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公开(公告)号：CN118670535B
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411148389.4
申请日：2024-08-21
Applicant: 上海芯龙半导体技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种可自清洁的半导体器件、红外热电堆探测器及其制备方法，所述可自清洁的红外热电堆探测器包括热电堆探测层及滤光层；热电堆探测层上设有热电堆探测结构及集成电路结构，集成电路结构包括超声激励电路及热电堆驱动电路；滤光层包括扣设于热电堆探测结构上的滤光窗口结构及压电超声换能结构，压电超声换能结构包括依次设置的第一腔体、第一电极、压电层及第二电极，滤光层还包括由滤光层与热电堆探测层的键合面电性引出第一电极的第一导电柱及电性引出第二电极的第二导电柱，并与超声激励电路电性连接，用于驱动压电超声换能结构清洁滤光窗口结构的表面。本发明使红外热电堆探测器因具有自清洁功能而实现长久的免维护。
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公开(公告)号：CN116963574B
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311195654.X
申请日：2023-09-18
Applicant: 上海芯龙半导体技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种红外热电堆传感器及其制造方法，红外热电堆传感器在衬底中设置有环形的第一沟槽，第一沟槽中设置有热导增强层，热导增强层的材料为导电材料，所有热电偶组件间隔设置在绝缘层和支撑层上且所有热电偶组件从热导增强层上方朝向内环内侧延伸，以通过增设热导增强层，提高热电偶组件的冷端的温度稳定性，还具有反射红外线的作用，使得冷结更容易和环境温度保持一致，有利于热端和冷端温度梯度的建立，有利于性能的提高，由于热导增强层的材料选择使得本发明结构容易实现，且仅增加了热导增强层的成本，从而有利于商业化大规模生产；在热导增强层和热电偶组件之间设置绝缘层，绝缘层减小红外热电堆传感器输出信号的闪烁噪声。
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公开(公告)号：CN116963574A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202311195654.X
申请日：2023-09-18
Applicant: 上海芯龙半导体技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种红外热电堆传感器及其制造方法，红外热电堆传感器在衬底中设置有环形的第一沟槽，第一沟槽中设置有热导增强层，热导增强层的材料为导电材料，所有热电偶组件间隔设置在绝缘层和支撑层上且所有热电偶组件从热导增强层上方朝向内环内侧延伸，以通过增设热导增强层，提高热电偶组件的冷端的温度稳定性，还具有反射红外线的作用，使得冷结更容易和环境温度保持一致，有利于热端和冷端温度梯度的建立，有利于性能的提高，由于热导增强层的材料选择使得本发明结构容易实现，且仅增加了热导增强层的成本，从而有利于商业化大规模生产；在热导增强层和热电偶组件之间设置绝缘层，绝缘层减小红外热电堆传感器输出信号的闪烁噪声。
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公开(公告)号：CN118670535A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202411148389.4
申请日：2024-08-21
Applicant: 上海芯龙半导体技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种可自清洁的半导体器件、红外热电堆探测器及其制备方法，所述可自清洁的红外热电堆探测器包括热电堆探测层及滤光层；热电堆探测层上设有热电堆探测结构及集成电路结构，集成电路结构包括超声激励电路及热电堆驱动电路；滤光层包括扣设于热电堆探测结构上的滤光窗口结构及压电超声换能结构，压电超声换能结构包括依次设置的第一腔体、第一电极、压电层及第二电极，滤光层还包括由滤光层与热电堆探测层的键合面电性引出第一电极的第一导电柱及电性引出第二电极的第二导电柱，并与超声激励电路电性连接，用于驱动压电超声换能结构清洁滤光窗口结构的表面。本发明使红外热电堆探测器因具有自清洁功能而实现长久的免维护。
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