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公开(公告)号:CN106715038B
公开(公告)日:2018-07-27
申请号:CN201480082004.7
申请日:2014-10-17
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor: 加野润二
IPC: B23K26/382 , B23K26/064 , B23K26/14 , B23K26/38
CPC classification number: B23K26/38 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/034 , B23K26/042 , B23K26/048 , B23K26/064 , B23K26/0665 , B23K26/0861 , B23K26/14 , B23K26/142 , B23K26/18 , B23K26/382 , B23K26/384 , B23K26/55
Abstract: 激光加工方法具有下述工序:第1打孔工序,形成从工件(W)的上表面至中央部为止的非贯穿的穿孔;冷却工序,对工件(W)进行冷却;第2打孔工序,使穿孔贯穿至工件的下表面;以及切断工序,对工件进行切断,在第2打孔工序中,边从将激光束的输出设为比第1输出值小的第2输出值、将焦点位置设为第1聚焦位置、将焦深设为比第1深度大的第2深度、将侧面气体吹送压力设为比第1压力值小的第2压力值的状态,变化至将激光束(L)的输出设为比第1输出值小且比第2输出值大的第3输出值、将焦点位置设为聚焦量比第1聚焦位置大的第2聚焦位置、将焦深设为比第2深度大的第3深度的状态,边将激光束(L)向工件(W)进行照射而进行打孔加工,从而对光束照射时的自燃进行抑制,实现打孔加工所需的时间的缩短。
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公开(公告)号:CN106715038A
公开(公告)日:2017-05-24
申请号:CN201480082004.7
申请日:2014-10-17
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor: 加野润二
IPC: B23K26/382 , B23K26/064 , B23K26/14 , B23K26/38
CPC classification number: B23K26/38 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/034 , B23K26/042 , B23K26/048 , B23K26/064 , B23K26/0665 , B23K26/0861 , B23K26/14 , B23K26/142 , B23K26/18 , B23K26/382 , B23K26/384 , B23K26/55
Abstract: 激光加工方法具有下述工序:第1打孔工序,形成从工件(W)的上表面至中央部为止的非贯穿的穿孔;冷却工序,对工件(W)进行冷却;第2打孔工序,使穿孔贯穿至工件的下表面;以及切断工序,对工件进行切断,在第2打孔工序中,一边从将激光束的输出设为比第1输出值小的第2输出值、将焦点位置设为第1聚焦位置、将焦深设为比第1深度大的第2深度、将侧面气体吹送压力设为比第1压力值小的第2压力值的状态,变化至将激光束(L)的输出设为比第1输出值小且比第2输出值大的第3输出值、将焦点位置设为聚焦量比第1聚焦位置大的第2聚焦位置、将焦深设为比第2深度大的第3深度的状态,一边将激光束(L)向工件(W)进行照射而进行打孔加工,从而对光束照射时的自燃进行抑制,实现打孔加工所需的时间的缩短。
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公开(公告)号:CN100459326C
公开(公告)日:2009-02-04
申请号:CN200480042760.3
申请日:2004-04-15
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/02
CPC classification number: H01S3/025 , H01S3/0407 , H01S3/061 , H01S3/07 , H01S3/08
Abstract: 激光棒(1)通过棒支架(5)被保持,棒支架(5)被收容在设置于调整环(7)中的凹部(40)中,调整环(7)安装在谐振腔容器(4)上。由于棒支架(5)通过调整环(7)的凹部(40)的底面被推压在谐振腔容器(4)上,另外凹部(40)形成为直径为稍大于棒支架(5)的外径,所以棒支架(5)可以在凹部(40)内沿凹部(40)的半径方向自由移动。调整环(7)中,以从调整环(7)的侧面向凹部(40)内与棒支架(5)接触的方式,放射状设置调整螺栓(8a、8b)以及弹簧(9)。棒支架(5)通过调整螺栓(8a、8b)以及弹簧(9)各个顶端的3点被加压支撑。在上述构造的棒状固体激光装置中,如果调整调整螺栓(8a、8b)的旋入量,则弹簧(9)进行伸缩,同时能够调整棒支架(5)的位置。
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公开(公告)号:CN101263633A
公开(公告)日:2008-09-10
申请号:CN200580051561.3
申请日:2005-09-14
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 在对称稳定型光谐振器中,在棒状固体激光介质(1)面向部分反射镜(2)的端面(102)和中点(101)间的任意位置设定第1基准面,在以部分反射镜(2)为中点而相对该基准面光学对称的位置配置开口直径大致等于棒状固体激光介质(1)的直径的光圈(5),使用在该光圈(5)和光纤(8)之间配置的中继透镜(6)以及结合透镜(7),使第1基准面在光纤(8)的入射端面上成中继像,同时利用中继透镜(6)使该光圈(5)在结合透镜(7)上成像。因此,即使在棒状固体激光介质(1)的热透镜焦距以及激光指向性发生变动的情况下,也能利用光纤进行稳定性和可靠性优良的光束传输,同时将光纤中出射的激光的聚光性保持恒定。
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公开(公告)号:CN101189766A
公开(公告)日:2008-05-28
申请号:CN200680019748.X
申请日:2006-05-19
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/02
CPC classification number: H01S3/025 , H01S3/005 , H01S3/0092 , H01S3/027 , H01S3/07 , H01S3/0941 , H01S3/117
Abstract: 本发明提供一种固体激光装置,其具有下述结构:具备具有大致密封构造的单一外部壳体(1),在上述外部壳体(1)内设置一个或多个内部壳体(2),在部分或全部上述内部壳体(2)上设置将外部壳体(1)内的空气净化并向内部壳体(2)中供给的空气清洁单元(4),在上述外部壳体(1)内配置包括固体激光介质(501)及光共振器的激光光源(5、6、7)、和传送或遮蔽由上述激光光源产生的激光(8)的光学系统(10、11、901),同时,将上述激光光源(5、6、7)、及上述光学系统(10、11、901)或其一部分收容在上述内部壳体(2)内,由此能够基于简单、小型且廉价的结构,防止光学部件老化及结露,稳定地供给激光。
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公开(公告)号:CN1938915A
公开(公告)日:2007-03-28
申请号:CN200480042760.3
申请日:2004-04-15
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/02
CPC classification number: H01S3/025 , H01S3/0407 , H01S3/061 , H01S3/07 , H01S3/08
Abstract: 激光棒(1)通过棒支架(5)被保持,棒支架(5)被收容在设置于调整环(7)中的凹部(40)中,调整环(7)安装在谐振腔容器(4)上。由于棒支架(5)通过调整环(7)的凹部(40)的底面被推压在谐振腔容器(4)上,另外凹部(40)形成为直径为稍大于棒支架(5)的外径,所以棒支架(5)可以在凹部(40)内沿凹部(40)的半径方向自由移动。调整环(7)中,以从调整环(7)的侧面向凹部(40)内与棒支架(5)接触的方式,放射状设置调整螺栓(8a、8b)以及弹簧(9)。棒支架(5)通过调整螺栓(8a、8b)以及弹簧(9)各个顶端的3点被加压支撑。在上述构造的棒状固体激光装置中,如果调整调整螺栓(8a、8b)的旋入量,则弹簧(9)进行伸缩,同时能够调整棒支架(5)的位置。
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