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公开(公告)号：CN110047942A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910279855.5
申请日：2019-04-09
Applicant: 东华大学
IPC: H01L29/786 , H01L29/51 , H01L21/445
Abstract: 本发明涉及一种水溶液复合氧化物薄膜晶体管及其制备和应用，制备：导电基底上交替旋涂氧化铝前驱体水溶液和氧化锆前驱体水溶液并热处理得到复合金属氧化物绝缘层；旋涂铟锌氧化物前驱体水溶液并热处理得到有源层；利用高真空热蒸镀铝源漏极，即得。该方法以水替代了有机溶剂制备前驱体溶液，提高了300℃以下热处理的薄膜质量，同时复合金属氧化物的组合兼顾了高介电和宽带隙两方面特性，降低了操作电压，减小了漏电流。本发明工艺简单，制备温度低，可应用于有机柔性基底，在柔性器件上将具有很大的应用前景。
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