公开(公告)号：CN118538588A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202311370806.5

申请日：2023-10-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 宣尚佑

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/06

Abstract: 一种用于容纳PFG的细丝对准设备，该PFG包括支撑板、在支撑板上的绝缘体、以及在绝缘体的端部处的细丝。该细丝对准设备包括：主壳体，具有第一板凹槽和开口侧表面，支撑板的第一部分插入到第一板凹槽中；辅助壳体，用于覆盖主壳体的开口侧表面的至少第一区域，并且具有第二板凹槽，支撑板的第二部分插入到第二板凹槽中；高度调节器，包括在主壳体的上侧壁上的高度控制器、以及设置在高度控制器的端部上并且其上悬挂细丝的固定钩；以及铰链，用于将辅助壳体的侧壁可旋转地连接到主壳体的侧壁。

公开(公告)号：CN119626877A

公开(公告)日：2025-03-14

申请号：CN202411269684.5

申请日：2024-09-11

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 宣尚佑

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265

Abstract: 一种离子注入装置，包括：工艺室，衬底被装载到工艺室中；离子生成室，在第一方向上与工艺室相邻，其中，离子生成室被配置为生成离子并沿第一方向将离子供应到工艺室；淹没式等离子体枪(PFG)，在第二方向上与工艺室相邻，其中，PFG被配置为生成电子并沿第二方向将电子供应到工艺室；PFG笼，在PFG和工艺室之间，并且电子通过该PFG笼迁移到工艺室；以及衬垫膜，覆盖工艺室的内侧壁的至少一部分，其中，衬垫膜包括导电材料，并且其中，第一方向和第二方向彼此垂直。