公开(公告)号：CN1306673A

公开(公告)日：2001-08-01

申请号：CN98813826.3

申请日：1998-12-28

Applicant: 中佛罗里达大学

Inventor： W·T·西尔弗瓦斯特 ,  M·A·克洛森尔 ,  G·M·希姆卡外格

IPC: H01J35/20

CPC classification number: H05G2/003 ,  B82Y10/00 ,  G01J3/10 ,  G03F7/70016 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70916 ,  G03F7/70983 ,  H01J61/12 ,  H01J61/28 ,  H01J61/30 ,  H05G2/005

Abstract: 一种用于超紫外线微型光刻的毛细管超紫外灯光源装置和方法。毛细管光源包括:灯体(306);具有电极(300)、绝缘体(302)和放电等离子体区域(304)的内孔。

公开(公告)号：CN1134043C

公开(公告)日：2004-01-07

申请号：CN98813826.3

申请日：1998-12-28

Applicant: 中佛罗里达大学

Inventor： W·T·西尔弗瓦斯特 ,  M·A·克洛森尔 ,  G·M·希姆卡外格

IPC: H01J35/20

CPC classification number: H05G2/003 ,  B82Y10/00 ,  G01J3/10 ,  G03F7/70016 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70916 ,  G03F7/70983 ,  H01J61/12 ,  H01J61/28 ,  H01J61/30 ,  H05G2/005

Abstract: 一种用于超紫外线微型光刻的毛细管超紫外灯光源装置和方法。毛细管光源包括：灯体(306)；具有电极(300)、绝缘体(302)和放电等离子体区域(304)的内孔。