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公开(公告)号:CN101093176A
公开(公告)日:2007-12-26
申请号:CN200710038759.9
申请日:2007-03-29
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种消光/光度兼容式自动椭偏仪和测量方法。椭偏仪的结构是:一单色光源,在该光源发出光的前进方向上依次放置起偏器、补偿器、光阑、样品台、光阑、检偏器和光电探测器。其中起偏器和检偏器可由步进电机带动旋转,步进电机的旋转状态经步进电机驱动器受电子计算机的控制。光电探测器探测的光强信号经数据采集卡传至电子计算机进行数据处理,实现对样品待求参数的定量测量。该仪器消光和光度模式的转换由计算机程序控制,实现自动化,操作简便。该仪器工作在光度模式下测量数据具有自洽性,且能消除椭圆旋向的不确定性。