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公开(公告)号：CN102951442A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210306675.X
申请日：2012-08-24
Applicant: 三星电机株式会社
Inventor： 金东藓 , 金显埈 , 郑镇一 , 李延喆 , 田丞镐 , 朴城辰 , 曹汉瑞
IPC: B65G47/91
Abstract: 本发明的真空垫包括：吸附基板的吸附垫部；以及以从吸附垫部的基板吸附面向内侧将所述吸附垫部划分为多个区域的方式形成的支撑条。
