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公开(公告)号：CN102254782B
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201110093328.9
申请日：2011-04-14
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种超薄平板紫外光源，包括由透光材料制备的前基板和后基板，置于所述前基板和后基板之间的网格孔板；所述前基板、后基板和网格孔板的四周气密封接；所述网格孔板上设置有若干个通孔将所述前基板和后基板之间的空间分隔为若干个放电空间，所述放电空间中充入有工作气体；所述前基板的外侧交错平行设置有第一电极组和第二电极组，所述后基板的外侧设置有与所述第一电极组和第二电极组方向垂直的第三电极组。本发明平板紫外光源电极制作在外，且可与光源的玻璃基板分离装配，制作更为灵活，电极结构调整方便。
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公开(公告)号：CN102254782A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110093328.9
申请日：2011-04-14
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种超薄平板紫外光源，包括由透光材料制备的前基板和后基板，置于所述前基板和后基板之间的网格孔板；所述前基板、后基板和网格孔板的四周气密封接；所述网格孔板上设置有若干个通孔将所述前基板和后基板之间的空间分隔为若干个放电空间，所述放电空间中充入有工作气体；所述前基板的外侧交错平行设置有第一电极组和第二电极组，所述后基板的外侧设置有与所述第一电极组和第二电极组方向垂直的第三电极组。本发明平板紫外光源电极制作在外，且可与光源的玻璃基板分离装配，制作更为灵活，电极结构调整方便。
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公开(公告)号：CN101540262A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200910031217.8
申请日：2009-04-27
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种真空紫外平板光源，包括前基板和后基板，前后基板由石英玻璃制成，在前基板与后基板之间设有放电腔体，在前基板上设置成对的平行电极，采用表面放电，或在前后基板设置电极，采用对向式放电方式，在电极表面上还设有介质层，在介质层上设有保护膜，放电腔体充入一定气压的工作气体，可以由Ne和Xe气的混合气体构成，在电极间施加交流脉冲，工作气体放电，在维持电流脉冲的作用下，持续产生147nm和172nm的真空紫外光，通过石英基板出射到光源外面需要处理的表面上。本发明可以产生真空紫外光的面光源，对大面积处理表面具有优越性。可以实现单面和双面真空紫外平板光源，适合不同的应用场合。
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公开(公告)号：CN101477940A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200810236256.7
申请日：2008-11-19
Applicant: 东南大学
IPC: H01J63/08
Abstract: 一种等离子平板光源，涉及等离子体平板光源的技术领域，尤其涉及一种等离子体平板光源的低频驱动模式的技术领域。本发明包括前基板、后基板、放电腔，放电腔设置在前基板与后基板之间，前基板与放电腔之间平行等距设置若干条平行电极，平行电极与放电腔之间设置保护膜；后基板与放电腔之间设置荧光粉混合层。本发明目的是针对现有等离子体平板光源工作模式中负辉区放电模式，提出一种低频方波驱动模式，使等离子体平板光源产生正柱区放电的工作模式，同时改善发光效率和发光亮度。
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