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公开(公告)号：JP3653595B2
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：JP5274994
申请日：1994-02-24
Inventor： エンリコ・マリア・アルフォンソ・ラヴァネリ , フラヴィオ・ヴィラ
IPC: H01L21/336 , H01L29/10 , H01L29/78
CPC classification number: H01L29/7816 , H01L29/0878 , H01L29/1083 , H01L29/66659 , Y10S148/126
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