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公开(公告)号：CN115266640A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210939996.7
申请日：2022-08-05
Applicant: 东北大学
IPC: G01N21/39
Abstract: 本发明提供一种基于空芯光纤微腔的自参考气体吸收光谱检测装置及方法，装置包括：可调谐激光器、分光器、自参考校准单元、参考光探测器、气体浓度检测单元、气室、信号光探测器、数据处理模块和连接光纤，可调谐激光器发出的光信号被分光器分成强度相同的两路光信号，分别通过自参考校准单元和气体浓度检测单元，参考光探测器和信号光探测器分别用来检测经过自参考校准单元和气体浓度检测单元后的光信号功率，并传输至数据处理模块中进行对比分析，得到待测气体浓度。本发明可有效提高气体吸收光谱检测的性能指标，提升传感检测精度。
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公开(公告)号：CN110879238A
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201911022556.X
申请日：2019-10-25
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明的三氧化钼纳米结构敏感材料及相应氨气传感器及制备方法，属于半导体氧化物气体传感器技术领域。制备时，取相应量钼酸钠和硫脲，柠檬酸和十六烷基三甲基溴化铵，混合成溶液后，经加热保温干燥后获得MoS2粉末，相应温度下煅烧获得MoO3粉末敏感材料。并将该敏感材料配成浆料后涂覆于基座表面，相应温度下进行烧结，并相应设置电极，基座内部引线设置加热层，制得传感器。该传感器对氨气表现出超高的灵敏度，对100ppm氨的响应达到4000，检出下限可达100ppb。制备器件的工艺简单、体积小、适于大批量生产，在检测环境中氨气污染物方面有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN114494211B
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202210107520.7
申请日：2022-01-28
Applicant: 东北大学
IPC: G06T7/00 , G06T7/11 , G06N3/0464 , G06N3/08 , G01J5/48
Abstract: 一种基于红外热学分析的晶圆级气体传感器芯片检测方法，涉及传感器芯片检测领域；利用被检测气体氧化或还原金属氧化物半导体表面，导致传感器电阻值发生变化，输出电路将传感器电阻转换为电压输出，实现气体浓度检测和类型识别；被检测气体与气敏材料的反应通常需要在200‑400℃下进行，半导体式气体传感器需要加热电极为传感器提供热量，微热板式气体传感器基于MEMS工艺，通常基于晶圆级芯片制造。每个晶圆表面具有上万个微热板芯片，微热板芯片具有加热电极，通过对微热板芯片通电，可以获得微热板表面的温度分布，存在故障的芯片表面会出现过冷，过热点；结合图像采集，识别，处理技术，确定故障芯片，进而实现对晶圆级传感器芯片的检测。
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公开(公告)号：CN118833848A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410808680.3
申请日：2024-06-21
Applicant: 东北大学
Abstract: 羟基氟化铜衍生物的制备与在气体传感器中的应用，涉及气体传感器技术领域。采用廉价易得的原材料，通过水热法制备羟基氟化铜，并通过煅烧得到羟基氟化铜衍生物。该材料在气体传感器中表现出对挥发性有机化合物(VOCs)的高灵敏度和良好的稳定性。与现有技术相比，本发明制备方法简单，成本低，适合大规模生产，制备的材料具有更多的微孔结构，显著提高了气体传感器的灵敏度。本发明为高性能气体传感器的开发提供了新的材料和方法。
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公开(公告)号：CN117890440A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410288280.4
申请日：2024-03-14
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明提供一种基于信息熵的半导体气体传感器温控电压优化方法，涉及半导体气体传感器技术领域，本发明通过动态温控电压参数、气体湿度参数、气体流速参数与半导体气体传感器响应信号信息熵之间的关系，并建立动态温控电压优化模型结合智能优化算法，从而实现温控电压参数的优化功能。改变了温控电压参数设置由人工专家凭条件实验设置的现状，提高了气体监测的工作效率。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN115656437A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211314862.2
申请日：2022-10-26
Applicant: 东北大学
IPC: G01N33/00 , G06V10/28 , G06V10/40 , G06V10/766 , G06V10/82
Abstract: 本发明提供一种基于信号多特征数据的易制毒气体浓度软测量方法，涉及气体浓度分析技术领域。本发明通过建立梯度图像特征和信号特征与气体浓度样本库，应用SVR(支持向量回归)算法拟合出梯度图像特征和信号特征与气体浓度之间的关系，从而实现判断易制毒化学品气体浓度的功能。改变了判断易制毒化学品气体浓度由人工化验评估的现状，提高安防检测人员的工作效率。
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公开(公告)号：CN114609196A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202210277770.5
申请日：2022-03-21
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明属于气体传感器技术领域，涉及一种气敏材料与气体传感器及其制备方法，所述气敏材料为钙钛矿型La1‑xFeO3，是钙钛矿相LaFeO3经酸性蚀刻选择性溶解La后获得的，本发明以硝酸镧和硝酸铁为原料，聚乙烯吡咯烷酮为表面活性剂，乙二醇作为溶剂，利用水热反应得到前驱体材料，高温退火后得到纯钙钛矿相LaFeO3粉末，然后将其分散在柠檬酸溶液中，室温下超声并搅拌特定时间后进行离心和烘干，将得到的粉末在空气氛围中烧结，得到酸性蚀刻的钙钛矿型La1‑xFeO3敏感材料。本发明基于酸性蚀刻策略的表面活性位点富集的钙钛矿型La1‑xFeO3敏感材料的气体传感器在检测微量丙酮方面有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN114266173A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202210118856.3
申请日：2022-02-08
Applicant: 东北大学
IPC: G06F30/20 , G16C60/00 , G06F113/08 , G06F119/08 , G06F119/14
Abstract: 本发明提供一种跨尺度的气体传感器敏感机理分析与结构优化的仿真方法，涉及传感器仿真技术领域。该方法包括微观尺度建模、介观尺度建模和宏观尺度建模。在微观尺度建模中，在吸附能和电荷转移量的共同作用下，选择出气敏材料理论上具有最高响应的目标气体；在介观尺度建模中，利用格子Boltzmann方法模拟待测气体的扩散；在宏观尺度建模中，建立多层结构的传感器模型，衬底材料为硅，支撑层为SiO2,Si3N4，加热电极、测试电极材料为铂。本发明通过微观，介观，宏观三种维度进行仿真建模分析，提供一种微观‑介观‑宏观的跨尺度，气体传感器气敏机理，气体传质，传感器热力优化的全流程解决方案。
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公开(公告)号：CN108195826A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201711374315.2
申请日：2017-12-19
Applicant: 东北大学
IPC: G01N21/76
CPC classification number: G01N21/766
Abstract: 本发明公开了一种针对挥发性有机物的电导-催化发光双通道气体传感器、检测装置及其检测方法，所述传感器具有：敏感元件，其对气体敏感并能够在不同温度下同时产生相对应的电导信号和发光信号；所述敏感元件至少具有基底；沉积于基底上的敏感层，所述敏感层包括纳米敏感材料，所述纳米敏感材料对气体敏感并同时产生电导信号和发光信号；加热层，所述加热层用以改变基底以及敏感层的温度。所述检测装置具有：所述传感器以及对所述电导信号和发光信号进行检测的信号检测模块。本发明能够提高对挥发性有机物检测的选择性，大幅度降低误判、漏判率且同时提高所述传感器的灵敏度和响应速度。
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