碳化硅单晶的生长方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101796227B

    公开(公告)日:2012-09-26

    申请号:CN200880025381.1

    申请日:2008-11-18

    CPC classification number: C30B9/10 C30B19/02 C30B29/36

    Abstract: 一种碳化硅单晶的生长方法,使碳化硅单晶与在石墨坩埚内被加热的熔化了Si的熔融液接触从而使碳化硅单晶在单晶基板上生长,该生长方法的特征在于,使碳化硅单晶从向所述熔融液内添加了Cr和X(X为Ni和Co之中的至少一种)元素的Si-Cr-X-C熔融液析出和生长,作为总组成中的Cr和X元素的比例为下述范围:Cr为30~70原子%、X为1~25原子%。可实现溶液法的晶体生长层表面的形态的提高。

    使用熔液法的单晶生长用籽晶轴

    公开(公告)号:CN102057083B

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:CN200980100137.1

    申请日:2009-07-21

    Abstract: 本发明提供可防止或抑制使用熔液法的多晶的生成且以高的生长速度使单晶生长的使用熔液法的结晶生长用籽晶轴。本发明的使用熔液法的单晶生长用籽晶轴,是被用于使用熔液法的单晶制造装置的籽晶轴,是在籽晶支持部件上介有下述碳片接合籽晶而成的,所述碳片在与原料熔液的熔液面垂直的方向具有高导热性,并且它是通过粘合剂层叠了多片的碳制薄膜的叠层碳片、将以格子状配置了层叠方向不同的多个小片的叠层碳片、将碳制带从中心卷绕成同心圆状的卷绕型碳片、或者将厚度不同的多个碳制带以从中心趋向外周厚度变厚的方式进行了层叠卷绕的叠层卷绕型碳片。

    使碳化硅单晶生长的方法

    公开(公告)号:CN101965419A

    公开(公告)日:2011-02-02

    申请号:CN200980102202.4

    申请日:2009-01-14

    CPC classification number: C30B29/36 C30B17/00

    Abstract: 通过使碳化硅单晶基底与含C的溶液接触而使碳化硅单晶在该基底上生长的方法,所述含C的溶液是通过使C溶解到含Cr和由Ce和Nd中的至少一种元素构成的X的熔体中而制备的,使得Cr在该熔体整个组成中的比例为30至70原子%,且X在该熔体整个组成中的比例在X是Ce的情况下为0.5原子%至20原子%或者在X是Nd的情况下为1原子%至25原子%,并使碳化硅单晶从该溶液中生长。

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