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    銅および銅合金を選択的にエッチングするためのエッチング液およびそれを用いた半導体基板の製造方法
    1.
    发明专利
    銅および銅合金を選択的にエッチングするためのエッチング液およびそれを用いた半導体基板の製造方法 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2020105605A1

    公开(公告)日：2021-09-30

    申请号：JP2019045158

    申请日：2019-11-19

    Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

    Inventor： 深澤 隼 ,  藤井 智子 ,  松永 裕嗣

    IPC: H01L21/308 ,  H01L21/306 ,  C23F1/18

    Abstract: 本発明は、ニッケル、錫、金およびこれらの合金の溶解を抑制しつつ、銅および銅合金を選択的にエッチングすることができるエッチング液に関する。本発明のエッチング液は、(A)過酸化水素をエッチング液の全質量に対して5〜10.5質量%、(B)硝酸をエッチング液の全質量に対して0.3〜6質量%、(C)炭素数1〜6のアルキル基、アミノ基、ならびに炭素数1〜6のアルキル基およびフェニル基からなる群より選択される置換基を有する置換アミノ基からなる群より選択される1種以上の置換基を有していてもよい、トリアゾールおよびテトラアゾールからなる群より選択される1種以上の含窒素5員環化合物、ならびに(D)(d1)アルカリ金属水酸化物、アンモニア、アミンおよびアンモニウム塩からなる群より選択される1種以上のpH調整剤、(d2)ホスホン酸化合物、または(d3)これらの組み合わせを含むことを特徴とする。

    照明用波長変換材料、樹脂組成物、硬化物及び照明用光源
    4.
    发明专利
    照明用波長変換材料、樹脂組成物、硬化物及び照明用光源 审中-公开

    公开(公告)号：JP2017122149A

    公开(公告)日：2017-07-13

    申请号：JP2016000884

    申请日：2016-01-06

    Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

    Inventor： 金 英輝 ,  堀野 建 ,  藤井 智子

    IPC: F21V3/00 ,  F21V3/04 ,  H01L33/50 ,  F21Y115/10 ,  C09K11/06

    Abstract: 【課題】LED照明用光源(紫外線又は近紫外線励起)に好適な「発光効率」が優れた波長変換材料及び分散性に優れた照明用樹脂組成物及び硬化物の提供。 【解決手段】組成式M 2 L n X 2 (I)で表される照明用波長変換材料。(MはAu等の11族の遷移金属元素;Lはビス(ジフェニルホスフィノ)メタン等の有機配位子;XはCl等のハロゲン化物イオン、CF 3 SO 3 等の含フッ素有機イオン、有機イオン又はNO 3 等の無機イオンのいずれかの陰イオン;nは2又は3)好ましくは、前記照明用波長変換材料が式(II)で表される照明用波長変換材料。 【選択図】なし

    化学研磨液及びそれを用いた表面処理方法
    5.
    发明专利
    化学研磨液及びそれを用いた表面処理方法 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2020050204A1

    公开(公告)日：2021-08-26

    申请号：JP2019034388

    申请日：2019-09-02

    Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

    Inventor： 黒澤 伸也 ,  藤井 智子 ,  松永 裕嗣

    IPC: C23F3/03

    Abstract: アルミニウム又はアルミニウム合金に用いられる化学研磨液であって、過酸化水素(A)、フッ素化合物(B)、前記フッ素化合物(B)には該当しない無機酸(C)、及び水酸基含有炭化水素化合物(D)を含有し、前記過酸化水素(A)の含有量が、前記化学研磨液の全量基準で、2〜20質量%、前記フッ素化合物(B)のフッ素原子換算での含有量が、前記化学研磨液の全量基準で、3〜17質量%、前記無機酸(C)の含有量が、前記化学研磨液の全量基準で、20〜55質量%、前記水酸基含有炭化水素化合物(D)の含有量が、前記化学研磨液の全量基準で、2〜15質量%である、化学研磨液を提供する。

    多孔質アルミニウム合金及びその製造方法、並びに積層体
    7.
    发明专利
    多孔質アルミニウム合金及びその製造方法、並びに積層体 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018184633A

    公开(公告)日：2018-11-22

    申请号：JP2017086334

    申请日：2017-04-25

    Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

    Inventor： 藤井 智子 ,  上等 和良

    IPC: B32B15/08 ,  C23F1/36 ,  C23F1/20

    Abstract: 【課題】アルミニウム合金と樹脂との接合強度を高くできる多孔質アルミニウム合金を提供する。 【解決手段】表面に多孔質形状を有する多孔質アルミニウム合金であって、 アルミニウム合金の表面を、下記式(1)で表される化合物、下記式(1)で表される化合物の水和物、及び下記式(1)で表される化合物と水和物又は無機酸との塩からなる群より選ばれる1種以上を含む水溶液と接触させることにより得られる、多孔質アルミニウム合金。 (式(1)中、Rは、それぞれ独立して、水素原子、メチル基又はエチル基である。) 【選択図】図1

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