公开(公告)号：JP5692328B2

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：JP2013208953

申请日：2013-10-04

Applicant: セイコーエプソン株式会社

Inventor： 関 俊一 ,  森井 克行

IPC: H01L51/50 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L27/3223 ,  H01L27/3244

公开(公告)号：JP5880638B2

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：JP2014151586

申请日：2014-07-25

Applicant: セイコーエプソン株式会社

Inventor： 関 俊一 ,  森井 克行

IPC: H01L51/50 ,  H05B33/22 ,  H05B33/12

CPC classification number: H01L27/3223 ,  H01L27/3244