公开(公告)号：CN110057323A

公开(公告)日：2019-07-26

申请号：CN201910276846.0

申请日：2019-04-08

Applicant: 上海机电工程研究所

Inventor： 李艳红 ,  柴娟芳 ,  赵吕懿 ,  朱炜 ,  陈强华 ,  荆娜 ,  沈涛 ,  张琰 ,  冯晓晨 ,  田义 ,  杨扬

IPC: G01B11/26 ,  G01C25/00

Abstract: 本发明提供了一种转台相交度和垂直度测量装置与方法，所述转台相交度和垂直度测量方法包含以下步骤：分光步骤：将双频总光线分光成多路双频子光线；干涉光路形成步骤：使用双频子光线对转台进行测量，获得参考光与测量干涉光路；转台检测步骤：根据参考光与测量干涉光路的相位差，得到位移测量信号，根据多个测量干涉光路对应的位移测量信号，得到转台的相交度和/或垂直度。本发明使用一个公共靶标，大大优化了多轴转台的测量过程，且靶标的安装与拆卸不需拆卸转台本身。

公开(公告)号：CN211954036U

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN202020790141.9

申请日：2020-05-13

Applicant: 上海机电工程研究所 ,  北京理工大学 ,  北方工业大学

Inventor： 李艳红 ,  柴娟芳 ,  赵吕懿 ,  沈涛 ,  朱炜 ,  陈强华 ,  刘斌超 ,  荆娜 ,  张琰 ,  冯晓晨 ,  田义 ,  杨扬 ,  周麟

IPC: G01B11/02

Abstract: 本实用新型提供了一种转台轴线方向位移测量装置,包括双频激光头100、分光组件200、干涉光路组件300、检测系统400、转台反射件510、转台520、支撑平台540、缩束组件700以及光隔离组件800，转台520为待测量件，转台反射件510设置在转台520上，双频激光头100、分光组件200、干涉光路组件300、缩束组件700以及光隔离组件800均安装在支撑平台540上。本实用新型容易实现共光路结构，使测量系统具有很好的抗干扰性与稳定性，实现了光隔离的功能，有效防止回授光带来的双频激光头失稳，相位传感器没有读数的问题；本实用新型可获得更高的测量精度，适合五轴转台的现场校准需求。