图像传感器及其制造方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114122033A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202110988699.7

    申请日:2021-08-26

    Abstract: 提供了图像传感器及其制造方法。该图像传感器包括:基板,包括光入射在其上的第一侧和与第一侧相对的第二侧,所述基板包括光接收区域和位于所述光接收区域周围的遮光区域;第一隔离图案,从第二侧延伸,第一隔离图案在光接收区域和遮光区域中介于基板中的多个单位像素之间;第二隔离图案,从第一侧延伸并与第一隔离图案交叠,第二隔离图案在光接收区域中设置在基板中;以及接触膜,电连接到第一隔离图案,接触摸在遮光区域中设置在基板中。从第一侧延伸的接触沟槽在遮光区域中形成在基板中,并暴露第一隔离图案,并且接触膜填充接触沟槽的至少一部分。

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