公开(公告)号：CN101113891A

公开(公告)日：2008-01-30

申请号：CN200710138135.4

申请日：2007-07-26

Applicant: 三丰株式会社

Inventor： 越智研司 ,  菊池直也 ,  高桥伸二

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/02 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B11/002 ,  G01B21/045

Abstract: 本发明的光学式测量装置包括：具有基准线的屏幕；可移动的载物台；使被放置在该载物台上的测量对象物的光学图像成像在前述屏幕上的光学系统；以及在前述屏幕上的任意位置中检测前述光学图像的测量边缘部的通过的边缘检测传感器(112)，该光学式测量装置还包括：偏移值存储单元(143)，将从前述基准线到前述边缘检测传感器(112)的距离作为偏移值进行存储；以及校正数据计算单元(144)，对于利用前述基准线和前述边缘检测传感器(112)测量的测量数据，利用前述偏移值进行校正。

公开(公告)号：CN101113891B

公开(公告)日：2011-06-29

申请号：CN200710138135.4

申请日：2007-07-26

Applicant: 三丰株式会社

Inventor： 越智研司 ,  菊池直也 ,  高桥伸二

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/02 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B11/002 ,  G01B21/045

Abstract: 本发明的光学式测量装置包括：具有基准线的屏幕；可移动的载物台；使被放置在该载物台上的测量对象物的光学图像成像在前述屏幕上的光学系统；以及在前述屏幕上的任意位置中检测前述光学图像的测量边缘部的通过的边缘检测传感器(112)，该光学式测量装置还包括：偏移值存储单元(143)，将从前述基准线到前述边缘检测传感器(112)的距离作为偏移值进行存储；以及校正数据计算单元(144)，对于利用前述基准线和前述边缘检测传感器(112)测量的测量数据，利用前述偏移值进行校正。