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公开(公告)号：CN114858340A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210446670.0
申请日：2022-04-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，本发明公开了一种压力传感器及其制备方法。该压力传感器包括基底层、纳米单元阵列和保护层；其中该基底层和该保护层为柔性材料，该纳米单元阵列位于该基底层和该保护层之间，该纳米单元阵列为等离激元结构，能够使该纳米单元阵列对应的局域表面等离激元与纳米单元阵列的瑞利异常衍射光发生耦合，形成有序的阵列式共振；该纳米单元阵列对应的反射光谱半波峰小于50纳米，从而使得该压力传感器具有能够实现对微压力和张力大小的检测，还能够实现对压力位置或张力方向的检测。
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公开(公告)号：CN114858319B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202210446661.1
申请日：2022-04-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Inventor： 邓诗凯
IPC: G01L1/22 , C01B32/194
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，本发明公开了一种拉力传感器的制备方法及拉力传感器。该拉力传感器的制备方法通过先制备表面具有互为平行的多个第一条状结构的柔性基底；该多个第一条状结构中相邻的第一条状结构之间存在预设距离；该柔性基底处于沿第一方向拉伸的拉伸状态；该第一方向与该第一条状结构的延伸方向垂直；该第一条状结构的材料为氟化高分子材料；并在在该柔性基底上制备石墨烯层；该石墨烯层覆盖于该多个第一条状结构上；后续再释放该拉伸状态的拉伸力，得到待氟化结构；该待氟化结构的石墨烯层表面具有褶皱；并对该待氟化结构进行氟化处理，得到该拉力传感器，使得该拉力传感器具有单向性和制备工艺简单的特点。
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公开(公告)号：CN115356299A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210386893.2
申请日：2022-04-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Inventor： 邓诗凯
IPC: G01N21/552 , B82Y15/00
Abstract: 本发明涉及生化检测元件领域，本发明公开了一种生化检测芯片及其制备方法，该生化检测芯片，其包括基底层和设置在基底层上的颗粒阵列；颗粒阵列由多个金属纳米颗粒按预设排布规则排布构成；多个金属纳米颗粒具有相同的形状；多个金属纳米颗粒的直径均为预设长度，多个金属纳米颗粒的高度均为预设高度。如此，得到的生化检测芯片具有检测灵敏度高、体积小、易集成化的优点。
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公开(公告)号：CN114858319A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210446661.1
申请日：2022-04-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Inventor： 邓诗凯
IPC: G01L1/22 , C01B32/194
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，本发明公开了一种拉力传感器的制备方法及拉力传感器。该拉力传感器的制备方法通过先制备表面具有互为平行的多个第一条状结构的柔性基底；该多个第一条状结构中相邻的第一条状结构之间存在预设距离；该柔性基底处于沿第一方向拉伸的拉伸状态；该第一方向与该第一条状结构的延伸方向垂直；该第一条状结构的材料为氟化高分子材料；并在在该柔性基底上制备石墨烯层；该石墨烯层覆盖于该多个第一条状结构上；后续再释放该拉伸状态的拉伸力，得到待氟化结构；该待氟化结构的石墨烯层表面具有褶皱；并对该待氟化结构进行氟化处理，得到该拉力传感器，使得该拉力传感器具有单向性和制备工艺简单的特点。
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公开(公告)号：CN114858340B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202210446670.0
申请日：2022-04-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，本发明公开了一种压力传感器及其制备方法。该压力传感器包括基底层、纳米单元阵列和保护层；其中该基底层和该保护层为柔性材料，该纳米单元阵列位于该基底层和该保护层之间，该纳米单元阵列为等离激元结构，能够使该纳米单元阵列对应的局域表面等离激元与纳米单元阵列的瑞利异常衍射光发生耦合，形成有序的阵列式共振；该纳米单元阵列对应的反射光谱半波峰小于50纳米，从而使得该压力传感器具有能够实现对微压力和张力大小的检测，还能够实现对压力位置或张力方向的检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114858320B
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202210446681.9
申请日：2022-04-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Inventor： 邓诗凯
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，本发明公开了一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器。该电阻式压力传感器的制备方法包括：通过在表面具有互为平行的多个凹槽通道的柔性基底中的每个凹槽通道中倒入导电纳米粒子，从而使得每个凹槽通道形成导电通道；可以通过制备出两个上述具有多个导电通道的结构，并将两个结构层叠，使两个结构的导电通道相对且存在两个结构的导电通道存在预设夹角，从而可以形成网格结构。该方法制备出的压力传感器不仅能够实现对压力大小的检测，还能够实现对压力位置的检测。
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公开(公告)号：CN114778494A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210523050.2
申请日：2022-05-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/552 , B82Y30/00 , B82Y15/00
Abstract: 本发明涉及气体检测元件领域，本发明公开了一种气体检测芯片及其制备方法，该气体检测芯片，其包括基底层、阵列层和覆盖层；阵列层设置在基底层上，阵列层由多个金属纳米颗粒按预设排布规则排布构成；覆盖层设置在阵列层上，覆盖层用于吸附待检测气体。如此，得到的气体检测芯片具有选择性高、检测灵敏度高、体积小、易集成化的优点。
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公开(公告)号：CN114923877B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202210540633.6
申请日：2022-05-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明涉及气体检测元件领域，本发明公开了一种多种气体检测芯片及其制备方法，该多种气体检测芯片，其包括基底层、阵列层和覆盖层；阵列层设置在基底层上，阵列层由多个金属纳米颗粒按预设排布规则排布构成；覆盖层设置在阵列层上；覆盖层包括多层第一覆盖层，多层第一覆盖层分别覆盖阵列层的不同区域，多层第一覆盖层完全覆盖阵列层。如此，得到的多种气体检测芯片具有选择性高、检测灵敏度高、体积小、易集成化，并且能够对多种气体同时快速检测的优点。
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公开(公告)号：CN114923877A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202210540633.6
申请日：2022-05-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明涉及气体检测元件领域，本发明公开了一种多种气体检测芯片及其制备方法，该多种气体检测芯片，其包括基底层、阵列层和覆盖层；阵列层设置在基底层上，阵列层由多个金属纳米颗粒按预设排布规则排布构成；覆盖层设置在阵列层上；覆盖层包括多层第一覆盖层，多层第一覆盖层分别覆盖阵列层的不同区域，多层第一覆盖层完全覆盖阵列层。如此，得到的多种气体检测芯片具有选择性高、检测灵敏度高、体积小、易集成化，并且能够对多种气体同时快速检测的优点。
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公开(公告)号：CN114858320A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210446681.9
申请日：2022-04-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Inventor： 邓诗凯
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，本发明公开了一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器。该电阻式压力传感器的制备方法包括：通过在表面具有互为平行的多个凹槽通道的柔性基底中的每个凹槽通道中倒入导电纳米粒子，从而使得每个凹槽通道形成导电通道；可以通过制备出两个上述具有多个导电通道的结构，并将两个结构层叠，使两个结构的导电通道相对且存在两个结构的导电通道存在预设夹角，从而可以形成网格结构。该方法制备出的压力传感器不仅能够实现对压力大小的检测，还能够实现对压力位置的检测。
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