公开(公告)号：CN101140161B

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN200710149067.1

申请日：2007-09-07

Applicant: 三丰株式会社

Inventor： 石川修弘 ,  清谷进吾

IPC: G01B21/00 ,  G01B21/04 ,  G01B21/20 ,  G01B21/30

CPC classification number: G01B21/045

Abstract: 本发明的表面形状测定装置包括：动作估计部分(600)，基于从仿形矢量指令部分(220)发出的仿形矢量指令，估计驱动机构的动作状态，计算估计动作状态量；校正运算部分(700)，按照在动作估计部分(600)计算的估计动作状态量，对驱动传感器的检测值进行校正运算。动作估计部分(600)包括被设定了标准模型的标准模型设定部分(311)，校正运算部分(700)包括：校正量计算部分(720)，基于估计动作状态量，计算对驱动中的驱动机构变形而产生的测定误差进行校正的校正量；以及测定数据合成部分(430)，合成驱动传感器以及检测传感器的检测值和校正量计算部分(720)计算的校正量作为测定数据。

公开(公告)号：CN101140161A

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：CN200710149067.1

申请日：2007-09-07

Applicant: 三丰株式会社

Inventor： 石川修弘 ,  清谷进吾

IPC: G01B21/00 ,  G01B21/04 ,  G01B21/20 ,  G01B21/30

CPC classification number: G01B21/045

Abstract: 本发明的表面形状测定装置包括：动作估计部分(600)，基于从仿形矢量指令部分(220)发出的仿形矢量指令，估计驱动机构的动作状态，计算估计动作状态量；校正运算部分(700)，按照在动作估计部分(600)计算的估计动作状态量，对驱动传感器的检测值进行校正运算。动作估计部分(600)包括被设定了标准模型的标准模型设定部分(311)，校正运算部分(700)包括：校正量计算部分(720)，基于估计动作状态量，计算对驱动中的驱动机构变形而产生的测定误差进行校正的校正量；以及测定数据合成部分(430)，合成驱动传感器以及检测传感器的检测值和校正量计算部分(720)计算的校正量作为测定数据。