膜缺陷检查装置、缺陷检查方法和脱模膜

    公开(公告)号:CN102906561B

    公开(公告)日:2015-10-07

    申请号:CN201180025804.1

    申请日:2011-05-12

    CPC classification number: G01N21/8901 G01N21/8903 G01N21/896 G01N2021/8908

    Abstract: 本发明公开了一种膜缺陷检查装置,其是检测长膜的缺陷的检查装置,其特征在于,该检查装置具有:在上述膜的一侧表面侧照射上述膜的照明机构;设置在上述照明机构与上述膜之间的第1偏振片;设置在上述膜的另一侧表面侧的第2偏振片;设置在上述膜的另一侧表面侧、接受从上述照明机构照射并透过了上述第1偏振片、上述膜和上述第2偏振片的透过光的受光机构,并且该检查装置具有分别单独地在上述第1偏振片的面内调整上述第1偏振片的角度、在上述第2偏振片的面内调整上述第2偏振片的角度的角度调整机构。

    膜缺陷检查装置、缺陷检查方法和脱模膜

    公开(公告)号:CN102906561A

    公开(公告)日:2013-01-30

    申请号:CN201180025804.1

    申请日:2011-05-12

    CPC classification number: G01N21/8901 G01N21/8903 G01N21/896 G01N2021/8908

    Abstract: 本发明公开了一种膜缺陷检查装置,其是检测长膜的缺陷的检查装置,其特征在于,该检查装置具有:在上述膜的一侧表面侧照射上述膜的照明机构;设置在上述照明机构与上述膜之间的第1偏振片;设置在上述膜的另一侧表面侧的第2偏振片;设置在上述膜的另一侧表面侧、接受从上述照明机构照射并透过了上述第1偏振片、上述膜和上述第2偏振片的透过光的受光机构,并且该检查装置具有分别单独地在上述第1偏振片的面内调整上述第1偏振片的角度、在上述第2偏振片的面内调整上述第2偏振片的角度的角度调整机构。

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