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公开(公告)号：WO2009041463A1
公开(公告)日：2009-04-02
申请号：PCT/JP2008/067239
申请日：2008-09-25
CPC classification number: H01L29/84 , G01L9/0042 , G01L9/0054
Abstract: ダイヤフラムと感応抵抗素子との相対位置ずれ又はダイヤフラムの形状誤差が小さく、測定誤差の発生が少ない半導体圧力センサを得る。 酸化膜１２を挟んで貼り合わされたＳＯＩ基板１０の一方のシリコン基板１３にキャビティ２０が、他方の基板１１及び熱酸化膜１２によってダイヤフラム２１が形成された半導体圧力センサであって、前記キャビティ２０に臨むダイヤフラム２１の熱酸化膜１２は、キャビティ２０の内壁側面１３ａを規制するシリコン基板１３との境界部において、該シリコン基板１３によるキャビティ径と同一径を有し、かつ該境界部からダイヤフラム２０の中心に向けてキャビティ径を小径とする円弧断面１２ａをなす。
Abstract translation: 可以提供在隔膜和敏感电阻元件之间具有小的相对位置偏移或膜片的小形状误差的半导体压力传感器，并且抑制测量误差的产生。 半导体压力传感器包括：形成在一个（13）硅衬底上的空腔（20），其接合以夹着氧化膜（12）以构成SOI衬底（10）; 以及由另一基板（11）和热氧化膜（12）形成的隔膜（21）。 面对空腔（20）的隔膜（21）的热氧化膜（12）具有与硅衬底（13）在与硅衬底（13）的边界限定的空腔相同的直径，该衬底限制内壁表面 （20）的中心具有由腔体直径限定的较小直径的弧形截面。
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公开(公告)号：WO2009119349A1
公开(公告)日：2009-10-01
申请号：PCT/JP2009/054934
申请日：2009-03-13
Applicant: アルプス電気株式会社 , 源川 隆幸 , 佐藤 広行 , 大川 尚信
CPC classification number: G01L19/0038 , G01L19/0084 , G01L19/0627 , G01L19/141 , H01L2224/48091 , H01L2924/00014
Abstract: 液漏れの生じることのない、防水性能、耐圧性の高い圧力センサパッケージを得る。 ケーシングの受圧端面に深さ方向に順に形成した受圧導入凹部及びチップ収納凹部と、ケーシングにインサート形成されたリードフレームと、チップ収納凹部に収納された圧力センサチップとリードフレームを導通させる導通ワイヤと、圧力センサチップ及び導通ワイヤを封止する封止樹脂とを有する圧力センサパッケージにおいて、ケーシングの受圧端面には滑らかな凹面を形成しておき、この凹面に上記受圧導入凹部を形成した。
Abstract translation: 提供一种不产生液体泄漏并具有高耐水性和耐压性的压力传感器封装。 所述压力传感器组件设置有沿深度方向依次形成在壳体的受压端面上的接收压力引入凹部和芯片存储凹部， 插入并形成在所述壳体中的引线框架; 允许在存储在芯片存储凹部中的压力传感器芯片与引线框架之间承载电流的导线; 以及用于密封压力传感器芯片和导线的密封树脂。 在壳体的受压端面上形成有平滑的凹面，在凹面上形成接收的压力导入凹部。
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公开(公告)号：WO2009099125A1
公开(公告)日：2009-08-13
申请号：PCT/JP2009/051935
申请日：2009-02-05
IPC: G01P15/125 , H01L29/84
CPC classification number: G01P15/125 , B81B3/0078 , B81B2201/0235 , B81B2203/053 , G01P15/0802 , G01P2015/0831
Abstract: 【課題】 特に、小型で且つセンサ感度に優れたＺ軸対応型の物理量センサを提供することを目的としている。 【解決手段】 支持基板と、支持基板の上面に固定されるアンカ部２１，２２と、支持基板の上方に位置しアンカ部２１，２２に支持部８～１１を介して高さ方向に揺動可能に支持された可動部６と、可動部の変位を検知するための検知部と、を有している。支持部には可動部６とアンカ部２１，２２との間でばね部２９，３４を介してばね部より高剛性のビーム部３０～３３が設けられている。ばね部の捩れ及び、ビーム部の前記可動部側を支持する先端部の高さ方向への変位により、可動部６が高さ方向に平行移動する。
Abstract translation: 公开了一种Z轴兼容物理量传感器，体积小，传感器灵敏度高。 传感器具有支撑基板，固定在支撑基板的上表面上的锚固件（21,22），可动部件（6）位于支撑基板上方并被支撑以能够在高度方向上滑动 通过锚固件（21,22）上的支撑件（8至11）以及用于检测可移动部件的位移的检测器部件。 在支撑件上，弹簧（29,34）插入在可移动部件（6）和锚固件（21,22）之间，并且提供比弹簧更高刚性的梁（30至33）。 可移动部件（6）通过弹簧的扭转而平行于高度方向移动，并且在支撑上述可动部件的梁的端部的高度方向上移动。
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公开(公告)号：WO2008114728A1
公开(公告)日：2008-09-25
申请号：PCT/JP2008/054753
申请日：2008-03-14
IPC: G01L9/14
Abstract: 本発明の磁気式圧力センサ（１）は、主面を有するガラス基板（１１）と、前記主面に設けられた凹部内に形成された第１シールド層（１２）と、前記第１シールド層（１２）上に絶縁層（１３）を介して形成されたＧＭＲ素子（１７）と、前記絶縁層（１３）上に金－スズ共晶物（１８）により接合されており、一方の主面上に前記ＧＭＲ素子と対向するようにハード磁性層（２１）を有し、他方の主面上に第２シールド層（２２）を有するダイヤフラム（２０ａ）を持つシリコン基板（２０）と、を具備する。
Abstract translation: 公开了一种磁性压力传感器（1），其包括具有主表面的玻璃基板（11），形成在设置在主表面上的凹部内的第一屏蔽层（12），形成在第一 通过绝缘层（13）的屏蔽层（12）和用金锡共晶合金（18）接合到绝缘层（13）上的硅衬底（20），并且具有包括硬磁体 层（21），使得硬磁性层面向GMR元件，同时在另一个主表面上具有第二屏蔽层（22）。
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公开(公告)号：JP2017181302A
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：JP2016068857
申请日：2016-03-30
Applicant: アルプス電気株式会社
IPC: G01L19/06
CPC classification number: G01L19/0038
Abstract: 【課題】ゲル剤のはみ出しを防止するとともに、製造工程の簡素化を図ることができる防水型圧力センサおよびその製造方法を提供すること。 【解決手段】本発明の防水型圧力センサは、圧力検出素子と、圧力検出素子を実装する凹部と、凹部の周囲に設けられた縁部とを有するキャビティパッケージと、キャビティパッケージの縁部に取り付けられ、縁部よりも平滑化された表面と、開口部とを有する枠部と、枠部に取り付けられ、開口部と重なる位置に開口部よりも小径な圧力導入孔を有する接触防止部材と、凹部内および開口部内に設けられるゲル剤と、を備え、ゲル剤は、圧力導入孔の枠部側の縁から離れて設けられていることを特徴とする。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017067445A
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：JP2014027333
申请日：2014-02-17
Applicant: アルプス電気株式会社
IPC: G01N27/22
CPC classification number: G01N27/223
Abstract: 【課題】本発明は、小型化・低背化を実現するとともに、湿度センサ素子の面積や配置の自由度を確保することが可能な湿度センサを提供することを目的とする。 【解決手段】本発明の湿度センサは、半導体基板30と、半導体基板30の一面30a側に形成された湿度センサ素子20とを有し、半導体基板30の一面30aには、回路素子部31と、複数の接続部36と、回路素子部31と接続部36とを電気的に接続する配線32と、回路素子部31及び配線32を覆う保護層34とが設けられており、湿度センサ素子20は、回路素子部31または配線32と重複する位置に、保護層34を介して設けられていることを特徴とする。 【選択図】図4
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公开(公告)号：JP5922249B2
公开(公告)日：2016-05-24
申请号：JP2014540884
申请日：2013-10-10
Applicant: アルプス電気株式会社
IPC: H01G5/16
CPC classification number: H01G5/16 , B81B3/0056 , B81B2201/0221
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公开(公告)号：JP5859133B2
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：JP2014535505
申请日：2013-09-04
Applicant: アルプス電気株式会社
CPC classification number: G01P15/18 , B81B7/0019 , B81B7/0058 , G01P15/0802 , G01P15/125 , H01L23/3121 , B81B2201/0292 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/1461
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