公开(公告)号：CN110360949A

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：CN201910654549.5

申请日：2019-07-19

Applicant: 东北大学

Inventor： 马树军 ,  陈林雅 ,  朱建忠 ,  周旭 ,  杨康 ,  方锐

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明的一种多功能全息干涉测量系统，包括：减振平台、调焦装置、载物平台、测量光路模块、下壳体和上壳体，调焦装置和载物平台设置于下壳体内，测量光路模块设置于上壳体内，下壳体固定在减振平台上。减振平台采用弹簧阻尼减振结构，用于实现被动减振的目的。调焦装置采用蜗轮螺杆升降结构，用于实现上壳体内的测量光路模块的上下移动。载物平台用于放置待测样品并实现样品的水平移动，包括：从下至上依次设置的底部粗调部分、纳米压电精调部分和调平部分。测量光路模块用于实现反射式测量和透射式测量。该系统能同时进行反射式测量和透射式测量，整个光路结构紧凑，方便高效。

公开(公告)号：CN110360949B

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN201910654549.5

申请日：2019-07-19

Applicant: 东北大学

Inventor： 马树军 ,  陈林雅 ,  朱建忠 ,  周旭 ,  杨康 ,  方锐

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明的一种多功能全息干涉测量系统，包括：减振平台、调焦装置、载物平台、测量光路模块、下壳体和上壳体，调焦装置和载物平台设置于下壳体内，测量光路模块设置于上壳体内，下壳体固定在减振平台上。减振平台采用弹簧阻尼减振结构，用于实现被动减振的目的。调焦装置采用蜗轮螺杆升降结构，用于实现上壳体内的测量光路模块的上下移动。载物平台用于放置待测样品并实现样品的水平移动，包括：从下至上依次设置的底部粗调部分、纳米压电精调部分和调平部分。测量光路模块用于实现反射式测量和透射式测量。该系统能同时进行反射式测量和透射式测量，整个光路结构紧凑，方便高效。