며, 상기 냉각유체 배관과 상기 제2 내부공간이 연통하도록 구성된 것을 특징으로 하는 케미컬 회수용 응축모듈이 제공된다.
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公开(公告)号：KR102231250B1
公开(公告)日：2021-03-24
申请号：KR1020190112274A
申请日：2019-09-10
Applicant: (주)지오엘리먼트
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67017 , H01L21/67098 , H01L21/6715 , H01L21/67207
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따르면, 반도체 제조공정에 사용되는 케미컬을 회수하기 위한 케미컬 회수용 응축모듈로서, 제1 내부공간을 가지며, 케미컬을 주입받는 주입구를 상부에 구비하고 케미컬을 배출하는 배출구를 하단부에 구비한 통형상의 케이스; 상기 케이스의 외측면의 적어도 일부를 감싸는 자켓; 상기 제1 내부공간을 상하 방향으로 통과하며 내부에 냉각유체가 흐르는 냉각유체 배관;을 포함하고, 상기 자켓의 내측면과 이 자켓이 둘러싸는 케이스의 외측면 사이에 제2 내부공간이 형성되며, 상기 냉각유체 배관과 상기 제2 내부공간이 연통하도록 구성된 것을 특징으로 하는 케미컬 회수용 응축모듈이 제공된다.
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公开(公告)号：WO2022181885A1
公开(公告)日：2022-09-01
申请号：PCT/KR2021/006602
申请日：2021-05-27
Applicant: (주)지오엘리먼트
IPC: G01F23/00 , G01F23/04 , G01K7/02 , G01D7/00 , C23C16/448 , H01L21/02 , C23C16/44 , C23C16/455
Abstract: 일 실시예에 따르면, 기화 가스 배관(OL)을 통해서 이동되는 기화 가스의 양을 측정하고 조절하기 위해 기화 가스 배관(OL)과 동작적으로 결합된 고온 질량유량제어기(400); 및 기화 가스 배관(OL)을 통해서 이동되는 기화 가스의 온도를 조절하기 위해서, 기화 가스 배관(OL)과 열적으로 결합된 제1 가스온도부스터(300);를 포함하며, 제1 가스온도부스터(300)는 고온 질량유량제어기(400)와 캐니스터(10)와의 사이의 배관에 위치된 것인, 고순도 전구체를 위한 기화 시스템이 개시된다.
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公开(公告)号：KR1020210031033A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：KR1020190112274
申请日：2019-09-10
Applicant: (주)지오엘리먼트
IPC: H01L21/67
Abstract: 본발명의일 실시예에따르면, 반도체제조공정에사용되는케미컬을회수하기위한케미컬회수용응축모듈로서, 제1 내부공간을가지며, 케미컬을주입받는주입구를상부에구비하고케미컬을배출하는배출구를하단부에구비한통형상의케이스; 상기케이스의외측면의적어도일부를감싸는자켓; 상기제1 내부공간을상하방향으로통과하며내부에냉각유체가흐르는냉각유체배관;을포함하고, 상기자켓의내측면과이 자켓이둘러싸는케이스의외측면사이에제2 내부공간이형성되며, 상기냉각유체배관과상기제2 내부공간이연통하도록구성된것을특징으로하는케미컬회수용응축모듈이제공된다.
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公开(公告)号：KR1020210018885A
公开(公告)日：2021-02-18
申请号：KR1020210014884
申请日：2021-02-02
Applicant: (주)지오엘리먼트
Abstract: 일실시예에따르면, 유체가이동할수 있는경로인제1유로, 제1유로와연통되어제1유로에게유체를주입하기위한제1인렛과, 제1유로와연통되어있고기화된물질을외부로배출하기위한제1아웃렛을포함하는제1기화기; 및유체가이동할수 있는경로인제2유로, 제2유로와연통되어제2유로에게유체를주입하기위한제2인렛과, 제2유로와연통되어있고기화된물질을외부로배출하기위한제2아웃렛을포함하는제2기화기; 및제1아웃렛과제2인렛을연결시키는연결라인;을포함하며, 제1기화기에서기화된물질이상기연결라인을통해서제2기화기로이동되는것인, 기화시스템이개시된다.
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR200406528Y1
公开(公告)日：2006-01-23
申请号：KR2020050031948
申请日：2005-11-10
Applicant: (주)지오엘리먼트
Inventor： 신현국
Abstract: 본 고안은 반도체 혹은 전자재료의 제조에 사용되는 각종 약품을 보관하거나 취급하는데 사용되는 보관용기에 관한 것으로서, 반도체 혹은 전자재료의 제조과정 중 버블링 공정에서 발생되는 버블이 전구체 보관용기의 배출구로 배출되는 것을 방지하여 파티클의 생성을 억제함으로서 전구체의 사용 효율성을 극대화시킴과 아울러 용기본체 내부에 보관된 전구체의 변질을 최소화하고, 전구체의 사용기간을 연장시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있으며, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 고안에서는 전구체가 채워지는 용기본체와, 상기 용기본체의 상부에 결합되며 주입구와 배출구가 구비된 용기커버를 포함하는 약품보관 용기에 있어서, 상기 용기본체 내부에 배출구로 버블이 배출되는 것을 방지하는 다수의 통기공을 갖는 버블배출 방지구가 구비됨을 특징으로 하는 약품보관 용기를 제공한다.
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公开(公告)号：KR200401910Y1
公开(公告)日：2005-11-22
申请号：KR2020050026471
申请日：2005-09-14
Applicant: (주)지오엘리먼트
Inventor： 신현국
CPC classification number: B65D79/00 , B65D2201/00 , H01L21/00
Abstract: 본 고안은 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기에 관한 것으로서, 본 고안에서는 전자재료 제조시 전구체의 사용에 필수적으로 따르는 금속제의 보관용기에 보관되어 있는 액상의 전구체의 액위를 측정하기 위하여 사용되는 정전용량식 레벨센서에서의 프로브 구조를 개선하여 금속탐침의 기계적인 밀폐와 전기적인 밀폐를 용이하게 이룰 수 있을 뿐만 아니라 진공이나 고압에도 견딜 수 있으며, 특히 하위레벨에서도 정전용량 값의 왜곡을 방지하여 전구체의 액위를 보다 정확하게 측정할 수 있을 뿐만 아니라 반도체 혹은 전자재료를 제조하는 어떠한 공정에서라도 용기 내부의 전구체의 액면을 안정화시켜 주어 측정되는 정전용량 값의 정확도를 높여 줄 수 있는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기를 제공한다.
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公开(公告)号：KR102231250B1
公开(公告)日：2021-03-24
申请号：KR1020190112274
申请日：2019-09-10
Applicant: (주)지오엘리먼트
IPC: H01L21/67
Abstract: 본발명의일 실시예에따르면, 반도체제조공정에사용되는케미컬을회수하기위한케미컬회수용응축모듈로서, 제1 내부공간을가지며, 케미컬을주입받는주입구를상부에구비하고케미컬을배출하는배출구를하단부에구비한통형상의케이스; 상기케이스의외측면의적어도일부를감싸는자켓; 상기제1 내부공간을상하방향으로통과하며내부에냉각유체가흐르는냉각유체배관;을포함하고, 상기자켓의내측면과이 자켓이둘러싸는케이스의외측면사이에제2 내부공간이형성되며, 상기냉각유체배관과상기제2 내부공간이연통하도록구성된것을특징으로하는케미컬회수용응축모듈이제공된다.
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