公开(公告)号：JPWO2016084638A1

公开(公告)日：2017-08-31

申请号：JP2016561505

申请日：2015-11-16

Applicant: 並木精密宝石株式会社

Inventor： 大志 山崎 ,  大志 山崎 ,  絵理 福島 ,  絵理 福島 ,  一美 柳浦 ,  一美 柳浦 ,  隆文 淺田 ,  隆文 淺田

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/00 ,  G01N21/84

CPC classification number: G01B11/2441 ,  G01B11/12 ,  G01B11/30 ,  G01N21/954 ,  G01N2021/9546

Abstract: 【課題】測定用プローブと被測定物の平行度や同軸度を合わせる必要のないセッティングフリーで、精密な内径及び内周面の精度測定を可能にした光学式内面測定装置を提供する。【解決手段】チューブに内蔵された光ファイバーと、この光ファイバーの先端側に配置された少なくとも2つの光路変換手段と、これら光路変換手段との一方または両方を回転させるモータを有し、チューブの軸方向の送りを止めた状態で回転動作を含む光路変換手段の動作により光線を円周方向および軸方向に三次元的に放射する。また、モータの回転軸部の振れ量を測定する変位検出手段を備え、被検査物からの反射光をコンピュータで計算して得た被検査物の内周面の形状データを変位測定手段の変位量データで補正することで、高精度な測定が行える。【選択図】図11

公开(公告)号：JP5162739B2

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：JP2008316632

申请日：2008-12-12

Applicant: 並木精密宝石株式会社 ,  浜松光電株式会社

Inventor： 忠 薗部 ,  一美 柳浦 ,  一也 中村 ,  喜代志 仲秋

IPC: G01D5/244 ,  G01D5/36 ,  H02K11/00