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公开(公告)号:CN110780538A
公开(公告)日:2020-02-11
申请号:CN201910332630.1
申请日:2019-04-24
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种无掩模曝光装置,包括光源、光学头(包括光调制器和光学系统,并且反射来自光源的光以将光辐射到要曝光的基板)、支撑基板并在扫描方向上移动基板的平台,其中旋转基板使得基板的参考线相对于扫描方向成第一角度,以及旋转光学头的光学头旋转单元。当在基板上在实质上垂直于参考线的第一行和第n行的方向上形成图案时,设置第一角度使得由光束点阵列在基板上的、分别对应于第一行的图案和第n行的图案的第一部分和第二部分中累积的照度变化。
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公开(公告)号:CN110687754A
公开(公告)日:2020-01-14
申请号:CN201910243009.8
申请日:2019-03-28
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种图案宽度校正系统以及一种制造半导体设备的方法。所述图案宽度校正系统包括:图案宽度测量单元,配置为测量在第一距离处形成的第一图案的宽度,其中所述第一图案是通过照射使用第一图案数据调制的第一光而形成的;第一误差数据计算器,配置为基于所述第一图案的测量宽度生成第一误差数据;回归分析器,配置为对所述第一误差数据进行回归分析,以在所述第一图案的X-Y坐标和所述第一图案的宽度误差之间生成第一关系表达式;第二误差数据计算器,配置为通过使用所述第一关系表达式在具有第二距离的操作区域中生成第二误差数据;以及图案数据校正单元,配置为通过基于所述第二误差数据校正所述第一图案数据来生成第二图案数据。
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公开(公告)号:CN1942088A
公开(公告)日:2007-04-04
申请号:CN200610127460.6
申请日:2006-09-15
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01L23/4006 , H01L23/467 , H01L23/473 , H01L2023/4056 , H01L2023/4062 , H01L2224/73253
Abstract: 本发明公开一种具有用于将散热器和电子芯片结合的简单结构的散热组件,其设有:散热器,与安装在基板上的热源接触,并吸收从热源产生的热;挤压构件,结合到所述基板上,并包括:挤压盖,用于挤压所述散热器,使得所述散热器可固定到所述热源上;拉紧部分,从所述挤压盖延伸,并当其结合到所述基板上时将挤压力施加在所述挤压盖上。
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公开(公告)号:CN1037750C
公开(公告)日:1998-03-18
申请号:CN95119247.7
申请日:1995-11-14
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor: 张宰荣
IPC: B01D35/14
Abstract: 本发明旨在防止由于落水及漏水而产生的电器部件的短路,事先预防电气安全事故的发生,并将电器部件安放在适当位置,缩小其组合空间,使产品总体小型化。本发明的特征是,对于采用多个过滤器除去源水中所含各种污染物质及有味气体从而净化水的净水器而言,为了防止上述多个过滤手段的落水以及漏水流入加压泵、高压变换器、以及电路板而产生短路,在和多个过滤手段的对角方向,和主体及底板相连地设置了收容部。
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公开(公告)号:CN105932489A
公开(公告)日:2016-09-07
申请号:CN201610113261.3
申请日:2016-02-29
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01R13/66 , H01R13/514 , H01R13/46 , H02J7/00
Abstract: 提供了一种连接器模块及包括该连接器模块的锁定装置。所述连接器模块可包括:连接器主体,包括在连接器主体内具有的空的区域的内部空间;连接器部分,设置在连接器主体的一侧上。所述连接器部分可包括:连接器,从连接器主体突出;连接器固定器,安放在连接器主体的空的区域中并被构造为使连接器固定到连接器固定器。所述连接器固定器可被构造为响应于外力而使连接器沿一个方向运动。固定部分可以以铰接的形式连接到连接器主体的一侧并且关于连接器可旋转。
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公开(公告)号:CN101332712A
公开(公告)日:2008-12-31
申请号:CN200810095171.1
申请日:2008-03-31
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: B41J2/0458 , B41J2/0451 , B41J2/04563 , B41J2/14153 , B41J2002/14354
Abstract: 本发明涉及一种检测故障喷嘴的方法和使用该方法的喷墨打印头。当故障喷嘴产生时,可以用简单的过程立即检测故障喷嘴。检测用在喷墨打印头中的故障喷嘴的方法可包括检测每个喷嘴的温度;和当检测的温度偏离预定温度范围时,确定该喷嘴是故障喷嘴,该喷墨打印头设置有多个充满墨的腔室,与腔室相对应的多个加热器,以及与加热器相对应的多个喷嘴。
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公开(公告)号:CN1164620A
公开(公告)日:1997-11-12
申请号:CN97104715.4
申请日:1997-02-28
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor: 张宰荣
IPC: F15D1/02
CPC classification number: F16K15/145 , Y10T137/7504 , Y10T137/7889
Abstract: 一种逆流防止装置,能在流体朝逆方向流动时防止向壳体内的流体逆流,并且,即使流体在管部件内朝左右方向持续流动,也能保持逆流防止装置的长寿命。其包括:在管部件的流路的一侧上形成的壳体,以及挠性材料制成的管,所述管设置成可与该壳体外部的一侧紧密贴合、并当流体在所述管部件内朝逆方向流动时可通过水压自由折曲而阻断流路。
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公开(公告)号:CN1129603A
公开(公告)日:1996-08-28
申请号:CN95119247.7
申请日:1995-11-14
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor: 张宰荣
IPC: B01D35/14
Abstract: 本发明旨在防止由于落水及漏水而产生的电器部件的短路,事先预防电气安全事故的发生,并将电器部件安放在适当位置,缩小其组合空间,使产品总体小型化。本发明的特征是,对于采用多个过滤器除去源水中所含各种污染物质及有味气体从而净化水的净水器而言,为了防止上述多个过滤手段的落水以及漏水流入加压泵、高压变换器、以及电路板而产生短路,在和多个过滤手段的对象方向,和主体及底板相连地设置了收容部。
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