焦点检测方法、焦点检测机械装置和图像测量设备

    公开(公告)号:CN100356225C

    公开(公告)日:2007-12-19

    申请号:CN200410061817.6

    申请日:2004-06-25

    Inventor: 吉田博行

    CPC classification number: G02B7/38

    Abstract: 公开一种能够以高精确度高速执行焦点检测的焦点检测方法和图像测量设备的焦点检测机械装置、及具有该焦点检测机械装置的图像测量设备。旋转驱动装置旋转和操作用于将光栅图形投射到所测量物体的光栅滤波器。距离驱动装置调整图像拾取装置和测量物体之间的间隔距离。通过相互关联操作旋转驱动装置和距离驱动装置,由图像拾取装置通过多次曝光来拍摄每一预定旋转角度的、投射光栅图形的测量物体的图像。根据所拾取图像信息中的光栅图形的对比度值计算焦点位置。故不需要在多个距离位置拍摄多个图像并处理多个图像。因此可以缩短图像拍摄和图像处理时间,并可增加焦点检测速度。而且由于根据频域信息计算对比度值,所以可以以高精度执行焦点检测。

    焦点检测方法、焦点检测机械装置和图像测量设备

    公开(公告)号:CN1576934A

    公开(公告)日:2005-02-09

    申请号:CN200410061817.6

    申请日:2004-06-25

    Inventor: 吉田博行

    CPC classification number: G02B7/38

    Abstract: 公开一种能够以高精确度高速执行焦点检测的焦点检测方法和图像测量设备的焦点检测机械装置、及具有该焦点检测机械装置的图像测量设备。旋转驱动装置旋转和操作用于将光栅图形投射到所测量物体的光栅滤波器。距离驱动装置调整图像拾取装置和测量物体之间的间隔距离。通过相互关联操作旋转驱动装置和距离驱动装置,由图像拾取装置通过多次曝光来拍摄每一预定旋转角度的、投射光栅图形的测量物体的图像。根据所拾取图像信息中的光栅图形的对比度值计算焦点位置。故不需要在多个距离位置拍摄多个图像并处理多个图像。因此可以缩短图像拍摄和图像处理时间,并可增加焦点检测速度。而且由于根据频域信息计算对比度值,所以可以以高精度执行焦点检测。

Patent Agency Ranking