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    強誘電体薄膜形成用組成物、強誘電体薄膜及び強誘電体薄膜の製造方法並びに液体噴射ヘッド
    1.
    发明申请
    強誘電体薄膜形成用組成物、強誘電体薄膜及び強誘電体薄膜の製造方法並びに液体噴射ヘッド 审中-公开
    用于形成铁素体薄膜的组合物，铁电薄膜和制备薄膜的方法和液体喷涂头

    公开(公告)号：WO2006006406A1

    公开(公告)日：2006-01-19

    申请号：PCT/JP2005/011996

    申请日：2005-06-29

    Applicant: セイコーエプソン株式会社 ,  角 浩二

    Inventor： 角 浩二

    IPC: H01L41/22

    CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/318

    Abstract: 　非常に優れた有機金属化合物の分散安定性及び保存安定性を長期に亘って維持することができるＭＯＤ法用のコロイド溶液である強誘電体薄膜形成用組成物、強誘電体薄膜及び強誘電体薄膜の製造方法並びに液体噴射ヘッドを提供する。ＭＯＤ法によって強誘電体薄膜を形成する際に、強誘電体薄膜を構成する金属を含む有機金属化合物を含有するＭＯＤ法用のコロイド溶液からなり、有機金属化合物の結晶水以外の水を含有する強誘電体薄膜形成用組成物を用いる。

    Abstract translation: 一种通过MOD法形成铁电薄膜的方法，其特征在于，使用形成铁电薄膜的组合物，该铁电体薄膜包含含有构成铁电体薄膜的金属的有机金属化合物的MOD方法的胶体溶液，以及 除了有机金属化合物的结晶水之外，还包含水。 作为用于MOD方法的胶体溶液形成铁电薄膜的组合物可以在长时间内保持非常优异的分散稳定性和有机金属化合物的储存稳定性。 还提供了通过上述方法形成的铁电薄膜和用于喷射液体的头部。

    圧電アクチュエータ及び液体噴射ヘッド
    2.
    发明申请
    圧電アクチュエータ及び液体噴射ヘッド 审中-公开
    压电致动器和液体喷射头

    公开(公告)号：WO2003098714A1

    公开(公告)日：2003-11-27

    申请号：PCT/JP2003/006074

    申请日：2003-05-15

    Applicant: セイコーエプソン株式会社 ,  樋口 天光 ,  岩下 節也 ,  角 浩二 ,  村井 正己

    Inventor： 樋口 天光 ,  岩下 節也 ,  角 浩二 ,  村井 正己

    IPC: H01L41/083

    CPC classification number: H01L41/0973 ,  B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/047 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/319

    Abstract: 　下部電極として（１００）配向のルテニウム酸ストロンチウムを用いた場合に最適な層構成を備えた圧電アクチュエータを提供する。この圧電アクチュエータは、（１００）Ｓｉ基板２０上にエピタキシャル成長された（１００）配向のイットリア安定化ジルコニア、ＣｅＯ ２ 又はＺｒＯ ２ からなる振動板３０と、前記振動板上に形成された、（００１）配向のＲＥＢａ ２ Ｃｕ ３ Ｏ ｘ のバッファ層４１と、前記バッファ層上に形成された、（１００）配向のルテニウム酸ストロンチウムを備えた下部電極４２と、前記下部電極上に形成された、（１００）配向のＰＺＴからなる圧電体層４３と、前記圧電体層上に形成された上部電極４４と、を備える。

    Abstract translation: 当具有（100）取向的钌酸锶用于下电极时，具有最合适的层状结构的压电致动器。 压电致动器包括由氧化钇稳定的氧化锆制成的振动板（30），其具有在（100）-Si衬底（20），CeO 2或ZrO 2上外延生长的（100）取向的REBa2Cu3Ox缓冲层（41） 在所述振动板（30）上形成的（001）取向，在所述缓冲层上形成的下电极（42），其包含具有（100）取向的钌酸锶，形成在所述下电极上的压电体层 （42），并由（100）取向的PZT制成，以及形成在压电层上的上电极（44）。

    超音波センサー及び超音波センサー用圧電素子の駆動方法
    6.
    发明专利
    超音波センサー及び超音波センサー用圧電素子の駆動方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2017143353A

    公开(公告)日：2017-08-17

    申请号：JP2016022205

    申请日：2016-02-08

    Applicant: セイコーエプソン株式会社

    Inventor： 板山 泰裕 ,  角 浩二

    IPC: H01L41/113 ,  H01L41/09 ,  H01L41/053 ,  H04R3/00 ,  A61B8/14 ,  H04R17/00

    Abstract: 【課題】超音波センサー用の圧電素子を対象として、送受信感度のばらつきの抑制、及び、受信感度の向上化のうち、少なくとも1つを達成することが可能な超音波センサー及び超音波センサー用圧電素子の駆動方法を提供する。 【解決手段】ヤング率が40GPa以上50GPa以下の圧電体層を含む超音波センサーは、第1の電位V1によって圧電素子の分極を維持する第1工程P1と、最大電位VHと最小電位VLを少なくとも1回ずつ付与することによって圧電素子に超音波を送信させる第2工程P2と、第2の電位V2で圧電素子を待機させる第3工程P3と、第2の電位V2から第3の電位V3へ上昇させる第4工程P4と、圧電素子が超音波を受信する間第3の電位V3をそのまま維持する第5工程P5と、第3の電位V3から第1の電位V1へ戻す第6工程P6とを有し、第4工程P4は電位軸(縦軸)及び時間軸(横軸)に対して傾きを有する駆動波形により駆動する。 【選択図】図13

    圧電素子、及び圧電素子応用デバイス
    7.
    发明专利
    圧電素子、及び圧電素子応用デバイス 审中-公开
    一种压电元件，并且压电元件施加装置

    公开(公告)号：JP2016225550A

    公开(公告)日：2016-12-28

    申请号：JP2015112680

    申请日：2015-06-02

    Applicant: セイコーエプソン株式会社

    Inventor： 酒井 朋裕 ,  角 浩二 ,  一色 鉄也 ,  高橋 敏明 ,  古林 智一 ,  北田 和也

    IPC: H01L41/187 ,  H01L41/317 ,  H01L41/43 ,  B41J2/14 ,  H01L41/09

    CPC classification number: H01L41/04 ,  B41J2/14233 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/18 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/318 ,  B41J2/14201 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2202/03

    Abstract: 【課題】圧電特性の向上、及び、リーク電流の抑制の少なくとも一方を実現した圧電素子、及び圧電素子応用デバイスを提供する。 【解決手段】第1電極60と、前記第1電極60上に溶液法によって形成され、カリウムと、ナトリウムと、ニオブと、を含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層70と、前記圧電体層70上に設けられた第2電極80と、を備えた圧電素子300であって、前記圧電体層70を10万倍で断面SEM像を撮影し、横方向の測定値が1273nmとなる条件で評価を行ったとき、当該圧電体層70には、2個以上のボイド75が含まれており、各ボイドの膜厚方向に最大となる径のうち、最大値と最小値との差が14nm以下であり、かつ、前記最大値が24nm以下である。 【選択図】 図4

    Abstract translation: 压电特性的改进，并且提供的压电元件，以实现泄漏电流的抑制中的至少一个，和压电元件施加装置。 和第一电极60通过溶液法在第一电极60，钾，钠，和铌，由钙钛矿结构包括的复合氧化物的压电体层70形成 设置在压电层70，压电元件300上的第二电极80具有，通过以100,000倍，横向和1273nm测量值拍摄的横截面SEM图像的压电体层70 制成当条件下评价，以70是包含两个或更多个空隙75，的直径变于空隙的厚度方向上最大，最大值和最小值之间的压电体层 所不同的是在14nm以下或更小，并且所述最大值为不超过24纳米。 点域4

    液体噴射ヘッド、圧電デバイスおよび液体噴射装置
    8.
    发明专利
    液体噴射ヘッド、圧電デバイスおよび液体噴射装置 有权
    液体喷射头，压电装置和液体喷射装置

    公开(公告)号：JP2016179691A

    公开(公告)日：2016-10-13

    申请号：JP2016121228

    申请日：2016-06-17

    Applicant: セイコーエプソン株式会社

    Inventor： 平井 栄樹 ,  矢崎 士郎 ,  角 浩二 ,  ▲高▼部 本規 ,  加藤 治郎 ,  伊藤 浩 ,  清水 稔弘 ,  上條 隆弘 ,  鳥本 達朗 ,  小島 力

    IPC: B41J2/14

    Abstract: 【課題】圧電体層におけるクラック等の不良発生を防止する。 【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された基板と、圧電体層と、前記圧電体層の前記基板側において前記圧力発生室に対応して形成された第1電極と、前記圧電体層の第1電極が形成された側とは逆側において複数の前記圧力発生室に亘って形成された第2電極と、を有する圧電素子と、を備える液体噴射ヘッドであって、前記第2電極は、前記圧力発生室の長手方向において前記圧力発生室の外側まで延出して形成される構成とした。 【選択図】図2

    Abstract translation: 要解决的问题：为了防止压电层中的裂纹等缺陷的发生。液体喷射头包括：形成有与喷嘴开口连通的压力产生室的基板; 以及具有压电层的压电元件，形成在压电层的基板的一侧以对应于压力发生室的第一电极和形成在与压力发生室相对的一侧的一侧上的第二电极 其中压电层的第一电极形成在多个压力产生室上，其中第二电极被构造和形成，同时在压力发生室的纵向延伸到压力发生室的外部。图示：图 2

    圧電アクチュエーターの製造方法
    10.
    发明专利
    圧電アクチュエーターの製造方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021084389A

    公开(公告)日：2021-06-03

    申请号：JP2019216461

    申请日：2019-11-29

    Applicant: セイコーエプソン株式会社

    Inventor： 古池 晴信 ,  四十物 孝憲 ,  中山 雅夫 ,  ▲高▼部 本規 ,  角 浩二 ,  板山 泰裕 ,  清水 稔弘

    IPC: H01L41/09 ,  B41J2/14 ,  B41J2/16

    Abstract: 【課題】金属酸化物層が剥がれ難い圧電アクチュエーターの製造方法を提供する。 【解決手段】振動板を形成する工程と、前記振動板上に第1電極を形成する工程と、前記第1電極上に圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に第2電極を形成する工程と、を含み、前記振動板を形成する工程は、気相法によってジルコニウムを含む金属層を形成する工程と、前記金属層を焼成して金属酸化物層を形成する工程と、を含む単一層形成工程を有し、前記単一層形成工程を繰り返し、前記金属酸化物層が積層された前記振動板を形成し、前記金属酸化物層の厚さは、200nm未満である、圧電アクチュエーターの製造方法。 【選択図】図10

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