公开(公告)号：KR101496992B1

公开(公告)日：2015-03-02

申请号：KR1020130137036

申请日：2013-11-12

Applicant: (주) 인텍플러스

Inventor： 임쌍근 ,  이상윤 ,  강민구 ,  구자철 ,  크리스찬로또 ,  루돌프모스버거

IPC: G01R31/28 ,  G02F1/13 ,  H01L51/50

Abstract: 본 발명에서는 컬러필터 기판과의 합착 공정 전에 어레이 기판을 비접촉 방식으로 검사할 수 있는 어레이 기판 검사장치 및 검사방법이 개시된다.
본 발명에 따르면, 복수의 픽셀영역을 포함하는 어레이 기판을 검사하기 위한 것으로, 상기 어레이 기판의 상부에 상기 각각의 픽셀영역과 대응하도록 배치되고, 상기 어레이 기판과의 전압차로 인해 발생된 전기장을 통해 유도된 전하를 저장하는 복수의 금속전극들로 이루어진 금속전극 어레이와, 상기 어레이 기판과 금속전극 어레이에 전압을 인가하는 전압공급부와, 상기 각각의 금속전극에 저장된 전하량을 전압으로 변환하여 출력하는 컨버터와, 상기 컨버터에서 출력된 전압값을 입력 받아 디지털 신호로 변환하여 출력하는 AD변환기와, 상기 AD변환기에서 출력된 디지털 신호를 기초로 검사 이미지를 만드는 이미지 생성수단을 포함한다.

Abstract translation: 在本发明中，公开了一种用于检查阵列基板的装置和方法，该阵列基板在与滤色器基板的接合处理之前可以通过非接触方式检查阵列基板。 根据本发明，用于检查包括多个像素区域的阵列基板的装置包括：金属电极阵列，设置在阵列基板的上部，以对应于每个像素区域，以存储通过 由于与阵列基板的电压差而产生的电场; 电压供应单元，用于向阵列基板和金属电极阵列施加电压; 将存储在每个金属电极中的电荷转换成电压并输出电压的转换器; 用于接收从转换器输出的电压的AD转换器将电压转换成数字信号并输出​​数字信号; 以及图像生成装置，用于基于从AD转换器输出的数字信号生成检查图像。