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公开(公告)号：CN100362350C
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200410038511.9
申请日：2004-04-26
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P2015/0814
Abstract: 公开了一种能补偿初始电容的加速度计。在该加速度计中，从梁固定部延伸以便弹性支撑水平可移动浮动主体的两端的支撑梁。从主体的两端向外延伸预定长度的可移动电极。从电极固定部延伸预定长度，以及按预定间隙与可移动电极交替的固定电极。补偿电极部，在主体的移动方向中移动主体，以便均衡在一端的可移动和固定电极间的初始电容以及在另一端的可移动和固定电极间的初始电容。本发明能简单地移动主体补偿电极以便均衡两端的初始电容。
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公开(公告)号：CN1629641A
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN200410038511.9
申请日：2004-04-26
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P2015/0814
Abstract: 公开了一种能补偿初始电容的加速度计。在该加速度计中，从梁固定部延伸以便弹性支撑水平可移动浮动主体的两端的支撑梁。从主体的两端向外延伸预定长度的可移动电极。从电极固定部延伸预定长度，以及按预定间隙与可移动电极交替的固定电极。补偿电极部，在主体的移动方向中移动主体，以便均衡在一端的可移动和固定电极间的初始电容以及在另一端的可移动和固定电极间的初始电容。本发明能简单地移动主体补偿电极以便均衡两端的初始电容。
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公开(公告)号：CN100338469C
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200410045693.2
申请日：2004-04-30
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125
Abstract: 公开了一种电容z轴加速度计，包括固定电极、可移动电极和支撑梁。固定电极具有与绝缘板的顶面平行安置的矩形固定电极板。固定电极板经柱使一个位于另一个之上以及安置在绝缘板的电极固定部上。可移动电极具有与固定电极板交错的矩形可移动电极板。可移动电极板经位于贯穿固定电极板的导向孔内的接插件柱一个位于另一个之上。多个支撑梁将可移动电极与梁固定部连接以便弹性支撑可移动电极。电容z轴加速度计能与x和y轴加速度计一起集成为单个芯片，最大化电容的变化以便实现良好的加速度灵敏度，以及利用低成本的放大器和过滤器。
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公开(公告)号：CN1629642A
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN200410045693.2
申请日：2004-04-30
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125
Abstract: 公开了一种电容z轴加速度计，包括固定电极、可移动电极和支撑梁。固定电极具有与绝缘板的顶面平行安置的矩形固定电极板。固定电极板经柱使一个位于另一个之上以及安置在绝缘板的电极固定部上。可移动电极具有与固定电极板交错的矩形可移动电极板。可移动电极板经位于贯穿固定电极板的导向孔内的接插件柱一个位于另一个之上。多个支撑梁将可移动电极与梁固定部连接以便弹性支撑可移动电极。电容z轴加速度计能与x和y轴加速度计一起集成为单个芯片，最大化电容的变化以便实现良好的加速度灵敏度，以及利用低成本的放大器和过滤器。
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