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公开(公告)号:CN1163400A
公开(公告)日:1997-10-29
申请号:CN97104581.X
申请日:1997-03-28
Applicant: 三星电管株式会社
Abstract: 一种用于真空管的排气分析器,包括一个其中装有一真空管的简化炉;一个接在真空管的一排气出口上的模拟气室;一个接在该气室上允许气体通过的第一主气室;一个通过一第一锐孔接在第一主气室上允许气体通过的第二主气室;一个通过一第二锐孔接在第二主气室上允许气体通过的第三主气室;至少一个接在气室中至少一个上的涡轮分子泵用以抽空第一、第二和第三主气室;和一个接在第三主气室上用以分析排气的遗留气体分析器。
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公开(公告)号:CN1174393A
公开(公告)日:1998-02-25
申请号:CN97113450.2
申请日:1997-05-20
Applicant: 三星电管株式会社
Inventor: 文成周
IPC: H01J9/385
Abstract: 一种阴极射线管的抽真空系统,包括:一个导轨;一个真空形成装置,沿所述导轨移动,使所述阴极射线管内形成真空;一个真空计,测定阴极射线管内的真空度;一个泵车,装有无线电发信机供发送真空计测出的真空度有关的信号;至少一个检测器,供检测泵车的位置并控制无线电发信机;和一个控制器,供接收无线电发信机发送来的信号从而确定阴极射线管内是否达到所要求的真空度。
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