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公开(公告)号：CN103460125A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201280015298.2
申请日：2012-03-13
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02F1/37
CPC classification number: G02F1/37 , G02F1/3551 , G02F2001/354 , H01S3/0092 , H01S3/08054 , H01S3/08059 , H01S3/0815 , H01S3/082 , H01S3/0941 , H01S3/109 , H01S3/117 , H01S3/1611 , H01S3/1643
Abstract: 波长变换元件由单一的波长变换晶体100和第1反射面D面110以及第2反射面E面111等构成，该单一的波长变换晶体100满足用于将作为基波的波长1064nm的光变换为作为2次谐波的波长532nm的光的第1波长变换的第1相位匹配条件以及将波长532nm的光变换为作为4次谐波的波长266nm的光的第2波长变换的第2相位匹配条件这两者，第1反射面D面110以及第2反射面E面111等用于反射由第1波长变换产生的波长532nm的光并供给到第2波长变换。根据这样的结构，能够可靠性优异、并能以简单的结构高效地产生3次谐波以上的高次谐波。
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公开(公告)号：CN100379099C
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN03826101.4
申请日：2003-03-17
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/042 , H01S3/0941
CPC classification number: H01S3/025 , H01S3/0407 , H01S3/042 , H01S3/061 , H01S3/094084 , H01S3/0941 , H01S3/1611 , H01S3/1643
Abstract: 本发明的激光振荡器，具有：激励光源模块，其形成有冷却激励光源的冷却水路；聚光器单元块，其具有收容激光介质的通孔，设置用于向该通孔导入来自于激励光源模块的激励光的开口；端板，其固定于该聚光器单元块的端部，形成有使冷却水导入上述聚光器单元块及上述激励光源模块的冷却水路；流管，其由该端板固定及密封，形成对上述激光介质的冷却水路；以及激励光源模块侧冷却水路的开口，其设置于上述端板的垂直于前表面的侧面，与形成于上述激励光源模块上的、冷却激励光源的冷却水路连通，形成冷却激励光源的冷却水路。
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公开(公告)号：CN109475974B
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201780042748.X
申请日：2017-06-16
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G05B19/404 , B23K26/02 , B23K26/00 , B23K26/04 , B23K26/082
Abstract: 基板测量装置(1)具有：测量用照相机(8)，其取得基板(5)的图像数据，该基板(5)设置有定位用的对准标记(7)，具有被激光加工后的被加工部(6)；测量工作台(4)，其搭载基板(5)，对基板(5)和测量用照相机(8)的相对位置进行变更；图像处理部(12)，其基于图像数据及测量工作台(4)的位置信息，求出对准标记(7)的测量位置坐标及被加工部(6)的测量位置坐标；变换系数计算部(13)，其求出从对准标记(7)的测量位置坐标向对准标记(7)的设计位置坐标的变换系数；以及加工误差计算部(14)，其使用变换系数将被加工部(6)的测量位置坐标坐标变换为变换后位置坐标，根据变换后位置坐标和被加工部(6)的设计位置坐标之差而求出加工误差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103460125B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201280015298.2
申请日：2012-03-13
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02F1/37
CPC classification number: G02F1/37 , G02F1/3551 , G02F2001/354 , H01S3/0092 , H01S3/08054 , H01S3/08059 , H01S3/0815 , H01S3/082 , H01S3/0941 , H01S3/109 , H01S3/117 , H01S3/1611 , H01S3/1643
Abstract: 波长变换元件由单一的波长变换晶体100和第1反射面D面110以及第2反射面E面111等构成，该单一的波长变换晶体100满足用于将作为基波的波长1064nm的光变换为作为2次谐波的波长532nm的光的第1波长变换的第1相位匹配条件以及将波长532nm的光变换为作为4次谐波的波长266nm的光的第2波长变换的第2相位匹配条件这两者，第1反射面D面110以及第2反射面E面111等用于反射由第1波长变换产生的波长532nm的光并供给到第2波长变换。根据这样的结构，能够可靠性优异、并能以简单的结构高效地产生3次谐波以上的高次谐波。
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公开(公告)号：CN102448660B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201080023011.1
申请日：2010-05-14
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/064 , B23K26/0622 , B23K26/073 , B23K26/38 , B23K101/18 , B23K103/04
CPC classification number: B23K26/38 , B23K26/0648 , B23K26/0665 , B23K26/073 , B23K2101/18 , B23K2103/04 , H01S2301/206
Abstract: 具有：光纤激光振荡器(19)，其振荡形成缩顶形状的激光；聚光透镜(16)及加工头(13)，其以下述方式将缩顶形状的激光(15)聚光，并向被加工物(22)照射，即，使与加工对象的加工阈值相对应的光强度的位置处的缩顶形状的激光(15)的光束直径，成为具有与缩顶形状的激光(15)大致相同的光束品质的高斯模式的激光的光束直径的大约3倍，聚光透镜(16)以焦点深度成为加工对象的厚度的大约1/3的方式使激光(15)聚光，其中，焦点深度表示相对于与加工对象的加工阈值相对应的光强度的位置处的激光(15)的光束直径的最小值，光束直径成为该最小值的倍的焦点位置范围。
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公开(公告)号：CN109475974A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780042748.X
申请日：2017-06-16
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/02 , B23K26/00 , B23K26/04 , B23K26/082
Abstract: 基板测量装置(1)具有：测量用照相机(8)，其取得基板(5)的图像数据，该基板(5)设置有定位用的对准标记(7)，具有被激光加工后的被加工部(6)；测量工作台(4)，其搭载基板(5)，对基板(5)和测量用照相机(8)的相对位置进行变更；图像处理部(12)，其基于图像数据及测量工作台(4)的位置信息，求出对准标记(7)的测量位置坐标及被加工部(6)的测量位置坐标；变换系数计算部(13)，其求出从对准标记(7)的测量位置坐标向对准标记(7)的设计位置坐标的变换系数；以及加工误差计算部(14)，其使用变换系数将被加工部(6)的测量位置坐标坐标变换为变换后位置坐标，根据变换后位置坐标和被加工部(6)的设计位置坐标之差而求出加工误差。
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公开(公告)号：CN102448660A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201080023011.1
申请日：2010-05-14
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/08 , B23K26/06 , B23K26/073 , B23K26/38 , H01S3/00 , B23K103/04
CPC classification number: B23K26/38 , B23K26/0648 , B23K26/0665 , B23K26/073 , B23K2101/18 , B23K2103/04 , H01S2301/206
Abstract: 具有：光纤激光振荡器(19)，其振荡形成缩顶形状的激光；聚光透镜(16)及加工头(13)，其以下述方式将缩顶形状的激光(15)聚光，并向被加工物(22)照射，即，使与加工对象的加工阈值相对应的光强度的位置处的缩顶形状的激光(15)的光束直径，成为具有与缩顶形状的激光(15)大致相同的光束品质的高斯模式的激光的光束直径的大约3倍，聚光透镜(16)以焦点深度成为加工对象的厚度的大约1/3的方式使激光(15)聚光，其中，焦点深度表示相对于与加工对象的加工阈值相对应的光强度的位置处的激光(15)的光束直径的最小值，光束直径成为该最小值的倍的焦点位置范围。
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公开(公告)号：CN1751420A
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN03826101.4
申请日：2003-03-17
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/042 , H01S3/0941
CPC classification number: H01S3/025 , H01S3/0407 , H01S3/042 , H01S3/061 , H01S3/094084 , H01S3/0941 , H01S3/1611 , H01S3/1643
Abstract: 本发明的激光振荡器，具有：聚光器单元块，其具有收容激光介质的通孔，设置用于向该通孔导入来自于激励光源模块的激励光的开口；端板，其固定于该聚光器单元块的端部，形成使冷却水导入上述聚光器单元块及上述激励光源模块的冷却水路；流管，其由该端板固定及密封，形成对上述激光介质的冷却水路；以及激励光源模块，其与上述端板的激励光源模块侧冷却水路连通，形成冷却激励光源的冷却水路。
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