公开(公告)号：CN103891114B

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201280051250.7

申请日：2012-10-22

Applicant: 不列颠哥伦比亚大学

Inventor： 鹿笑冬 ,  伊凡乌尔拉伯·乌斯曼

IPC: H02K41/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: H02K41/02 ,  H01L21/67 ,  H02K1/26 ,  H02K1/2793 ,  H02K3/28 ,  H02K7/09 ,  H02K21/24 ,  H02K41/031 ,  H02K2201/18

Abstract: 位移装置包括定子及可移动台。该定子包括多个线圈，该多个线圈被定形成在一个或多个层中提供多个大致线性伸长的线圈迹线。线圈层可在Z方向上重叠。该可移动台包括多个磁体阵列。各磁体阵列可包括在对应方向上大致线性伸长的多个磁化区段。各磁化区段具有与磁化区段在其中伸长的方向大致正交的磁化方向，且其磁化方向的至少两个彼此不同。可连接一个或多个放大器以选择性驱动线圈迹线中的电流且从而实现该定子与该可移动台之间的相对移动。

公开(公告)号：CN103891114A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201280051250.7

申请日：2012-10-22

Applicant: 不列颠哥伦比亚大学

Inventor： 鹿笑冬 ,  伊凡乌尔拉伯·乌斯曼

IPC: H02K41/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: H02K41/02 ,  H01L21/67 ,  H02K1/26 ,  H02K1/2793 ,  H02K3/28 ,  H02K7/09 ,  H02K21/24 ,  H02K41/031 ,  H02K2201/18

Abstract: 位移装置包括定子及可移动台。该定子包括多个线圈，该多个线圈被定形成在一个或多个层中提供多个大致线性伸长的线圈迹线。线圈层可在Z方向上重叠。该可移动台包括多个磁体阵列。各磁体阵列可包括在对应方向上大致线性伸长的多个磁化区段。各磁化区段具有与磁化区段在其中伸长的方向大致正交的磁化方向，且其磁化方向的至少两个彼此不同。可连接一个或多个放大器以选择性驱动线圈迹线中的电流且从而实现该定子与该可移动台之间的相对移动。