公开(公告)号：CN119915331A

公开(公告)日：2025-05-02

申请号：CN202510348384.4

申请日：2025-03-24

Applicant: 上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心)

Inventor： 雷李华 ,  朱言瑧 ,  张剑峰 ,  管钰晴 ,  刘丽琴 ,  邹文哲 ,  徐瑞书 ,  郭创为 ,  张玉杰 ,  梁利杰 ,  谢张宁

IPC: G01D18/00 ,  G01D5/353

Abstract: 本发明为一种基于双光栅干涉的微型旋转编码器校准装置及其校准方法，包括双光栅零差干涉校准系统、微振动位移台和微型旋转编码器及接收系统，微振动位移台设有安装有两光栅调节装置的机械振动模块，微型旋转编码器与其中一光栅调节装置拼接，并与单片机控制模块电路相连，由单片机控制模块接收上位机输入的目标参数信息控制旋转编码器，并驱动微振动位移台沿矢量方向连续振动，带动光栅旋转设定角度，通过实时输出双光栅干涉信号并计算光栅旋转产生的余弦角测量值，与微型旋转式编码器刻制标准值比对直至完成校准。本发明采用双光栅干涉比对校准的形式，实现对微型旋转编码器的高精度校准，可溯源到“米”的定义，稳定性高、溯源链短、鲁棒性强。