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公开(公告)号：CN1305095C
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN02118665.0
申请日：2002-04-25
Applicant: 中外炉工业株式会社
Inventor： 木曾田欣弥
Abstract: 一种用于排气小车式连接排气处理中不合格屏板的检测方法，至少在搭载排气装置的排气小车(10)中保持多只屏板P2，各屏板顶管Pa与排气小车的排气头(18)相接，并且上述排气头与排气装置用有各自开关阀(20)的排气管(19)通过排气集管(17)相接，当使该排气小车边在炉内移动、边排气处理时，检出多只屏板排气不好的场合，各屏板的上述开关阀全关闭后，依次开关各屏板的开关阀，测定各屏板的真空度，测定的真空度在容许范围之外的定为不合格的屏板。本发明提供多只中空屏板搭载在排气小车进行连续排气处理时，在排气过程中确定不合格的屏板，其余屏板进行排气，以防止生产效率降低的不合格屏板。
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公开(公告)号：CN1922116B
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200580005455.1
申请日：2005-02-14
Applicant: 中外炉工业株式会社
CPC classification number: H01J9/261 , C03C27/06 , F27B9/02 , F27B9/04 , F27B9/20 , F27D9/00 , F27D19/00 , F27D21/0014 , F27D2009/0005
Abstract: 提供在封接处理阶段中，可通过温度控制和与其组合的压力控制适当地去除不纯气体，可降低残留在封接处理后的玻璃面板组装体内的不纯气体等的量的玻璃面板组装体的封接处理方法及封接处理炉。在对叠加的一对玻璃基板之间夹有封接玻璃料的玻璃面板组装体，进行使该封接玻璃料熔化以封接的处理之际，强制地使内部气氛流动，通过该内部气氛将玻璃面板组装体加热至封接玻璃料的熔化开始温度附近的预备加热温度(T1)，接着，在维持预备加热温度的状态下进行减压(P1)，接着，强制地使内部气氛流动，同时通过该内部气氛将玻璃面板组装体从预备加热温度加热至封接处理温度(T2)，其后，强制地使内部气氛流动，且通过该制内部气氛对玻璃面板组装体进行冷却。
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公开(公告)号：CN1200133C
公开(公告)日：2005-05-04
申请号：CN99120702.5
申请日：1999-09-24
Applicant: 中外炉工业株式会社
CPC classification number: H01J37/32422 , C23C14/24 , H01J37/3266 , H05H1/54
Abstract: 一用于藉由一等离子束而在一真空腔室中的基底上形成一薄膜涂层的真空涂层形成装置，所述真空涂层形成装置包括：一用于向一真空腔室内部产生一等离子束的压力梯度型等离子枪；以及一围绕一伸向一等离子枪出口的真空腔室的短管部并使等离子束的横截面图减小的会聚线圈，其特点是，它还包括：设置在短管部内、围绕等离子束并以电绝缘状态伸出的绝缘管，以及一藉由短管部内的绝缘管围绕等离子束且其电势高于出口处的电子返回电极。
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公开(公告)号：CN101278370A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200580051757.2
申请日：2005-10-07
Applicant: 中外炉工业株式会社
Inventor： 木曾田欣弥
Abstract: 本发明提供一种能几乎全自动化制造等离子体显示面板等面板的等离子体显示面板等的面板制造系统。其包括：闭环状的循环路径(1)；在循环路径上移动的多个工作车(2)；设置在工作车上的衬底搭载部；设置在工作车上，安装排气管的排气管安装部；设置在工作车上，与排气管安装部连接的排气装置；设置在循环路径中，进行密封处理和排气处理的热处理炉(8)；设置在循环路径中的装卸部(9)；将衬底或排气管搬入装卸部(9)中的传送带(10、11)；设置在装卸部，根据控制信息工作，进行面板制造作业的机器人(12～15)；从装卸部搬出面板的传送带(16)；控制这些机械人的控制盘(17～20)。
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公开(公告)号：CN1426484A
公开(公告)日：2003-06-25
申请号：CN01808413.3
申请日：2001-12-26
Applicant: 中外炉工业株式会社
Inventor： 木曾田欣弥
CPC classification number: C21D1/767 , C21D1/613 , F27B5/06 , F27B2005/066 , F27B2005/167 , F27D19/00 , F27D21/0014
Abstract: 一种气冷式单室型热处理炉(T)，在该炉中，在形成处理室的内室(5)的相互相对的壁上设置由门(11A，11B)打开和关闭的冷却气体通风口(9A，9B)，在气体冷却过程中打开冷却气体通风口(9A，9B)来循环冷却气体，其中，内室(5)的冷却气体通风口(9A，9B)设置有由耐热材料制成的格子形流动均匀化构件(19)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1263952A
公开(公告)日：2000-08-23
申请号：CN99120702.5
申请日：1999-09-24
Applicant: 中外炉工业株式会社
IPC: C23C14/32
CPC classification number: H01J37/32422 , C23C14/24 , H01J37/3266 , H05H1/54
Abstract: 一用于藉由一等离子束而在一真空腔室中的基底上形成一薄膜涂层的真空涂层形成装置,所述真空涂层形成装置包括:一用于向一真空腔室内部产生一等离子束的压力梯度型等离子枪;以及一围绕一伸向一等离子枪出口的真空腔室的短管部并使等离子束的横截面图减小的会聚线圈,其特点是,它还包括:设置在短管部内、围绕等离子束并以电悬浮状态伸出的绝缘管,以及一藉由短管部内的绝缘管围绕等离子束且其电势高于出口处的电子返回电极。
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公开(公告)号：CN100377275C
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN03152276.9
申请日：2003-08-01
Applicant: 中外炉工业株式会社
Inventor： 木曾田欣弥
CPC classification number: Y02P40/57
Abstract: 一种平面板制造设备用的板搬送排气台车(1)，具有：形成能排气·供气并保持接头管(24)的排气头(25)；以及板容纳料架，该板容纳料架具有配设于多处的板支柱，在接头管(24)被封装、通过接头管(24)和排气头(25)被排气、进行气体注入后，将对接头管(24)进行密封、断开而被密封的横置状态的平面板(P)支承在所述板支柱(28A、28B)，除了靠近接头管(24)的至少1个特定的板支柱(28A)外的其它板支柱(28B)，与板支柱(28A)相比，更容易形成相对所述平面板(P)沿横向相对移动。本发明可防止接头管与平面板上的接头管封装部之间的位置偏移及接头管损坏，提高平面板制造的合格率。
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公开(公告)号：CN1973172A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200580021238.1
申请日：2005-02-14
Applicant: 中外炉工业株式会社
Inventor： 木曾田欣弥
CPC classification number: F27B9/04 , F27B9/045 , F27B9/26 , F27B9/3005 , F27D1/00 , F27D7/06 , F27D17/001 , F27D99/0073
Abstract: 一种炉设备，其划分炉(A)内外的由侧壁部(1)、顶壁部(2)及炉底面壁部(3)构成的炉壁和划分炉内区域内外的隔壁由壁材(5)构成，该壁材(5)具有：面向炉(A)内和炉内区域内的内表面板部(5a)及面向该炉(A)外和该炉内区域外的外表面板部(5b)，且该壁材(5)内部收容有绝热材(6)，在壁材的内表面板部形成有能够封口的通气通路(7)，并且在壁材的外表面板部形成有能够封口的吸气通路(8)，在吸气通路上连接有吸取壁材内气氛的吸取机构(9)。从而，提供在通过干燥处理从绝热材除去污染物质而维持炉内气氛洁净时，能够废除在干燥处理后将炉内再洁净化的作业，并且与炉内外的温度差无关，通过短期的干燥处理，能够有效地除去从绝热材产生的污染物质的炉设备及炉设备的干燥处理方法。
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公开(公告)号：CN1232660C
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：CN01808413.3
申请日：2001-12-26
Applicant: 中外炉工业株式会社
Inventor： 木曾田欣弥
CPC classification number: C21D1/767 , C21D1/613 , F27B5/06 , F27B2005/066 , F27B2005/167 , F27D19/00 , F27D21/0014
Abstract: 一种气冷式单室型热处理炉(T)，在该炉中，在形成处理室的内室(5)的相互相对的壁上设置由门(11A，11B)打开和关闭的冷却气体通风口(9A，9B)，在气体冷却过程中打开冷却气体通风口(9A，9B)来循环冷却气体，其中，内室(5)的冷却气体通风口(9A，9B)设置有由耐热材料制成的格子形流动均匀化构件(19)。
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公开(公告)号：CN100573006C
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200580021238.1
申请日：2005-02-14
Applicant: 中外炉工业株式会社
Inventor： 木曾田欣弥
CPC classification number: F27B9/04 , F27B9/045 , F27B9/26 , F27B9/3005 , F27D1/00 , F27D7/06 , F27D17/001 , F27D99/0073
Abstract: 一种炉设备，其划分炉(A)内外的由侧壁部(1)、顶壁部(2)及炉底面壁部(3)构成的炉壁和划分炉内区域内外的隔壁由壁材(5)构成，该壁材(5)具有：面向炉(A)内和炉内区域内的内表面板部(5a)及面向该炉(A)外和该炉内区域外的外表面板部(5b)，且该壁材(5)内部收容有绝热材(6)，在壁材的内表面板部形成有能够封口的通气通路(7)，并且在壁材的外表面板部形成有能够封口的吸气通路(8)，在吸气通路上连接有吸取壁材内气氛的吸取机构(9)。从而，提供在通过干燥处理从绝热材除去污染物质而维持炉内气氛洁净时，能够废除在干燥处理后将炉内再洁净化的作业，并且与炉内外的温度差无关，通过短期的干燥处理，能够有效地除去从绝热材产生的污染物质的炉设备及炉设备的干燥处理方法。
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