公开(公告)号：CN119419162A

公开(公告)日：2025-02-11

申请号：CN202411460982.2

申请日：2024-10-18

Applicant: 上海玄亨科技股份有限公司

Inventor： 郭盛 ,  蒲红旭 ,  朱宁

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明公开了一种复合陶瓷静电吸盘的制造方法，该方法包含：步骤1，提供一陶瓷流延片，印刷金属电极，得到第一流延片；步骤2，混合高介电强度陶瓷粉末、有机溶剂、分散剂、粘结剂和塑化剂，配制成高介电强度流延浆料，所述高介电强度陶瓷粉末包括五氧化二钽、六方氮化硼中的任意一种；步骤3，在间隙处印刷所述高介电强度流延浆料，得到第二流延片；步骤4，在所述第二流延片上表面覆盖一陶瓷流延片，叠层成型。本发明制造的复合陶瓷静电吸盘在保证高电压时陶瓷流延片不被击穿的情况下可以减小间隙，同时能够增大电极与晶圆的吸附面积，提高对晶圆的吸附力，从而有效提高晶圆的散热性能和温度均匀性。

公开(公告)号：CN119793781A

公开(公告)日：2025-04-11

申请号：CN202510155063.2

申请日：2025-02-12

Applicant: 上海玄亨科技股份有限公司

Inventor： 蒲红旭

IPC: B05B16/20 ,  B05B13/02 ,  B05D3/14 ,  B05B13/04 ,  B05D3/02 ,  B05D3/04 ,  B05B15/68

Abstract: 本发明公开了一种静电卡盘喷涂设备，包括：机架，所述机架的底部安装有用于传输静电卡盘的传输平台；所述机架的顶部依次安装有预处理机构、第一喷涂机构、第二喷涂机构和真空高温固化机构；所述传输平台依次将所述静电卡盘传输到各个机构处以进行对应的工序处理；所述预处理机构用于对所述静电卡盘的表面进行真空等离子活化处理；所述第一喷涂机构和第二喷涂机构分别用于对静电卡盘的圆周面和顶面喷涂膜层材料，以形成喷涂膜层；所述真空高温固化机构用于对形成有喷涂膜层的静电卡盘的上表面进行真空高温固化；本发明无需在不同设备间转移，喷涂效率高，且提高了静电卡盘膜层的清洁度。