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公开(公告)号：CN113675067A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202110496473.5
申请日：2021-05-07
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32 , H01J37/244 , G01J3/443 , G01J3/02
Abstract: 本发明提供一种减少发射光谱分析的机械误差的校准方法和校准系统。提供的校准方法包括以下工序：在基准装置内配置具有给定的波长带的LED光源；使从所配置的所述LED光源输出的光量发生变化，并获取被阶段性地进行了调整的光量中的每个波长的发光强度即第一数据；将所述第一数据存储到存储器中；将所述LED光源配置于校准对象装置；使从所配置的所述LED光源输出的光量发生变化，并获取被阶段性地进行了调整的光量中的每个波长的发光强度即第二数据；以及基于所述第二数据和所述存储器中存储的所述第一数据来计算校准式。
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